MEMS電磁傳感器

2020-12-22 電子發燒友

國內外主要MEMS磁傳感器廠商及其產品梳理

綜合報導 發表於 2020-12-21 11:48:15

目前主要的磁傳感技術根據工作原理的不同,包括霍爾、AMR(各向異性磁阻傳感器)、GMR(巨磁阻)、TMR(隧道磁電阻)、磁通門、磁感應(Magneto Inductive)、超導量子幹涉儀(SQUID)等。據市場調研公司MarketsandMarkets預測,全球磁傳感器市場規模預計將從2015年的22.5億美元增長至2022年的41.6億美元,2016~2022年間的年複合增長率為8.87%,增長勢頭強勁。
 
全球磁傳感器市場增長的主要驅動力來自於:磁傳感器垂直行業對基於MEMS傳感器的需求日益增長(傳統的基於機電工藝製成的傳感器和執行器在體積、價格和產能上不能適應工業、消費電子等領域的需求)、汽車和電子羅盤應用的增長、對高質量傳感器件需求的日益增加、消費電子應用的不斷增長。


電子發燒友對目前國內外主要的MEMS磁傳感器廠商及其產品做了梳理,以下是具體內容。


1、NXP
 
KMA320
 


KMA320/321/310系列適用於油門/EGR位置傳感器、渦輪增壓器/離合器/換擋執行器等高性能應用。該傳感器採用無PCB設計,帶集成電容。該IC支持特定用戶定義角度範圍、零角度位置和鉗位電壓。
這些設置永久保存在非易失性存儲器中(NVM)。可編程的角度傳感器是預先設置、預先校準的,因此,隨時可用。
 
工作溫度最高達180℃,適用於發動機艙中的高溫應用(ETC,EGR),基於內置的AMR技術,精度高。17個等距的或7個可選的校準點,可進行多點校準,以提高應用的線性度和靈活性,8 × 12位客戶存儲空間,便於追蹤經久耐用,此外工作磁場強度大於25 kA/m。
 
KMZ41
 
KMZ41是一款靈敏的磁場傳感器,具有薄膜坡莫合金的磁阻效果。該傳感器集成兩個電流獨立的惠斯通電橋,覆蓋45 °角。強度大於40 kA/m(建議場強大於100 kA/m)且表面與晶片(x-y平面)平行的旋轉磁場將產生兩個獨立的正弦輸出信號,一個信號遵循cos(2α)函數,另一個遵循sin(2α)函數。傳感器的工作頻率範圍為直流至1 MHz。
 


 
FXOS8700CQ
 
FXOS8700CQ 6軸傳感器在小型3 x 3 x 1.2 mm QFN塑料封裝中結合了先進的加速度傳感器和磁力傳感器。這款產品將14位加速度傳感器和16位磁力計與高性能ASIC結合在一起構建電子羅盤解決方案,典型的方向解析度為0.1°,羅盤方位精度誤差小於5°,可滿足很多應用。
主要目標產品有智慧型手機、平板電腦。
 
2、Allegro
 
ATS19580

這是業內首款完全集成的、背磁(back-biased)巨磁阻(GMR)變速箱速度和方向傳感器。ATS19580能夠在變速箱應用中實現最高的系統性能,並可減小系統尺寸,降低複雜度和成本,提高系統的燃油經濟性。ATS19580將GMR技術與Allegro領先的變速箱算法和獨特封裝相結合,是迄今為止性能最高的變速箱傳感器,其主要性能包括:工作氣隙的最大動態範圍(提高50%)、業界領先的抗振動性能、電磁兼容(EMC)保護、穩健的抗共模雜散場能力。
 
 
 


 
A19520
 
A19520 是一款先進的耐振霍爾效應集成電路 (IC),可測量旋轉目標的速度和方向。該傳感器 IC 可以直接測量環形磁鐵或者與磁鐵反向偏置來測量鐵磁目標。該封裝具有用於電磁兼容性 (EMC) 的集成電容器。A19520 採用智能算法,可在傳動應用中常見的振動和高動態氣隙環境中穩定運行。此外,A19520 差分傳感功能對幹擾共模磁場具有固有抑制功能。

A19520 中的集成診斷用於檢測影響輸出協議精度的 IC 故障,提供支持功能安全性的覆蓋範圍。A19520 採用無鉛 (Pb) 2 引腳單 SIP 封裝(後綴:UG),並採用錫電鍍引腳框。UB 封裝包括集成在單個包覆成型封裝中的 IC 和電容器,並附加模製引線穩定杆,可實現安全運輸,並且易於組裝。
 


 
3、TDK-Micronas

CUR 423x

CUR 423x 是一款用於隔絕的交流和直流測量的單軸非接觸式磁場傳感器。隧道磁阻傳感技術可以在高電流應用中以高敏感度和高精度測量電流。在混合電動車高壓電池監控系統中使用電流隔絕的感應電路尤其有益。在全溫度範圍內的優異信噪比和全範圍內低於1%的誤差率,能實現上至5 kHz信號帶寬的應用中的精確電流測量。


因為無需使用聚磁芯,可以節省空間和成本。數字補償、溫度補償、低通濾波以及鉗位可以通過TDK-Micronas的編程工具輕易實現編程。
 
HAl 15xy
 
HAl 15xy系列產品是各種霍爾開關,帶具有主動偏置補償和比較器的溫度補償霍爾片,可選開漏輸出或者電流輸出。HAL 15xy有帶短路保護的三線開漏輸出版本和兩線電流輸出版本。HAL 15xy有最小的SOT23包裝,提供最低能耗,快速反應時間,以及獨特的安全特性,比如為客戶提供高性價比的上電自檢功能。

HAL 15xy有各種不同開關點的版本,廣泛適用於極限環境溫度境況下的汽車和工業應用。


 
HAL 24xy
新的HAL 24xy產品系列提供擴展的距離測量,更加耐用,為惡劣環境下的應用提供藝術級的診斷功能。系列中的新產品延續了Micronas的線性霍爾效應傳感器的長期成功,全部本廠生產,並且使用有汽車級的百萬產品零缺陷記錄。產品使用Micronas最新技術,新的數碼架構和加強的霍爾片,可以僅用一個簡單的磁鐵配置就可以測量上至180°的角度。
 
產品具有帶旋轉電流補償的溫度補償霍爾片,一個帶輸出驅動的直流/交流轉換器,為標定數據和輸出數據提供冗餘和鎖定功能的EEPROM內存,對EEOROM編程的圖形界面,和各連接保護裝置。
通過簡單標定,產品可很好地調整輸出輸入信號和補償應用中的所有偏差(磁鐵位置,溫漂)。這讓產品在全溫度範圍內精確工作。通過PC電腦和Micronas工具包可以輕鬆實現對各別傳感器參數的計算和EEPROM編程,產品設計適用於惡劣環境下的工業和汽車應用。
 


 
4、Melexis
 
MLX9039

邁來芯 MLX90393 是邁來芯位置傳感器IC的新晉成員,同時也是該產品組合中靈活性最高的最小組件。此外,這款磁場傳感器 IC 專為微功率應用而設計,其佔空比可在 0.1% 至 100% 的範圍內編程設定。MLX90393 磁場傳感器 IC 可以在運行期間重新編程為不同模式及設置。此傳感器 IC 提供 16 位輸出,與通過邁來芯專有 Triaxis® 技術沿 XYZ 軸檢測到的磁通密度成比例,並且還提供溫度輸出信號。當 MLX90393 作為總線上的從器件時,將通過 I2C 和 SPI 提供上述數字值。
選擇待測量的軸後,可以將其原始數據作為輸入用於進一步的後處理,例如用於操縱杆應用、旋鈕和更複雜的 3D 位置感應應用。該傳感器 IC 主要面向工業應用和消費類應用,超強性能無與倫比。


 
MLX90395

MLX90395 Triaxis 磁性節點是一個微型傳感器 IC,可感測 IC 磁通密度的三個正交分量(即,BX、BY 和 BZ)以及溫度。因此,MLX90395 可偵測幾乎任何移動磁體的絕對位置。這款位置傳感器 IC 可用於設計面向汽車和工業應用(採用旋轉、線性和搖杆運動)的新一代非接觸式位置傳感器。


 
5、ADI

ADA4571-2

ADA4571-2是一款雙通道各向異性磁阻(AMR)傳感器,集成信號調理放大器和ADC驅動器。該器件產生模擬輸出,指示周圍磁場的角位置。每個通道在一個封裝內集成兩個晶片:一個AMR傳感器和一個可變增益儀表放大器。ADA4571-2提供與旋轉磁場角度相關的乾淨且放大的每通道餘弦和正弦輸出信號。輸出電壓範圍與電源電壓成比例。

每個檢測通道含有兩個單獨的且互成45°角的惠斯登電橋。與IC封裝平面平行的旋轉磁場提供兩路正弦輸出信號,且傳感器與磁場方向的角度α頻率翻倍。在與IC封裝平面平行的的均質場內,輸出信號與傳感器和磁體之間的氣隙無關。


ADA4571-2採用16引腳SOIC封裝。用於永磁同步電機(PMSM)控制與定位非接觸式角度測量與檢測磁性角位置。
 
AD22151G

AD22151G是一款線性磁場傳感器,其輸出電壓與垂直施加於封裝上表面的磁場成比例。


 
英飛凌
 
TLE4999I3

英飛凌聲稱TLE4999I3傳感器是世界上第一個將ASIL D汽車系統的兩個霍爾傳感器單片集成在一起的傳感器。將兩個傳感元件結合到一個封裝中使其具有對故障的彈性和靈活性,並且由於其冗餘備份的測量通道而更加準確。並且每個通道都可通過EEPROM獨立編程。
 
根據設備的數據表,TLE4999I的兩個霍爾被稱為主霍爾探頭和子霍爾格傳感器各自產生獨立的測量通道,每個通道都具有獨立調節的模擬電源域和偏置單元。
 


 
工作結溫範圍為-40°C至150°C,5.5至7 V電源電壓範圍,採用雙線雙向SICI(串行檢查和配置)接口,採用三引腳PG-SSO-3-12封裝。
 
美新
 
MMC5633NJL


 
三軸磁傳感器和電子電路全集成式晶片,幾乎不需要外部元件。優越的量程和精度,最小解析度為0.0625mG,實際響應頻率可達1000Hz,超小的晶圓級封裝,尺寸為0.85mm x 0.85mm x 0.4mm,通過內部Set/Reset置/復位磁傳感單元, 保證傳感器精度始終如一。
 
此外可以消除溫度壓力等環境因素造成的零點漂移,消除外磁場引起的剩磁和磁滯,並自帶靈敏度補償、溫度傳感器,具備自檢功能,待機模式耗電僅1μA。
 
MMC5883MA


MMC5883MA是16位運行模式,±8G的量程,最小解析度為0.25mG,最大採樣率可達600Hz,具有業界標準的小體積封裝,尺寸為3.0mm x 3.0mm x 1.0mm。
 
通過內部Set/Reset置/復位磁傳感單元, 保證傳感器精度始終如一

消除溫度壓力等環境因素造成的零點漂移,消除外磁場引起的剩磁和磁滯,自帶靈敏度補償、溫度傳感器,具備動作識別和數據就緒的中斷功能。
 
國創智能

GC-CC-302

GC-CC-302A型高精度微磁傳感器是一種基於巨磁阻抗效應和具有軸向採集特性的傳感器。通過使用專用的信號處理電路,實現高探測靈敏度,在環境磁場相對穩定的環境中,探測噪聲水平低至20pT。該微磁傳感器可廣泛應用於諸如磁異常探測、高精度磁測量和科學研究等。相對於其他類型的微磁傳感器,GC-CC-302A型高精度微磁傳感器具有高精度、高響應速度、高可靠性、小型化、低功耗、抗幹擾能力強等優勢。產品使用模擬信號輸出,更易於與用戶大系統集成,同時模擬信號輸出可提供更高的響應速率。

   
 

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