等離子清洗機包括真空（低壓）等離子清洗機和大氣（常壓）等離子清洗機所產生的是等離子體；而電暈機產生的電暈，火花機放電是則氣體放電的兩種狀態，它們有本質區別，應用的場景和處理的對象也是不同的。
1 電暈放電
電暈，也稱單極放電，發生在處於電擊穿點之前的電氣上受壓狀態的氣體中的尖端、邊緣或絲附近的高電場區；是湯生暗放電的一個特徵現象。假如電暈電流比較高，電暈則是可見的輝光放電，對於低電流，整個電暈發暗的。相關的現象包括寂靜放電，即電暈的無聲形式；以及刷形放電，即非均勻電場內發光的放電。
直流電暈，即靜電場作用下的電暈放電，產生電暈放電的條件是在氣壓比較高（1個標準大氣壓以上）而且電場分布很不均勻條件下的放電。電場的不均勻性是由於一個或兩個電極表面的曲率半徑特別小所造成的。電極結構可以是針對針、針對平板、金屬絲對同軸圓筒、兩條平行金屬線等等，總之至少有一個電極表面曲率半徑很小。
電暈放電是自持放電，不需要任何催離劑的作用，放電電流一般在10-6~10-3安培，其放電特徵是在不均勻電場中，強電場電極表面附近，發生強烈的空間電離和激發，有明顯的發光現象稱電暈層。電暈如圖1所示
電暈放電1個標淮大氣壓下的乾燥空氣擊穿電場是約每米3兆伏（MV）或每釐米30千伏（KV）。當尖端或細絲周圍的局部電場超過擊穿電場時，便圍繞尖銳凸起產生電暈。
當只有一個曲率半徑很小的起暈電極時，被稱為單極電暈，單極電暈有正電暈和負電暈，由起暈電極極性而定。正電暈和負電暈的放電機理不同，由於空間電荷分布對正電暈有利，所以負電暈擊穿電壓高於正電暈。
如果兩個電極都是曲率半徑很小的電極，則構成雙極電暈，正電暈和負電暈同時存在，通過層外區的電流是雙向的，由正負帶電粒子組成。在相同條件下，雙極電暈的始暈電壓低於單極始暈電壓。電暈放電的機制和等離子清洗機不一樣。
2 火花放電
火花放電和電暈放電一樣也是在較高氣壓下（Pd大於1500mmHg.mm）進行的；但與電暈放電的不同點是其電場是均勻的，而且在電源功率不太大的情況下，由湯生放電過渡到火花放電。火花放電也是自持放電的一種，在大氣壓下火花放電的著火電壓等於自持放電的著火電壓，又稱為火花電位，當其他條件不變時它決定於極間距離。這與等離子清洗機的電極距離調整有點類似。
火花放電開始後，極間產生強烈的電離，而且極間溫度很高（可以產生熱電離），因此極間電阻很小，導電性好，通過較大的電流。在電阻上產生較大的電壓降，而分配在極間的電壓降減小， 不足以維持火花放電的存在，短時間後火花即熄滅，火花熄滅後極間電壓又增加，又開始新的火花放電，所以火花放電的外形是一束束閃亮曲折的細絲，很快穿過放電間隔，又很快熄滅，而且一個接一個交替進行。火花放電實驗如圖2所示
火花放電火花間隙極間電容越大，充電時間越長，火花頻率越低。火花放電的持續時間只有10-8~10-6s，此後可能轉向弧光放電。如果極間並聯一組電容，則可增大脈衝電流幅值，延長每個火花持續時間，但降低了火花頻率。弧光放電實驗如圖3所示
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