唐朝時，彌勒信仰盛行。玄奘法師晚年臨終時，發願往生兜率內院彌勒菩薩處的。而且也成功了。這在《大唐大慈恩寺三藏法師傳》有記載。
「玄奘此毒身深可厭患，所做事畢，無宜久住。願以所修福慧回施有情，共諸有情同生睹史多天彌勒內眷屬中奉事慈尊，佛下生時亦願隨下廣作佛事，乃至無上菩提。」上面是玄奘法師的最後遺言，表明他發願往生彌勒菩薩身邊。
據經載，彌勒菩薩是與釋迦牟尼佛同時代的人物，釋迦牟尼佛授記彌勒菩薩將來將會接替釋迦佛成為娑婆世界的第五尊佛，現居兜率天宮內院。將在（有說56億年）後降生人間成佛。根據唐玄奘法師的發願，那時唐玄奘法師也會跟隨彌勒佛下生，廣做佛事。
玄奘法師的晚年生活並不平靜，他與皇室的微妙關係、繁重的譯經工作，都使他漸漸感到體力不支。也許是冥冥之中的感應，玄奘法師預感到自己的歸期將至。那麼，他在人世間的最後生命時刻，都做了些什麼呢？
唐高宗麟德元年（664年），玄奘法師六十五歲，他依然在玉華寺翻譯佛經。在這一年的歷史記載中，有他對譯場的助手和弟子們說的這麼一句話：
「玄奘今年六十有五，必當卒命於此伽藍，經部甚大，每懼不終，人人努力加勤，勿辭勞苦。」
意思是說：今年我六十五歲了，一定是會死在這座玉華寺裡，佛經數量巨大，我經常擔心翻不完，你們大家加把勁兒，努力一點，不要怕辛勞。
在玄奘法師的一生中，他第一次發出了這種不自信的、怕自己的工作無法完成的擔憂之辭。實際上，由於多年勞累，在翻譯完《大般若經》以後，他自己就覺得體力開始衰竭，甚至覺得自己行將就木。不久，他又對弟子們說了一段話，幾乎可以看作是他的遺言：
「若無常後，汝等遣我宜從儉省，可以蘧蒢裹送，仍擇山澗僻處安置，勿近宮寺。不淨之身，宜須屏遠。」
他在這裡提到了「無常」（僧人講死，多以無常代之），說我無常以後，你們在送我的時候，一定要節儉，不要用很多的禮節，要用最簡單的方式裹送，把我安置在僻靜的地方，不要靠近宮室和寺院。他認為肉身是不淨的，應該遠離這些地方。
同年正月初三，玄奘法師的弟子懇請玄奘開始《大寶積經》的翻譯，這也是一部很重要的佛經。玄奘法師在勉強翻譯了開頭的幾行以後，突然停了下來，他猶豫了很長的時間，平靜而凝重地看著他的弟子，神色黯然地對大家說：
「此經部軸與《大般若》同，玄奘自量氣力不復辦此，死期已至，勢非賒遠。」
他說：這部《大寶積經》的分量不亞於《大般若經》，我自己覺得我的體力和精力已經不足以再翻譯如此大部的佛經了，「死期已至」，不是「將至」，而是我的死期已經到了，不遠了。
說完這句話以後，玄奘法師從此絕筆，停止了翻譯工作。他表示，要把此後可以預見的很少的歲月留給自己去禮拜佛像，為自己離開這個世界做好準備。
正月初八，玄奘法師的弟子之一玄覺法師，夢見一尊莊嚴高大的浮圖（即佛塔）突然倒塌而驟然驚醒，他擔心這個夢是自己會出什麼事的徵兆，於是趕緊就去找他的師父玄奘法師，請玄奘法師解夢。玄奘法師非常明確地告訴他：「非汝身事，此是吾滅謝之徵。」意思是說：這跟你沒關係，而是我將要離開這個世界的徵兆。這是對正月初八玄覺法師做夢的真實記載，我們後人沒有資格、也沒有這個道理去揣測、去枉自判斷其中的真假，因為高僧是不打誑語的，這是戒律規定的，更何況他們對玄奘法師又那麼崇敬。
僅僅一天以後，正月初九，曾經翻越過無數崇山峻岭、曾經跋涉過無數滔滔江河都不在話下的玄奘法師，居然在屋子後面跨越一道小小的水溝時摔了一跤。雖然只不過是稍微擦破了腳腕處的一點點皮而已，玄奘法師卻從此倒下，病情急轉直下。
正月十六，玄奘的病情已經十分嚴重，整天迷迷糊糊樣，口裡喃喃自語:
「吾眼前有白蓮花，大於盤，鮮淨可愛。」
說他見到了很大的白蓮，比盤子還大，非常的潔淨，非常的可愛。第二天，玄奘法師又夢見在他住的禪房裡突然出現了成百上千的人，非常高大，身穿錦繡服裝，在他禪房裡來回穿行，院子後面的山陵之間突然布滿了鮮豔的金幡、旗幟，林間奏響了各種各樣的音樂，門外停滿了裝飾華麗的車子，車子上裝滿了各種各樣的食物，來供養玄奘法師。玄奘法師一面說：「玄奘未階此位，何敢輒受？」一面卻還在不停地進食。弟子趕緊把玄奘法師叫醒，玄奘法師睜開眼睛，把自己剛才看見的事情告訴了隨時等候在他身邊的玉華寺寺主慧德法師，而這個寺主非常恭敬地玄奘法師的這些描述記下來，留給了後人。玄奘法師同時還對慧德法師說：
「玄奘一生已來所修福慧，準斯相貌，欲似功不唐捐，信如佛教因果並不虛也。」
玄奘法師的意思是說：我在夢境當中看到的這些現象，好像表明我這一輩子所修的福慧沒有白費。我確信，佛教因果不是虛妄。
在生命彌留之際，玄奘作為一代高僧，還在竭儘自己最後的精力印證佛法，這是一個高僧修行的一部分，是他的功課。當然他清楚地知道，自己留在這個世界上的時間已經不多了，於是他下令自己的弟子，把已經翻譯完成的佛經編一個目錄，看看到底翻譯了多少。統計下來，從西天求回來的佛經還有五百八十二部沒有來得及翻譯。實際上這已經是玄奘法師在做自我總結。玄奘法師又吩咐眾僧，為他造像寫經，廣為施捨，同時他按照佛教的戒律，把自己用的東西全部施捨給寺裡的僧眾。
玄奘法師好了充分的準備，從容不迫地等待著圓寂時刻的到來。那麼玄奘法師在人世間的最後時刻，他留下的最後遺言是什麼？玄奘法師又是以一種什麼樣的姿態圓寂的呢？
從記載上來看，這以後玄奘法師的病情似乎穩定了一段時間，或者也就是世俗所謂的「迴光返照」。在正月二十四日那天，玄奘法師還很清醒，他讓一個叫宋法智的塑像工人，在玉華寺的嘉壽殿豎起一個菩提像，把骨架搭好。他召集了所有身邊的翻譯佛經的弟子，留下了在人世間最後的話：
「玄奘此毒身深可厭患，所做事畢，無宜久住。願以所修福慧回施有情，共諸有情同生睹史多天彌勒內眷屬中奉事慈尊，佛下生時亦願隨下廣作佛事，乃至無上菩提。」
玄奘法師說：我自己的俗身是不淨的，這個俗身我已經厭惡了，我在這個世間所要做的事情已經做完了，不必要再待著。我不是為我玄奘個人修福慧，我修的這一切我願意把它回報給人世間仍然活著的人。我祈願，我能跟大家一起上生到彌勒菩薩身邊，去奉侍彌勒菩薩。我發願，當彌勒佛下生的時候，我願意跟著他下來「廣作佛事」，去追求無上菩提，追求最高的智慧。
這是玄奘法師最後成段的話，也是他最後的發願。
在接下來的日子，玄奘法師幾乎就不說話了，只是不停地念誦佛經，皈敬彌勒、如來，願往生彌勒淨土。我們一般講「三皈依」，就是皈依佛、皈依法、皈依僧，但玄奘法師肯定比我們多了一皈依，即皈依彌勒佛。也就是說，他在這個時候不停地吟誦的，我們在今天依然可以復原，他一定是不停地在吟頌皈依，他一定是在用佛當年所使用過的語言——神聖的梵語，不停地在復誦著皈依。
二月初四夜開始，玄奘法師右手支撐著頭部，左手舒放在左腿之上，非常平緩地，右脅而臥，再也不動半分了（以右手而自支頭，次以左手申左髀上，舒足重累右脅而臥，迄至命終竟不迴轉）。這是玄奘圓寂前的最後姿態，也就是玄奘法師肉身的最後姿態，我們看見臥佛就能想到這個姿勢。
二月初五夜半時分，他的弟子問玄奘法師：
「和上決定得生彌勒內眾不？」
看見玄奘法師那麼長時間一直在念誦佛經，準備離開這個世界，他的弟子問玄奘，和上（「和尚」在佛經中是個尊稱，但自己不能稱自己為「和尚」，只能稱「貧僧」或者「小僧」，而最尊敬的寫法應該是作「和上」），您是不是已經決定可以生到彌勒佛淨土呢？
玄奘法師回答說：得生。
這是玄奘法師在這個世界上留下的最後兩個字了。
玄奘法師十三歲皈依佛門，二十八歲隻身一人遠赴西天求法，經歷過無數艱難險阻，終於求得真經返回祖國。十九年的留學生涯，十九年的譯經弘法，玄奘法師終於求得正果，安然地去了自己一生所嚮往的彌勒佛淨土。當玄奘法師圓寂的消息傳出之後，唐朝的帝王和百姓們又會有怎樣的反應呢？
唐高宗在二月初三得到玄奘因損足得病的消息，初七就派御醫帶著藥物趕往玉華寺。等御醫帶著皇上親賜的藥趕到的時候，玄奘法師已經停止了呼吸。玄奘法師圓寂的消息傳到長安，舉國悲悼，唐高宗哀嘆：「朕失國寶矣！」甚至為了玄奘法師而罷朝數日。第二天，唐高宗又對群臣提起這件事：
朕國內失奘法師一人，可謂釋眾梁摧矣，四生無導矣。亦何異於苦海方闊，舟楫遽沉；暗室猶昏，燈炬斯掩！
二月二十六日，唐高宗下旨，玄奘法師所有喪事費用由朝廷負責。三月初六，又下令暫停翻譯工作，已經完成的部分由政-府出資傳抄，尚未完成的交慈恩寺保管，不得遺失。可惜的是，後來絕大部分經書幾乎全部遺失。
三月十五日，唐高宗又一次下詔：
玄奘葬日，宜聽京城僧尼造幢蓋送至墓所。
皇帝特許玄奘法師下葬的那一天，京師所有寺廟造的各種旗幟、寶冢、傘蓋等送到玄奘的葬地。玄奘法師的靈柩運回京城，安置在慈恩寺翻經堂，每天前往哭墓的僧俗人數成百上千。
四月十四日，按照玄奘法師臨終前的心願，將他葬於滻水之濱的白鹿原，這個地方在萬年縣東南二十裡，當時五百裡之內趕來送葬的人不計其數。唐高宗總章二年（669年），遷葬到樊川北原（今西安附近），並在當地營造塔宇寺廟。唐中宗神龍元年（705年），又下令在兩京，也就是長安和洛陽各建造一座佛光寺，追諡玄奘為「大遍覺法師」。
這些都足以看出玄奘法師的地位和聲望。在玄奘法師圓寂後一百八十年後的845年（唐武宗會昌五年），發生了中國佛教史上最大的一場法難——會昌法難，由統治者下令，在全國範圍內摧毀一切寺廟，淘汰僧尼。而就在這樣大規模的會昌法難中，長安的慈恩寺則被明令保留了下來。就這麼一個例子，就足以說明玄奘法師的功德和聲望。
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