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MEMS的全稱是微型電子機械系統(Micro Electromechanical System)，利用半導體製造工藝和材料，將傳感器、執行器、機械機構、信號處理和控制電路等集成於一體的微型器件或系統，其內部結構一般在微米甚至納米量級。MEMS主要包含兩個部分：傳感器和執行器。
MEMS傳感器市場
2014年，全球MEMS傳感器市場規模為130億美元，據預計2015-2020年MEMS傳感器市場將以13%年複合成長率增長，2020年將達到300億美元。
圖片來源：中國產業信息網 2017
其中慣性傳感器市場規模30億美元，佔總體MEMS整體行業規模23%，下遊應用主要為消費電子和汽車，消費電子市場中MEMS傳感器的終端客戶一般是智慧型手機和平板。汽車一般有穩定的供應商合作關係，對產品質量和供應商的資質要求高。
圖片來源：中國產業信息網 2017
MEMS傳感器供應鏈
MEMS產業鏈類似於傳統半導體產業，主要包括了四大部分：前端Fabless設計環節、ODM代工晶圓廠生產環節、封裝測試到下遊最終應用的四大環節。
圖片來源：中國產業信息網
MEMS傳感器國內企業的主要分布
中國的設計、製造、封裝測試廠商都在積極布局MEMS，已形成完整MEMS的產業鏈。
圖片來源：中國產業信息網
長三角區域：
以上海、無錫、南京為中心。
逐漸形成包括熱敏、磁敏、圖像、稱重、光電、溫度、氣敏等較為完備的傳感器生產體系及產業配套。
珠三角區域：
以深圳中心城市為主。
由附近中小城市的外資企業組成以熱敏、磁敏、超聲波、稱重為主的傳感器產業體系。
東北地區：
以瀋陽、長春、哈爾濱為主。
主要生產MEMS力敏傳感器、氣敏傳感器、溼敏傳感器。
京津區域：
主要以高校為主。
從事新型傳感器的研發，在某些領域填補國內空白。北京已建立微米/納米國家重點實驗室。
中部地區：
以鄭州、武漢、太原為主。
產學研緊密結合的模式，在PTC/NTC熱敏電阻、感應式數字液位傳感器和氣體傳感器等產業方面發展態勢良好。
MEMS傳感器全球供應商
全球前十名MEMS供應商：主要包括博世、意法半導體、惠普、德州儀器、佳能、InvenSense、Avago和Qorvo、樓氏電子、松下等等。
其中BOSCH因為其在汽車電子和消費電子的雙重布局，牢牢佔據著行業的第一的位置，其營收約佔前五大公司合計營收的三分之一。
大部分MEMS行業的主要廠商是以Fabless為主，例如樓氏、HP、佳能等。同時，平行的也有IDM廠商垂直參與到整條產業鏈的各個環節，比如 Bosch、ST等都建有自己的晶元代工生產線。
圖片來源：搜狐科技 2016全球前30大MEMS廠商排名
MEMS傳感器分類
MEMS傳感器種類很多，也有多種分類方法。按其工作原理，大致可分為MEMS物理、化學和生物傳感器，其中每一種MEMS傳感器又可分為很多種小類，不同的MEMS傳感器可以測量不同的量，實現不同的功能。
圖片來源：ittbank 2016
主要的MEMS傳感器包括運動傳感器、壓力、麥克風、環境、光傳感器等。其中運動傳感器可分為陀螺儀、加速度計、磁力計。
1. MEMS運動傳感器
MEMS運動傳感器主要有加速度計、陀螺儀、磁力計三大類，加速度計和陀螺儀可以集成為六軸慣性傳感器；磁力計和加速度計集成為電子羅盤（e-compass），加速度計、陀螺儀和磁力計可集成為9軸傳感器。
慣性傳感器(加速度計+陀螺儀)廠家有：意法半導體(ST)、旭化成微電子（AKM ）、應美盛(InvenSense)、羅伯特.博世等。
電子羅盤（磁力計+加速度計）廠家有：旭化成微電子（AKM ）、山葉（Yamaha）、阿爾卑斯（Alps Electric） 、美新半導體(MEMSIC)(2016年7月被華燦光電收購)等。
2. MEMS麥克風
MEMS麥克風在消費電子、汽車、醫療等領域廣泛的應用。
3. MSME壓力傳感器
壓力傳感器主要製造商：
GE Measurement&ControlSolutions、羅伯特·博世、歐姆龍、NXP-飛思卡爾、亞德諾半導體、菲爾斯特、香港HKST、TDK-EPC、Silicon Microstructures、Sensimed、敏芯微（MEMSensing）、華美澳通、北京青鳥元芯、中科院上海微系統所、無錫納微電子有限公司、上海芯敏微系統技術有限公司、Consensic、盾安環境
4. MEMS環境傳感器
環境傳感器可細分為氣體、溫度和溼度傳感器等。
國外溫度傳感器主要製造商：
博世、Hygrometrix、TI、瑞士盛思銳、歐姆龍。
國外溼度傳感器主要製造商：
博世、意法半導體、MEMS Vision、瑞士盛思銳、TE Sensors。
國外氣體傳感器主要製造商：
博世、奧地利微電子、Cambridge CMOS Sensors、瑞士盛思銳、瑞士Micronas、美國Synkera。
國內氣體傳感器主要製造商：
蘇州能斯達、武漢微納傳感科技、煒盛科技、森斯特（北京）電子科技有限公司（Nenvitech）、深圳市戴維萊傳感技術開發有限公司、武漢四方光電科技有限公司、速麗德（Solidsense）、城市技術（CityTechnology）。
5. MEMS生物傳感器
MEMS生物傳感器目前處於發展初期。未來MEMS生物傳感器在醫學、食品工業、環境監測等領域具有廣闊發展空間。
MEMS傳感器全球代工廠
MEMS代工主要有兩種類型：IDM廠商提供的MEMS代工，獨立的代工廠提供的MEMS代工，其中獨立的代工廠包括集成電路代工廠和純MEMS代工廠。目前IDM代工處於市場領導地位。
臺積電目前是全球最大的獨立的MEMS代工廠，中芯國際、華宏宏利、上海先進半導體也有生產MEMS的能力。
MEMS傳感器封測廠
目前具備MEMS封裝測試能力的國際廠商主要有日月光、安靠、矽品、力成科技、華天科技、長電科技、晶方科技等廠商。
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