中國大陸晶圓廠跟蹤調研:2019年大尺寸矽片布局情況中期匯總

2020-12-22 電子工程專輯

2019年6月,芯思想發布了《中國大陸晶圓廠跟蹤調研:2019年FAB情況跟蹤調查中期盤點》,有朋友提出要對國內大矽片進行整理。今天特別推出《2019年中國大尺寸矽片布局情況中期匯總》。4YdEETC-電子工程專輯

目前國內12吋晶圓幾乎全部靠進口,國內的12吋矽片月生產量約5萬片。由於晶圓廠建好後,可能要面臨無米下鍋的局面。為了彌補半導體矽晶圓的供應缺口,降低進口仰賴程度,我國正積極邁向8吋與12吋矽片生產,多項重大投資正在啟動中,大都鎖定12吋矽晶圓,當然8吋項目也不少。4YdEETC-電子工程專輯

芯思想研究院對國內的大矽片生產布局進行了調研整理。4YdEETC-電子工程專輯

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芯思想研究院調研發現,目前宣布的12吋矽片項目多達20個,根據各家公司公布情況來看,總投資金額超過1400億,12吋矽片總規劃月產能到2023年前後合計超過650萬片,如果加上天芯矽片、中芯環球、濟南項目,12吋矽片總規劃月產能將可能高達800萬片,約是2018年全球12吋矽片月需求的2倍。4YdEETC-電子工程專輯

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目前,國產矽片供應商主要是集中在供應8吋及以下矽片,無法滿足主流需求。國內大矽片牢牢掌控在海外廠家手中,這對國內半導體產業國產化而言始終是一大隱患。因此,推動半導體產業發展,上遊材料端必須與之配套加快國產化進程。2016年《中國集成電路產業「十三五」發展規劃建議》中提出,在材料領域,力爭到2020年關鍵材料產業化技術水平達到40-28nm工藝要求,實現產業化,部分專業領域推進到20-14nm,培育2-3家材料企業成為全球知名品牌。4YdEETC-電子工程專輯

中國大陸多個12吋大矽片項目開工建設,將引發人才搶奪大戰。全球12吋大矽片人才本就缺乏,如何做好人才引智工作將是考驗各個項目成敗的關鍵。4YdEETC-電子工程專輯

大矽片項目情況 

1、矽產業集團

1.1上海新昇半導體科技有限公司4YdEETC-電子工程專輯

上海新昇半導體科技有限公司(上海新昇)成立於2014年6月,致力於在我國研究、開發適用於尖端工藝節點的12吋矽單晶生長、矽片加工、外延片製備、矽片分析檢測等矽片產業化成套量產工藝,建設12吋半導體矽片的生產基地,實現12吋半導體矽片的國產化。4YdEETC-電子工程專輯

項目總投資68億元,其中一期總投資23億元,專注40-28nm工藝節點的12吋矽單晶生長、矽片加工、外延片製備。4YdEETC-電子工程專輯

2016年10月成功拉出第一根12吋單晶矽錠。4YdEETC-電子工程專輯

2017年打通12吋矽片全工藝流程,從2017年第二季度已經開始向中芯國際等晶片代工企業提供40-28nm工藝節點12吋矽片樣片進行認證,並有擋片、陪片、測試片等產品持續銷售,正式出貨並實現小批量銷售。4YdEETC-電子工程專輯

2018年實現了12吋矽片的規模化生產;一季度末,通過上海華力微電子有限公司的認證並開始銷售。2018年實現收入超過2億元。在第一期月產能10萬矽片產能建設完成的同時,啟動第二個月產能10萬矽片產能的建設。4YdEETC-電子工程專輯

目前正在研發20-14nm工藝節點12吋矽片,規劃建設月產能達5萬片20-14nm工藝節點12吋矽片生產線。4YdEETC-電子工程專輯

預估2019年實現月產能20萬片,2020年底實現月產能30萬片,最終將形成月產60萬片12吋矽片的產能。未來甚至可能高達月產100萬片規模。4YdEETC-電子工程專輯

1.2 新傲科技4YdEETC-電子工程專輯

2016年,新傲科技宣布首個採用Soitec專有Smart Cut技術製作的200mm SOI晶圓在上海生產成功,經過擴產,目前年產能已達18萬片。4YdEETC-電子工程專輯

為了更好地服務全球市場對RF-SOI和Power-SOI產品的增長性需求,2019年2月,新傲科技宣布擴大200mm SOI晶圓年產量,從年產18萬片增加至36萬片。4YdEETC-電子工程專輯

同時,新傲科技還在規劃12吋SOI生產線,為未來毫米波射頻器件和FD-SOI做好準備。4YdEETC-電子工程專輯

2、超矽半導體

2.1 上海超矽半導體有限公司4YdEETC-電子工程專輯

2018年7月30日,上海超矽半導體有限公司12吋全自動智能化生產線項目開工建設。該項目一期投資60億元,建設周期為1.5年,預計2019年9月設備搬入,2019年12月產品下線。4YdEETC-電子工程專輯

總投資預計達到100億元。據悉,還將建設18吋中試生產線,項目建成後將形成年產360萬片12吋矽片和外延片以及12萬片18吋拋片生產能力。4YdEETC-電子工程專輯

另外上海超矽半導體有限公司持有重慶超矽半導體有限公司7.35%、成都超矽半導體有限公司5%的股份。4YdEETC-電子工程專輯

2.2 重慶超矽半導體有限公司4YdEETC-電子工程專輯

重慶超矽項目總投資50億元,分三期建設,三期建設完成達產後將實現月產50萬片8吋矽片和月產5萬片12吋矽片的產能。4YdEETC-電子工程專輯

一期項目投資20億元,主要生產極大規模集成電路用8吋/12吋單晶矽晶體生長、矽片拋光及其延伸產品,建設年產180萬片矽片的產能。4YdEETC-電子工程專輯

一期項目於2014年5月開工,2016年4月投入試生產;2016年5月第一根集成電路級8吋單晶矽棒成功拉出;2016年9月第一根集成電路級12吋單晶矽棒成功拉出;2016年10月28日 第一批集成電路級單晶矽晶體生長和拋光片順利下線;2016年底成功實現8吋矽片加工整線試生產、12吋晶體生長,同時啟動了12吋矽片加工生產線建設;2017年1月20日第一批8吋矽片產品出廠發貨;2018年3月,在SEMICON CHINA2018上展示了國內第一根18吋集成電路用單晶矽棒。至此,公司已經完成8吋、12吋、18吋單晶矽棒的拉制工作。4YdEETC-電子工程專輯

重慶超矽的8吋矽片已經供不應求,2018年安裝多套關鍵設備,2018年底月產能超過10萬片;12吋矽片目前已經在廠商驗證,2018年底形成25000片的產能。4YdEETC-電子工程專輯

2.3 成都超矽半導體有限公司4YdEETC-電子工程專輯

2017年8月雲南城投集團與邛崍市人民政府籤署《成都超矽半導體生產基地項目》協議,協議中商定將在邛崍市建設超矽半導體生產基地。4YdEETC-電子工程專輯

項目總投資50億元,主要建設兩條12吋晶圓生產線。,項目達產後,可實現月產50萬片12吋矽片的產能。4YdEETC-電子工程專輯

項目於2018年3月31日舉行開工典禮,還沒有進行實質建設。4YdEETC-電子工程專輯

3、中環半導體

中環股份的8-12吋大矽片項目,晶體生長環節在內蒙古呼和浩特,拋光片環節在天津和江蘇宜興。4YdEETC-電子工程專輯

3.1 天津中環領先材料技術有限公司4YdEETC-電子工程專輯

中環領先的8吋半導體區熔矽片實現量產,產能已陸續釋放,進一步確立了公司在區熔拋光片市場的地位。2018年未公司8吋拋光片月產能已達到30萬片,年產量為 3.8億平方吋;8寸區熔單晶矽片主要是滿足IGBT 器件領域。4YdEETC-電子工程專輯

12吋拋光片試驗線實現月產能2萬片,是中國大陸第一家、全球第三家做12吋功率矽片的工廠,目前有約10家客戶在認證。4YdEETC-電子工程專輯

3.2 中環領先半導體材料有限公司4YdEETC-電子工程專輯

2017年10 月12日,中環股份、晶盛機電、無錫市政府籤署戰略合作協議,三方或以產業基金形式確定項目投資主體,共同在無錫宜興啟動建設集成電路用大矽片生產與製造項目。2019年中環領先集成電路用大矽片項目入選江蘇省級重大產業項目。4YdEETC-電子工程專輯

中環領先集成電路項目,總投資約30億美元,分兩期實施,由三方共同出資:天津中環半導體股份有限公司和中環香港控股有限公司合計出資60%,無錫產業發展集團旗下錫投產業(香港)有限公司出資30%,浙江晶盛機電股份有限公司出資10%。4YdEETC-電子工程專輯

2017年12月14日註冊成立項目公司--中環領先半導體材料有限公司(中環領先)。4YdEETC-電子工程專輯

2017年12月28日,項目一期開工建設,投資15億美元,其中裝備投入60億元,建設兩條8吋生產線,月產能75萬片;一條12吋試驗線,月產能2萬片;一條12吋生產線,月產能15萬片。4YdEETC-電子工程專輯

項目一期於2019年2月進行試生產8吋矽片,7月將進行規模化投產;12吋功率矽片生產線將在2019年下半年進行設備安裝調試。4YdEETC-電子工程專輯

項目二期將於2020年開工建設,投資15億美元,建設兩條12吋生產線,月產能35萬片。4YdEETC-電子工程專輯

整個項目投產以後將實現年產8吋拋光片900萬片和12吋拋光片600萬片的產能。4YdEETC-電子工程專輯

4、立昂微電子

4.1 浙江金瑞泓科技股份有限公司4YdEETC-電子工程專輯

浙江金瑞泓科技股份有限公司是一家致力於半導體材料研發與生產的高新技術企業,是8具有矽單晶錠、矽研磨片、矽拋光片、矽外延片、晶片製造的完整產業鏈的半導體企業。擁有完備的4吋、5吋、6吋及8吋矽片產品結構,形成了集成電路與分立器件、輕摻雜與重摻雜、拋光片與外延片並重的特色。矽片年產能達到近800萬片,可以生產5000多種技術規格的矽片產品。4YdEETC-電子工程專輯

2010年,牽頭承擔「極大規模集成電路製造裝備及成套工藝」國家科技重大專項,並於2017年5月通過國家驗收,具備了8吋矽片月產12萬片的大規模產業化能力,掌握了12吋矽片核心技術。4YdEETC-電子工程專輯

2009年公司率先打破我國8吋矽片全部依賴進口的局面,實現8吋矽片正式銷售。擁有減壓充氮直拉矽單晶、微量摻鍺直拉矽單晶及重摻磷、硼、銻、砷矽單晶成套技術等數項具有自主智慧財產權的核心技術及獨特的技術訣竅。4YdEETC-電子工程專輯

公司是ONSEMI(安森美)、AOS(萬代)、TOSHIBA(東芝)、NXP(恩智普)等國際知名半導體公司的穩定供應商,也是中芯國際、華虹宏力、華潤上華、中航微電子、杭州士蘭微等國內主要半導體企業的重要供應商。4YdEETC-電子工程專輯

4.2 金瑞泓科技(衢州)有限公司4YdEETC-電子工程專輯

金瑞泓科技(衢州)有限公司項目規劃總投資50億元,建成月產40萬片8吋矽片和月產10萬片12吋矽片的項目規模。4YdEETC-電子工程專輯

項目計劃分三期逐步實施。一期總投資約7億元,建設周期為2017年至2019年,用地100畝,計劃2017年建成月產10萬片8吋矽外延片項目;二三期項目總投資43億元,用地120畝,將形成月產30萬片8吋矽片項目生產線和月產10萬片12吋矽片項目生產線,填補國內12吋矽片生產線的空白。4YdEETC-電子工程專輯

2017年一期項目主體廠房已經建成,8吋矽外延生產線在2018年4月建成投產並實現批量銷售,8吋的單晶、切、磨、拋廠房將在2019年三季度建成投產,屆時將全線拉通8吋矽單晶、矽拋光片、矽外延片生產線。4YdEETC-電子工程專輯

4.3 金瑞泓微電子(衢州)有限公司4YdEETC-電子工程專輯

2018年5月30日,由杭州立昂微電子股份有限公司投資83億元、年產360萬片集成電路用12吋矽片項目正式籤約。4YdEETC-電子工程專輯

2018年9月19日,項目承擔單位金瑞泓微電子(衢州)有限公司成立,並引入上遊多晶矽企業青海黃河上遊水電開發有限責任公司作為股東。4YdEETC-電子工程專輯

項目一期投資35億元,租用金瑞泓科技(衢州)有限公司約70畝土地及地面約4萬平方米左右廠房,建設年產180萬片集成電路用12吋矽片項目。二期投資48億元,建設年產180萬片集成電路用12吋矽片項目。4YdEETC-電子工程專輯

2019年7月2日,首根12吋半導體級矽單晶棒順利出爐。4YdEETC-電子工程專輯

5、山東有研半導體材料有限公司 

2018年7月26日,山東有研半導體材料有限公司落戶德州,是有研半導體材料有限公司投資的大矽片項目。項目已經入選2019年山東省重點建設項目名單和山東省新舊動能轉換重大項目庫。4YdEETC-電子工程專輯

項目總投資80億元,分兩期進行建設。4YdEETC-電子工程專輯

一期建設項目總投資18億元,分為兩大部分,一是搬遷北京的舊產線(包括8吋、6吋產線),二是新上一條年產180萬片8吋矽片生產線。4YdEETC-電子工程專輯

一期項目於2019年3月開工,目前正在進行樁基施工,計劃2020年底投產。項目全部達產後,可年產8吋矽片276萬片、6吋矽片180萬片、大直徑矽單晶300噸。4YdEETC-電子工程專輯

二期項目計劃投資62億元,建設年產360萬片12吋矽片,將於明年初開工,2021年底建成投產。4YdEETC-電子工程專輯

6、申和熱磁

6.1 杭州中芯晶圓半導體股份有限公司4YdEETC-電子工程專輯

杭州中芯晶圓半導體股份有限公司成立於2017年9月28日,由於上海申和熱磁電子有限公司、杭州大和熱磁電子有限公司、株式會社フェローテックホールディングス聯合成立。4YdEETC-電子工程專輯

2017年12月18日,項目正式開工,一期項目包括三條8吋、兩條12吋(300mm)半導體矽片生產線。建設月產35萬片8吋矽片項目和月產20萬片12吋矽片項目,總投資60億元。4YdEETC-電子工程專輯

2018年5月28日,中建一局建設發展公司中標杭州中芯晶圓半導體股份有限公司半導體大矽片項目施工總承包工程。該項目位於杭州市蕭山區大江東產業集聚區,廠區建築物佔地面積約5.7萬平方米,建築總面積約為17.8萬平方米,其中包括1#生產調度廠房(FAB)、2#切磨拋廠房1(FAB1)、3#切磨拋廠房2(FAB2)、4#動力站及廢水站(CUB)和其他附屬棟建築。4YdEETC-電子工程專輯

2019年6月試投產,首批8吋矽拋光片順利下線。4YdEETC-電子工程專輯

6.2 寧夏銀和半導體科技有限公司4YdEETC-電子工程專輯

寧夏銀和半導體科技有限公司成立於2015年12月14日,是杭州中芯晶圓半導體股份有限公司的全資子公司。4YdEETC-電子工程專輯

2016年4月12日,寧夏銀和半導體科技有限公司開工,項目總投資31億元。4YdEETC-電子工程專輯

2017年7月6日,一期項目年產180萬片8吋矽片項目正式竣工投產。4YdEETC-電子工程專輯

2018年3月18日,總投資60億元的二期項目開工,項目建成後,可年產420萬片8吋矽片和年產240萬片12吋矽片。4YdEETC-電子工程專輯

7、鄭州合晶矽材料有限公司

 鄭州合晶矽材料有限公司成立於2017年2月23日,是上海合晶矽材料有限公司的全資子公司。4YdEETC-電子工程專輯

 鄭州合晶項目計劃總投資57億元。項目共分兩期實施,一期投資12億元,建設滿足月產能20萬片8吋矽片,二期投資45億元,建設滿足產能為月產20萬片12吋矽片和月產外延片7萬片。4YdEETC-電子工程專輯

 一期於2017年7月27日開工建設,2018年6月25日完成首根200毫米單晶矽棒的拉制,2018年10月26日一期200毫米矽單晶生產線的全面竣工投產。4YdEETC-電子工程專輯

註:由於臺灣合晶股份都還沒有能力生產12吋矽片,估計二期的12吋的路還很漫長。4YdEETC-電子工程專輯

8、安徽易芯半導體有限公司

易芯半導體通過多年的自主研發,成功開發出我國第一臺12吋半導體級單晶矽晶體生長爐與全自動控制系統,掌握了國際領先的大直徑單晶矽棒生長技術與矽片產業化經驗。4YdEETC-電子工程專輯

2015年12月,易芯半導體自主研發的12吋晶片級單晶矽片通過了國家有色金屬及電子材料分析測試中心的檢測,送樣產品核心參數均通過測試,相關指標達到國際標準。4YdEETC-電子工程專輯

2017年7月,易芯半導體一期項目實現八條12吋單晶矽棒生產線的批量生產,年生產12吋單晶矽棒170噸(成品)。4YdEETC-電子工程專輯

儘管易芯半導體掌握了大直徑單晶矽棒生長技術,但目前還沒有形成切磨拋的能力,公司正在積極籌措資金以布局切磨拋產能。4YdEETC-電子工程專輯

9、西安奕斯偉矽片技術有限公司

2017年12月9日,奕斯偉矽產業基地項目籤約。西安高新區與北京芯動能公司、北京奕斯偉公司三方共同籤署了矽產業基地項目投資合作意向書。根據意向書,該項目總投資110億元,預期達產後將形成月產50萬片12吋矽片的產能;最終目標成為月產能100萬片。4YdEETC-電子工程專輯

2018年2月9日,項目承擔單位西安奕斯偉矽片技術有限公司成立,是西安奕斯偉材料技術有限公司全資子公司,而西安奕斯偉材料技術有限公司是北京奕斯偉科技有限公司的全資子公司。4YdEETC-電子工程專輯

2018年7月7日參加「西安2018年第二批擴大有效投資重大項目集中開工儀式」。4YdEETC-電子工程專輯

2019年1月17日,1號生產廠房、2號拉晶廠房順利封頂;7月15日項目用110KV變電站投運,設備將開始聯機調試,標誌著項目進入投產倒計時。 4YdEETC-電子工程專輯

10、四川經略長豐半導體有限公司

2018年3月22日,四川經略長豐半導體有限公司8/12吋矽片項目開工。項目分兩期建設,其中一期工程計劃於一年內完工。達產後,形成月產10萬片8吋和月產40萬片12吋矽片的生產能力。4YdEETC-電子工程專輯

根據《四川經略長豐半導體有限公司集成電路用8/12吋矽片產品項目環境影響評價第一次公示》信息表明,項目總投資50億元,投資方是深圳經略長豐投資管理有限公司。4YdEETC-電子工程專輯

2019年3月開始討論項目用110KV變電站方案設計及預算。 4YdEETC-電子工程專輯

11、廣西啟世半導體有限公司 

2018年9月12日,廣西啟世半導體有限公司年產1440萬片集成電路用12吋大矽片項目(中馬大矽片項目)落戶廣西欽州。 4YdEETC-電子工程專輯

作為第十五屆中國—東協博覽會國內經濟合作項目集中簽約項目之一,中馬大矽片項目落戶於中馬欽州產業園,總投資30億美元,主要建設12吋大矽片生產線。項目計劃分三期建設,其中一期總投資10億美元,建設四條生產線,年產480萬片12吋大矽片。4YdEETC-電子工程專輯

據查,廣西啟世半導體有限公司成立於2018年5月29日,董事長是金成默,總經理是CHO KWAN SIK。投資方是深圳啟世投資有限公司,成立於2018年8月21日。 4YdEETC-電子工程專輯

註:此項目存在非常大的不確定性。 4YdEETC-電子工程專輯

12、中晶(嘉興)半導體有限公司

2019年1月19日中晶大矽片項目籤約嘉興科技城,項目總投資110億元,年產1200萬片12吋大矽片。項目分兩期建設,其中一期投資60億元,年產480萬片12吋大矽片。4YdEETC-電子工程專輯

據悉 ,2019年2月28日該項目籤訂土地出讓合同,4月12日取得建築工程施工許可證並進場施工。4YdEETC-電子工程專輯

截至2019年6月底,中晶大矽片項目已建設投資4.3億元,其中設備投入3.39億元。 4YdEETC-電子工程專輯

各廠房樁基工程已經完成,預計2019年12月一期土建基本完成,2020年開始進行廠房裝修,2020年7月,項目一期廠房竣工投入使用,全部工程預計在2024年6月完成。4YdEETC-電子工程專輯

 2019年7月入列2019年度浙江省第一批特別重大產業項目。 4YdEETC-電子工程專輯

13、江蘇睿芯晶半導體科技有限公司投資 

2019年3月項目籤約,計劃首期總投資約3億美金,建設12吋半導體矽片月產能10萬片。4YdEETC-電子工程專輯

目前沒有任何實質進展。 4YdEETC-電子工程專輯

14、天芯矽片製造(湖北)有限公司 

天芯矽片製造(湖北)有限公司成立於2019年1月。 4YdEETC-電子工程專輯

據悉,廠房招標工程於2019年4月完成。 4YdEETC-電子工程專輯

15、中芯環球科技有限公司 

中芯環球於2019年7月成立,目前正在與多地洽談矽片項目。 4YdEETC-電子工程專輯

該公司和泉芯集成電路製造(濟南)有限公司有密切關係。中芯環球的總經理鍾雄鷹是泉芯集成的董事長,中芯環球的副總經理曹山是泉芯集成的總經理。 4YdEETC-電子工程專輯

16、濟南大矽片項目 

山東省會濟南市念念不忘大矽片項目。從2018年至2019年多次組織大矽片項目認證會。 4YdEETC-電子工程專輯

中國電子級多晶矽布局 

電子級多晶矽是集成電路產業上遊核心原材料,我國政府雄心勃勃的發展規劃以及各大企業對大矽片項目的投資,將驅動電子級矽材料向前發展。2016年國家強基工程還支持了洛陽中矽高科技有限公司和江蘇鑫華半導體材料有限公司發展電子級多晶矽,引導行業提升整體競爭能力。 4YdEETC-電子工程專輯

目前國內從事電子級多晶矽材料研發生產的企業主要有青海黃河上遊電子級多晶水電開發有限公司新能源公司(黃河新能源)、雲南冶金雲芯矽材股份有限公司(雲冶芯材)、江蘇鑫華半導體材料科技有限公司(鑫華半導體)、洛陽中矽高新科技有限公司(洛陽中矽)、宜昌南玻矽材料有限公司(宜昌南玻),而新疆大全新能源股份有限公司(新疆大全)、新特能源股份有限公司(新特能源)等也在布局電子級多晶矽生產線。 4YdEETC-電子工程專輯

目前黃河新能源、鑫華半導體、雲冶芯材、洛陽中矽、宜昌南玻五家企業都發布了電子級多晶矽產品。目前國內尚未量產12吋集成電路矽片,12吋矽片用電子級多晶矽完全由國外壟斷,8吋及以下半導體矽片用電子級多晶矽已實現國產化。4YdEETC-電子工程專輯

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1、青海黃河上遊電子級多晶水電開發有限公司新能源公司

青海黃河上遊電子級多晶水電開發有限公司新能源公司(黃河新能源)成立於2006年,同年開始多晶矽的研發工作,於2010年投產,形成年產2500噸高純電子級多晶矽產能。自2014年開始,連續4年銷售量超過百噸,國內市場佔有率達到11%。4YdEETC-電子工程專輯

黃河水電多晶矽採用改良西門子法,實現完全閉路循環,節能低耗、安全環保,其氧含量<0.02ppma,碳含量<0.02ppma,受主雜質<0.03ppba,施主雜質<0.05ppba,基體總金屬雜質<2ppbw。4YdEETC-電子工程專輯

黃河新能源經過近十年的努力,建成了國內第一條電子級多晶矽生產線,生產出符合集成電路應用的高純電子級多晶矽,並率先在國內建立了一套完整的滿足SEMI標準的電子級多晶矽產品檢測標準、指標體系和檢測質量控制流程,擁有目前國內唯一按照國際半導體材料與設備協會(SEMI)標準配置的多晶矽檢測實驗室。 4YdEETC-電子工程專輯

黃河公司在不斷推動產品升級的同時,還利用國內首套完整的冷氫化技術,實現了產線中副產物的循環利用,冷氫化四氯化矽轉化率達到國內最高水平,還原爐回收尾氣經處理後達到電子級多晶矽生產要求,實現完全閉路循環和環保降耗。 4YdEETC-電子工程專輯

據悉,黃河新能源電子級多晶矽通過了北京有研半導體材料有限公司、西安華晶電子技術股份有限公司、天津市環歐半導體材料技術有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司產品驗證,一致認為產品質量可以滿足集成電路需求。 4YdEETC-電子工程專輯

2013年度和2014年度均通過浙江金瑞泓科技股份有限公司的關鍵供方考察審核,獲得該公司供應商資格,於2014年6月與浙江金瑞泓科技股份有限公司籤訂《電子級多晶矽產品長期合作框架協議》,並共同參與6吋、8吋、12吋矽片的論證實驗。 4YdEETC-電子工程專輯

2、江蘇鑫華半導體材料科技有限公司 

2015年12月11日,江蘇鑫華半導體材料科技有限公司成立,由國家集成電路產業投資基金聯手保利協鑫共同投資成立。 4YdEETC-電子工程專輯

公司採用改良西門子法循環利用氯矽烷工藝生產的多晶矽產品,公司第一條生產線的產能為5000噸,未來規劃再上一條5000噸生產線。4YdEETC-電子工程專輯

鑫華半導體依託協鑫11年的多晶矽製造成熟經驗,聯合海內外千餘人研發團隊,歷經317次電子級多晶矽生產試驗,對629項技術、設備優化改進,通過對原料純化系統的重新設計,實現了原料端徹底祛除和控制雜質。團隊通過選用半導體級材料和製造全面潔淨設備,系統性解決了雜質釋放問題,並且全球首創自動化無接觸矽料處理系統。 4YdEETC-電子工程專輯

2017年11月8日,公司正式發布電子級多晶矽產品,目前產品指標經第三方測試遠超國標電子一級品指標,試拉晶體效果完美。公司稱產品質量滿足40nm及以下極大規模集成電路用12吋矽片製造需求。 4YdEETC-電子工程專輯

2018年5月,公司電子級多晶矽出口韓國。2018年11月公司所有設備全面投用,電子級多晶矽質量全面比肩國際先進水平,標誌著我國電子級多晶矽成套技術和關鍵設備均已實現國產化。 4YdEETC-電子工程專輯

3、洛陽中矽高科技有限公司 

公司成立於2003年3月,總部位於洛陽,現有兩個生產基地(洛陽洛龍、偃師)和一個國家級重點工程實驗室。主要經營高純多晶矽、氣相白炭黑、高純四氯化矽、高純矽化合物產品、無水氯化氫等產品,並提供矽化合物技術服務。截止目前公司多晶矽年產能為20000萬噸。 4YdEETC-電子工程專輯

中矽高科是擁有自主智慧財產權的多晶矽生產企業,工藝技術具有能量綜合利用、物料閉路循環兩大特點,符合大規模、低單耗、高品質、清潔生產的發展方向。使用該工藝生產的多晶矽質量穩定可控,可根據客戶要求提供不同等級、不同形態的產品。4YdEETC-電子工程專輯

中矽高科正以用於電子晶片生產的區熔級多晶矽為突破口,打造國內區熔級多晶矽生產線,向價值鏈更高端躍升。 4YdEETC-電子工程專輯

4、雲南冶金雲芯矽材股份有限公司

雲南冶金雲芯矽材股份有限公司的前身是成立於2000年的昆明冶研新材料股份有限公司(昆明冶研),系1953年成立的昆明冶金研究院分離改制而來的一家高新技術公司,2012年7月26日,公司將註冊地由昆明搬遷至曲靖,2017年6月更名。 4YdEETC-電子工程專輯

實際上,早在2006年,雲南冶金集團將電子級多晶矽產業化項目作為戰略性新興板塊置入雲冶新材(原昆明冶研)具體實施。4YdEETC-電子工程專輯

2013年6月總投資36億元的以電子級多晶矽為目標的3000噸/年多晶矽產業化項目建成投產,部分產品達電子級標準。經過試用,可滿足「半導體器件使用要求」,2014年實現電子級多晶矽銷售。2015年開始進行冷氫化技改,2016年9月達產,產能達6000噸/年。4YdEETC-電子工程專輯

2015年10月成功實現質量滿足GB/T 12963-2014《電子級多晶矽》電子1級產品的批量穩定生產,至今已經產出電子級多晶矽1000多噸。 4YdEETC-電子工程專輯

5、宜昌南玻矽材料有限公司

宜昌南玻矽材料有限公司於2006年8月成立,隸屬於中國南玻集團太陽能事業部,是一家專業從事高純多晶矽、高效矽片、納米白炭黑、石英坩堝生產的大型製造企業。 4YdEETC-電子工程專輯

公司目前已經形成了年產12000噸高純多晶矽(其中電子級多晶矽2500噸/年、太陽能級多晶矽9500噸/年)、2.2GW高效矽片以及綜合利用多晶矽尾氣殘液年產3400噸納米白炭黑的生產能力。 4YdEETC-電子工程專輯

宜昌南玻多晶矽採用改良西門子法,增加還原尾氣幹法回收系統、四氯化矽氫化工藝,實現了全閉路循環。該方法降低了單位產品的能耗,採用四氯化矽氫化和尾氣幹法回收工藝,降低了原輔材料的消耗,保護了資源。 4YdEETC-電子工程專輯

公司多晶矽質量居行業先進水平,並積極儲備電子級多晶矽生產工藝技術。據悉,公司目前電子級多晶矽產量在800到850噸,內在質量達到國標電子三級以上,全部用於光伏產品,少量優質產品經深度腐蝕後送下遊半導體廠家試用。 4YdEETC-電子工程專輯

目前電子級多晶矽還沒有形成量產。為具備批量供貨能力,公司正在籌建半導體級專用產線,視市場情況推進產線升級。 4YdEETC-電子工程專輯

6、新疆大全新能源股份有限公司

新疆大全新能源股份有限公司專注高純度多晶矽專業生產。公司從國外引進世界領先的設備和生產工藝,通過消化吸收、技術創新實現全自動、全循環的閉環式運行製造高純多晶矽。生產過程物料利用率高、能耗低、綠色環保,各項技術指標達到國際先進水平。 4YdEETC-電子工程專輯

公司生產的高純度多晶矽主要用於太陽能光伏,年產能為1.8萬噸。 4YdEETC-電子工程專輯

為搶抓國家關鍵核心產業布局,公司積極儲備電子級多晶矽技術。2017年10月20日,公司年產13000噸多晶矽項目B階段開工建設,包括建設年產2500噸的電子級多晶矽產能。整體工程已經於2018年12月開始投產,相關電子級多晶矽情況還不明朗。 4YdEETC-電子工程專輯

7、新特能源股份有限公司 

新特能源股份有限公司是特變電工控股子公司,是專業從事光伏新能源產品研製及技術研發的高新技術企業,在多晶矽產品製造領域,公司具備3萬噸生產能力。 4YdEETC-電子工程專輯

新特能源研發出大規模電子級多晶矽生產的系列化配套工藝技術體系,從而實現電子級多晶矽國產化。 4YdEETC-電子工程專輯

為了把握行業發展機遇,2018年公司開始實施年產3.6萬噸高純多晶矽產業升級項目的建設,項目生產的多晶矽產品品質將全部達到電子級二級及以上,服務於高品質的單、多晶矽片用料市場,於2019年上半年項目建成投產,其中包括年產1500噸的電子級多晶矽生產線。4YdEETC-電子工程專輯

文章來源:芯思想4YdEETC-電子工程專輯
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