集成無源元件對PCB技術發展的影響

　　集成無源元件技術可以集成多種電子功能，具有小型化和提高系統性能的優勢，以取代體積龐大的分立無源元件。文章主要介紹了集成無源元件技術的發展情況，以及採用IPD薄膜技術實現電容。電阻和電感的加工，並探討了IPD對PCB技術發展的影響。

本文引用地址：http://www.eepw.com.cn/article/275998.htm

　　1引言

　　隨著電子技術的發展，半導體從微米製程進入納米製成後，主動式電子元件的集成度隨之大幅提升，相對搭配主動元件的無源元件需求量更是大幅增長。電子產品的市場發展趨勢為輕薄短小，所以半導體製程能力的提升，使相同體積內的主動元件數大增，除了配套的無源元件數量大幅增加，也需要有較多的空間來放置這些無源元件，因此必然增加整體封裝器件的體積大小，這與市場的發展趨勢大相逕庭。從成本角度來看，總成本與無源元件數量成正比關係，因此在大量無源元件使用的前提下，如何去降低無源元件的成本及空間，甚至提高無源元件的性能，是當前最重要的課題之一。

　　IPD(Integrated Passive Devices集成無源元件)技術，可以集成多種電子功能，如傳感器。射頻收發器。微機電系統MEMS.功率放大器。電源管理單元和數字處理器等，提供緊湊的集成無源器件IPD產品，具有小型化和提高系統性能的優勢。因此，無論是減小整個產品的尺寸與重量，還是在現有的產品體積內增加功能，集成無源元件技術都能發揮很大的作用。

　　在過去的幾年中，IPD技術已經成為系統級封裝(SiP)的一個重要實現方式，IPD技術將為「超越穆爾定律」的集成多功能化鋪平道路;同時，PCB的加工可以引入IPD技術，通過IPD技術的集成優勢，可以彌合封裝技術和PCB技術之間不斷擴大的差距。

　　IPD集成無源元件技術，從最初的商用技術已經發展到目前以取代分立無源元件，在ESD/EMI.RF.高亮度LED.數字混合電路等行業帶動下穩步增長。

　　Yole關於薄膜集成無源和有源器件的研究報告預計，到2013年總市場份額超過10億美元，IPD技術將被廣泛應用於航空航天。軍工。醫療。工控和通訊等各個領域的電子行業。

　　2薄膜IPD技術介紹

　　IPD技術，根據製程技術可分為厚膜製程和薄膜製程，其中厚膜製程技術中有使用陶瓷為基板的低溫共燒陶瓷LTCC(Low Temperature Co-firedCeramics)技術和基於HDI高密度互連的PCB印製電路板埋入式無源元件(Embedded Passives)技術;而薄膜IPD技術，採用常用的半導體技術製作線路及電容。電阻和電感。

　　LTCC技術利用陶瓷材料作為基板，將電容。電阻等被動元件埋入陶瓷基板中，通過燒結形成集成的陶瓷元件，可大幅度縮小元件的空間，但隨著層數的增加，製作難度及成本越高，因此LTCC元件大多是為了某一特定功能的電路;HDI埋入式元器件的PCB技術通常用於數字系統，在這種系統裡只適用於分布裝焊的電容與中低等精度的電阻，隨著元件體積的縮小，SMT設備不易處理過小元件。雖然埋入式印刷電路板技術最為成熟，但產品特性較差，公差無法準確把握，因為元件是被埋藏在多層板之內，出現問題後難以進行替換或修補調整。相比LTCC技術和PCB埋置元器件技術，集成電路的薄膜IPD技術，具有高精度。高重複性。尺寸小。高可靠度及低成本等優點，未來勢必成為IPD主流，本文將主要就薄膜IPD技術進行介紹。

　　3薄膜集成無源元件技術的發展現況

　　薄膜IPD技術採用曝光。顯影。鍍膜。擴散。刻蝕等薄膜製程，一個有代表性的薄膜集成無源工藝的剖面示意圖如圖1所示，這個工藝能製作各種電阻。電容和電感元件，以及低電感接地板和連接無源元件的傳輸線走線。薄膜結構在合適的載體襯底材料上製造，工藝既要能滿足所要求的元件性能和精度指標，還不能複雜，需要掩模數較少(一般為6~10張)。每個無源元件通常佔據不到1 mm2的面積，以便能在面積和成本方面與表面貼裝技術的分立元件競爭。

　　

 

　　根據現有的IPD結構，以發展廠商分別介紹如下：

　　(1)Telephus

　　Telephus發展的IPD採用厚銅製程，該製程可以為只具有無源元件線路提高性能。降低成本以及減小尺寸，如濾波器和分工器，厚銅金屬層(10 mm)和矽絕緣表面使無線通信系統和集成RF模組具有高性能表現，而低介電常數材料適用於減少金屬層間的寄生電容，其IPD結構如圖2所示。

　　

 

　　(2)IMEC

　　IMEC的薄膜技術也是採用電鍍銅做為連接線路，BCB做為介電層，Ni/Au層做為最終連接面金屬，使用多達4層的金屬層。其IPD結構如圖3所示。

　　

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