隔膜泵又稱控制泵，是執行器的主要類型，通過接受調製單元輸出的控制信號。隔膜泵藉助動力操作去改變流體流量。隔膜泵按其所配執行機構使用的動力，可以分為氣動、電動、液動三種，即以壓縮空氣為動力源的氣動隔膜泵，以電為動力源的電動隔膜泵，以液體介質（如油等）壓力為動力的電液動隔膜泵，另外，按其功能和特性分，還有電磁閥、電子式、智能式、現場總線型隔膜泵等。隔膜泵的產品類型很多，結構也多種多樣，而且還在不斷更新和變化。一般來說閥是通用的，既可以與氣動執行機構匹配，也可以與電動執行機構或其他執行機構匹配。隔膜泵工作原理隔膜泵工作時，曲柄連杆機構在電動機的驅動下，帶動柱塞作往復運動，柱塞的運動通過液缸內的工作液體(一般為油)而傳到隔膜，使隔膜來回鼓動。隔膜泵工作原理圖
氣動隔膜泵工作原理氣動隔膜泵缸頭部分主要由一隔膜片將被輸送的液體和工作液體分開，當隔膜片向傳動機構一邊運動，泵缸內工作時為負壓而吸入液體，當隔膜片向另一邊運動時，則排出液體。被輸送的液體在泵缸內被膜片與工作液體隔開，只與泵缸、吸入閥、排出閥及膜片的泵內一側接觸，而不接觸柱塞以及密封裝置，這就使柱塞等重要零件完全在油介質中工作，處於良好的工作狀態，實質也是往復泵的原理。氣動隔膜泵工作原理圖
電動隔膜泵工作原理電機通過減速箱帶動左右兩端柱塞上面的隔膜一前一後往復運動。在左右兩個泵腔內，裝有上下四個單向球閥隔膜的運動，造成工作腔內的容積的改變，迫使四個單向球閥交替地開啟和關閉，從而將液體不斷地吸入和排出。電動隔膜泵工作原理圖
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