以點概面,壓阻式壓力傳感器的構造

2020-12-13 騰訊網

壓阻式壓力傳感器不同於粘貼式應變計需通過彈性敏感元件間接感受外力，而是直接通過矽膜片感受被測壓力的。矽膜片的一面是與被測壓力連通的高壓腔，另一面是與大氣連通的低壓腔。

壓力傳感器的種類繁多，如電阻應變片壓力傳感器、半導體應變片壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器、電感式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、諧振式壓力傳感器及電容式加速度傳感器等。但應用最為廣泛的是壓阻式壓力傳感器，它具有極低的價格和較高的精度以及較好的線性特性。這種傳感器採用集成工藝將電阻條集成在單晶矽膜片上，製成矽壓阻晶片，並將此晶片的周邊固定封裝於外殼之內，引出電極引線。

壓阻式壓力傳感器主要由固定在矽杯上的矽杯膜片和外殼組成。矽膜片的上下有低壓腔和高壓腔，高壓腔通入被測壓力，低壓腔與大氣相通，檢測表壓力。也可以分別通入高、低壓力，檢測差壓力。在被測壓力或差壓作用下，矽膜片產生應變，擴散電阻的阻值隨應變而變化。傳感器的外形結構因被測介質性質和測壓環境而有所不同。由矽杯膜片構成的壓力傳感器又稱為擴散矽壓力傳感器。

已經出現的集成壓阻式壓力傳感器，採用大規模集成電路技術，將擴散電阻、檢測放大電路、溫度補儻電路乃至電源變換電路和微處理器集成在同一塊中晶矽膜片上，兼有信號檢測、處理（放大、運算、補償）、記憶功能，從而大大地提高了傳感器的穩定性和測量準確度。

壓力傳感器的應用常見於醫療設施設備，但其不僅限於醫療行業，其在工業也應用頻繁。壓力感測器被廣泛的應用在壓力開關、真空設備、流量控制、空調系統風扇控制等。壓力在工業生產中為重要參數之一，為了保證生產正常運作，必須對壓力進行監控和控制，以達到自動化控制、安全監測與警報的功能。

全磊微機電致力於以最先進的製程技術，提供高品質壓力感應器，廣泛應用於醫療、工業、汽車與消費性電子產品等各領域產品中，並且陸續獲得國內外各領域大廠承認、採用。

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    的種類繁多，但常用的壓力傳感器有電阻應變片壓力傳感器、半導體應變片壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器、電感式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、諧振式壓力傳感器及電容式加速度傳感器等。應用最為廣泛的是壓阻式壓力傳感器，它具有極低的價格和較高的精度以及較好的線性特性。 我國壓力傳感器市場主要是工業自動化控制領域，和汽車領域。在工控領域裡目前我國絕大部份採用擴散矽壓力傳感器、應變片式壓力傳感器和濺射薄膜壓力傳感器，而國內廠家生產面廣量大的就是擴散矽壓力傳感器。
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