等離子清洗機一般可分為大氣（常壓）等離子清洗機和真空（低壓）等離子清洗機，前者是在開放的空間或者半封閉狀態下常壓放電，後者則是在全封閉的空間需要抽真空形成低壓產生輝光，無論那種形式，從微觀上分析等離子體形成的過程基本一致。
物質從能量較低的聚合態轉為能量較高的聚集態將要從外界供給能量（如加溫、電場、輻射等），從固體轉化為液體或從液體轉化為氣體時每個粒子需要0.01eV（1eV=1.6022×10-19焦耳）的能量，當氣體進一步從外界吸收能量，分子熱運動進一步加劇，分子離解為原子，原子中的電子獲得足夠的能量脫離電子，成為自由電子。氣體被電離，被電離的氣體中含有大量的電子、離子以及部分中性粒子（原子和分子），其中電子和離子的電荷數差不多相等，宏觀上或平均意義上它是電中性的。以水為例進行說明：
水形成等離子體的過程
當溫度在0℃以下時水會呈現固態，就是「冰」；當溫度在0℃到100℃之間，水會變成液態，也就是「水」；當溫度上升到100℃以上，水就會變成氣態，也就是「水蒸氣」。加熱到上萬度之後會變成物質的第四個狀態—等離子體！
大氣（常壓）等離子清洗機是把無水無油的壓縮空氣（CDA）通過噴槍電極形成等離子體的設備，如圖
大氣（常壓）射流等離子清洗機
真空（低壓）等離子清洗機是先把反應腔體抽真空，然後通入反應氣體，維持到一定的真空度後在電極端通電，形成高頻高壓電場，激發氣體放電的設備，如圖
真空（低壓）料盒等離子清洗機
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