在晶片和光刻機受到高度關注之際，中國光刻機核心零部件頂尖供應商、國產光刻機配套設施供貨商華卓精科要衝刺科創板了，6月24日，上交所正式受理了北京華卓精科科技股份有限公司科創板上市申請。公司是國產高端光刻機龍頭企業上海微電子的雙工件臺產品及技術開發的供應商，其光刻機雙工件臺打破了ASML公司在工件臺上的技術壟斷，成為世界上第二家掌握雙工件臺核心技術的公司。
1、光刻機雙工件臺打破了ASML公司在工件臺上的技術壟斷
目前荷蘭的ASML是全球最大的光刻機製造商，佔據了全球光刻機市場（按銷售計）的近90%的市場份額，尤其是在高端的極紫外光(EUV)領域，ASML處於完全壟斷地位，其一臺EUV光刻機售價高達1億歐元。而EUV光刻機則是實現5nm甚至是更為先進的製程工藝的關鍵。
華卓精科是國內首家可自主研發並實現商業化生產的光刻機雙工件臺供應商。作為上海微電子光刻機雙工件臺的供應商，公司與上海微電子長期保持良好的合作關係，為國產光刻機崛起奠定了基礎，佔據了中國商用光刻機雙工件臺的主要市場份額。業內人士表示，華卓精科在光刻機雙工件臺技術上的突破，為我國自主研發 65nm 至 28nm 雙工件幹臺式及浸沒式光刻機提供了技術賦能，其對於國產核心裝備發展具有遠大的戰略意義。
前不久，媒體也報導，國產光刻機傳來好消息，上海微電子將會在一年內交付首臺「28nm純國產沉浸式光刻機」，更重要的是，這臺光刻機設備可以改用套刻精度更優的華卓精科工作檯（1.7nm），然後在多重曝光下，能夠實現7nm製程工藝的晶片生產。
半月前，上海半導體裝備材料基金宣布已成功入股華卓精科。萬業企業董秘在回答投資者提問時表示，公司於2018年1月19日與上海半導體裝備材料產業投資基金合夥企業正式籤署協議參投該基金成為重要參投人，目前該基金已參投華卓精科、上海御渡、飛凱材料、精測電子及長川科技，併購了紫光控股等集成電路裝備材料核心項目。
2、光刻機工件臺是光刻機的核心子系統之一
光刻機主要由工件臺、投影物鏡和光源三大核心子系統件組成。光刻機工件臺是光刻機的核心子系統之一，其主要功能是承載晶圓按照指定的運動軌跡做高速超精密運動並完成一系列曝光所需動作，包括上下片、對準、晶圓面型測量和曝光等。
據官網介紹，北京華卓精科科技股份有限公司主營業務為光刻機雙工件臺、超精密測控裝備整機以及關鍵部件等衍生產品的研發、生產以及銷售和技術服務。公司長期專注於納米級超精密測控技術，是國內領先的集成電路製造裝備及其核心部件、精密/超精密運動系統及相關技術供應商，致力於在實現超精密機械與測控技術成果產業化的基礎上成為中國乃至全球卓越的精密科技公司。公司以光刻機雙工件臺為核心，並以該產品的超精密測控技術為基礎，開發了晶圓級鍵合設備、雷射退火設備等整機產品，以及精密運動系統、隔振器和靜電卡盤等部件衍生產品。
公司主要從事光刻機雙工件臺、超精密測控裝備整機以及關鍵部件等衍生產品的研發、生產及銷售和技術服務，通過向下遊集成電路製造、超精密製造、光學、醫療、3C製造等行業內公司銷售包括光刻機雙工件臺在內的超精密測控裝備整機及部件，並根據客戶在精密度等方面的具體需求提供相應的技術開發服務。
2017年度至2019年度，華卓精科營業收入金額分別為5,410.22萬元、8,570.92萬元、12,096.58萬元，複合增長率為49.53%，淨利潤分別為1,253.21萬元、1512.36萬元、2,087.24萬元，複合增長率為29.05%。
華卓精科作為技術驅動型企業，持續加大在研發上的投入。報告期內，公司研發投入分別為1,663.65萬元、8,256.56萬元和14,181.84萬元，佔各年度營業收入的比例分別為30.75%、96.33%和117.24%，呈上升趨勢。
3、清華大學朱煜教授帶領的團隊攻克光刻機工件臺科技難題
這家公司成立的背景是：2016年4月28日，由清華大學機械工程系朱煜教授擔任負責人的研發團隊歷經5年時間研發的光刻機雙工件臺系統樣機成功通過了國家科技重大專項「極大規模集成電路製造裝備及成套工藝」實施管理辦公室的項目驗收。
國外業界曾認為，中國人現在不能、未來也不可能造出如此高精密超複雜的光刻機設備。日本尼康株式會社的社長來中國訪問時曾說過這麼一句話：「光刻機光學系統雖然很難，我相信你們能夠研製出來，但工件臺恐怕就拿不下來了，因為這個系統太複雜了。」
然而，就是這麼一個被公認為「太複雜」而不可能被中國解決的科技難題，卻被清華大學朱煜教授帶領的團隊攻克了。在國家「十二五」科技創新成就展上，他們展出了自主研製的光刻機雙工件臺的核心模塊，即運動定位模塊POMO，裝備這種模塊的雙工件臺系統可實現與掩模臺優於2nm的同步運動精度。
根據華卓精科官網資料顯示，公司成立時間為2012年5月9日，由清華IC裝備團隊在清華大學及其下屬「北京-清華工業技術研究院」和02專項的支持下創立，是一家肩負著專項重大科研成果產業化重任的高新技術企業。公司建立初衷在於將清華大學在02專項中積累的高端壟斷技術落地產業化，通過「技術輻射＆下行」的方式，面向國內市場提供產業界急需的高端零部件、子系統類產品。
據公開資料，朱煜，男，1965年1月出生，中國國籍，無永久境外居留權。2001年畢業於中國礦業大學，博士學歷。2001年7月至2004年9月在清華大學從事博士後工作；2004年10月至今歷任清華大學教師、清華大學機械工程系機械電子研究所所長、清華大學IC裝備領域學科帶頭人；2012年5月至2015年8月擔任北京華卓精科科技有限公司董事長兼總經理職務；2015年8月至9月擔任北京華卓精科科技股份有限公司董事長職務；2015年9月至今，擔任北京華卓精科科技股份有限公司董事職務，為華卓精科首席科學家。
從一位國家戰略專家到一流大學科研團隊的負責人，再到高科技企業的首席科學家，朱煜的身份如層層包裹的洋蔥，但在多重身份的認同中，他明確表示——「我首先是清華大學教授」。