真空系統設計(真空規)

2021-02-08 好凱德真空泵

真空系統是指由真空泵、真空計及各種零件通過管道以適當的方式聯接，組合成能達到一定真空度要求的裝置。真空系統的基本要求是都有哪些？

2.6.1.1U形壓力計

        U形壓力計採用水銀或低蒸氣壓油作為工作液體,從這種壓力計的兩個支管的液面高度差h可計算出兩個支管液面上的壓力差:       式(2-42)表明,U形壓力計是一種絕對真空計。對油U形壓力計來說,因油密度約為水銀密度的1/15,所以它的靈敏度要比水銀U形壓力計高15倍。        在真空測量中,通常所用的U形壓力計有如下幾種形式:圖2-100所示為開管式U形壓力計,它是一種以大氣壓作為參考壓力的U形壓力計。圖2-101所示為閉管式U形壓力計,其封閉支管中的氣體壓力與被測氣體壓力相比,可以忽略。        圖2-102所示是採用電學方法測量液面高度差的水銀U形壓力計,它是兩個支管中裝有電阻絲(鎢絲或鉑絲),隨著水銀液面的上升或下降,電阻絲的電阻值隨之減小或增大,以此來測出兩液面高度之差。        圖2-103所示是傾斜式U形壓力計,根據所測的L值,由h=sin可算出液面高度差。此種結構形式靈敏度可以提高5~10倍。圖2-100開管式U形壓力計              圖2-101閉管式U形壓力計圖2-102用電學法測量液面差的U形壓力計        圖2-103傾斜式U形壓力計         除通常使用的U形壓力計外,特殊設計的精密U形壓力計可作為1×105~10-1Pa壓力範圍的真空測量標準。精密U形壓力計是真空測量標準的基礎,另外的真空測量說是它的發展:壓縮式真空規可認為是「具有放大系統的U形壓力計」;膨脹式校準系統的前級標準是精密U形壓力計;動態流量法校準系統的上遊標準是壓縮式真空規或精密U形壓力計。



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