壓電陶瓷致動器做為相關應用首選技術時，通常要求運動幾納米或更高的解析度，亞毫米或微米級行程範圍的應用在線性運動中並不少見。為了說明這一點，下面是一些行業和應用的例子，在這些行業和應用中，壓電陶瓷致動器通常是最佳解決方案。
微升和納升分配
當需要分配微升或納升體積時，它需要非常精確的運動來控制分配，由壓電陶瓷致動器促動隔膜泵或閥門是一種常見的解決方案。通過給壓電陶瓷施加電壓，改變其位移的大小和速率，從而達到微升或納升分配的目的。壓電致動器的位移決定分配體積，致動器的工作頻率控制流量，壓電陶瓷致動器具有解析度高、體積小易於集成、功耗低等優點。
微定位和納米定位
在顯微鏡、診斷和高精度製造應用中，通常需要納米級的解析度。例如，導光板加工需要將加工刀頭定位在距離工件只有幾微米的距離，在高頻率和亞納米解析度的範圍內進行加工運動。壓電陶瓷致動器是為數不多的能夠滿足這些要求的運動裝置之一，其高諧振頻率為控制迴路提供了穩定性。
減震抑振
壓電堆疊致動器可以輸出幾千牛頓的力，可以用於精密工作檯或其他振動敏感設備的主動減振，使其成為理想的減振裝置。例如，可以在工具機中集成壓電陶瓷致動器，以在工具機的控制迴路中產生反向運動，減輕振動，從而提高加工精度和工件質量。