工程師吳畏 發表於 2018-11-23 16:10:43
隨著國內大力發展半導體產業，近兩年來不斷有晶圓製造、材料等重大項目密集上馬，唯獨設備業鮮有消息，不過近日傳來喜訊，中科九微半導體設備智能製造項目在四川南充啟動。
11月19日，中科九微科技有限公司半導體設備智能製造項目舉行奠基儀式，宣布項目正式開工。項目於今年9月在西博會上簽約，重點針對半導體裝備和核心部件的需求，打造一條集研發、設計、精密製造、營銷和服務一體化的產業鏈。
該項目總投資28億元，佔地約290畝，將研發、生產半導體晶圓片生長設備、刻蝕設備、薄膜沉積設備的核心部件和各種傳感器、控制電源等產品，並配建專家人才公寓、職工宿舍，預計2019年竣工投入使用，項目建成達產後預計可實現年銷售收入約50億元。
中科九微成立於今年9月7日，由九川科技集團、中國科學院微電子所等共同設立，是中國科學院微電子所和九川科技集團合作的重點項目，其中中國科學院微電子所佔股20%。
九川科技集團是一家以生產高低壓成套、輸配電設備、超高壓變壓器、工具機電器、電工建築電器、元器件、電線電纜和數控工具機等為主的大型現代化製造業集團企業，而中國科學院微電子所則為半導體業界所熟知。
中國科學院微電子所前身為成立於1958年的原中國科學院109廠，後與中國科學院半導體研究所、計算技術研究所有關研製大規模集成電路部分合併，國內微電子領域學科方向布局最完整的綜合研究與開發機構、國家科技重大專項集成電路裝備及工藝前瞻性研發牽頭組織單位等。
多年來，中國科學院微電子所在設備研發領域積累了不少經驗和IP，為中國設備公司提供支持，2017年開發了系列原子層沉積設備8個系列，推廣應用到近50家科研機構及企業。
九川科技集團擁有設備製造基礎，如今與中國科學院微電子攜手合作，將有望推進國內半導體設備國產化進程。
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