評估MEMS陀螺儀信號中常見噪聲源的簡單流程

2020-12-05 電子發燒友

當MEMS慣性測量單元(IMU)用作

運動控制系統中的反饋傳感器時,

你,必須了解陀螺儀的噪聲情況

因為,它會在所監視的平臺上造成

不必要的物理運動。

根據具體情況,針對特定MEMS IMU進行早期應用目標噪聲估算時需要考慮多個潛在的誤差源。在此過程中需要考慮的三個常見陀螺儀特性——其固有噪聲、線性振動響應和對準誤差。

圖 1的簡單模型顯示了會影響各誤差源評估的幾個特性:噪聲源、傳感器響應和濾波。此模型給出了對這些特性進行頻譜分析所需的基準

圖1.陀螺儀噪聲源和信號鏈

傳感器固有噪聲

傳感器固有噪聲代表的是陀螺儀在靜態慣性和環境條件下運行時其輸出中的隨機振動。MEMS IMU數據手冊通常會提供速率噪聲密度(RND)參數來描述陀螺儀相對於頻率的固有噪聲。此參數通常使用單位°/s/√Hz,是預測特定濾波器配置固有噪聲的關鍵。這裡的公式給出了一種簡單方法來估算與特定頻率響應(噪聲帶寬)和RND相關的噪聲。

當RND的頻率響應遵循單極點或雙極點低通濾波器曲線時,噪聲帶寬(fNBW)和濾波器截止頻率(fC)將有如下的關係。

除了RND參數外,MEMS IMU數據手冊有時會使用輸出噪聲等參數指定特定濾波器配置的陀螺儀固有噪聲。輸出噪聲通常使用角速率標準單位(°/s),並使用均方根(rms)等統計術語來描述總噪聲幅度。

線性振動

由於陀螺儀用於測量旋轉角速率,因此其對線性運動的響應會引入測量誤差。MEMS IMU數據手冊通常通過「線性加速度對偏置的影響」或「線性加速度」等參數來描述對線性運動的這一響應,這些參數通常使用單位°/s/g。線性振動是一種重複的慣性運動,其幅度大小可通過位移(m)、線性速度(m/s)或線性加 速度(m/s2或g)表示。在特定的振動頻率(fLV)下,位移(|dLV|)、速度(|vLV|)和加速度(|aLV|)之間的幅度關係如公式4所示。

當振動幅度以加速度(grms)表示時,與線性加速度參數相乘可估算陀螺儀測量中產生的噪聲。例如,當ADIS16488A承受5 g (rms)的振動時,由於線性加速度等於0.009°/s/g,因此其陀螺儀中的 噪聲估算值將為0.045°/s (rms)。

如圖1所示,陀螺儀信號鏈常常包括濾波器,這有助於減少線性振動引起的噪聲。以頻譜項(幅度、頻率)定義振動可在估算噪聲貢獻時考慮濾波器的影響。加速度頻譜密度(ASD)函數是以頻譜項表達振動的常見方式,通常使用單位g2/Hz。下面通過示例說明已知ASD和陀螺儀頻率響應(HG)時估算噪聲幅度的步驟:

1

ASD函數乘以陀螺儀頻率響應的平方值;

2

利用帕塞瓦爾定理,通過在目標頻率範圍內對ASDF進行積分來計算「濾波振動曲線」中的平均功率;

3

求取噪聲功率估算值的平方根,然後與線性加速度係數(HLG)相乘即可計算出陀螺儀噪聲幅度。

對準誤差

運動控制系統通常會建立慣性參考系,其中包含三個相互垂直90°的軸。這三個軸為MEMS IMU中的各個傳感器提供方位參考。理想情況下,陀螺儀的各個旋轉軸將與系統參考系中的軸完全對齊,將IMU安裝到平臺上之後,其將監視運行情況。這種情況下,在慣性參考系中圍繞其中一個軸旋轉,只有該軸的陀螺 儀會生成響應。實際操作中,無法實現這種效果,因為機械缺陷必定會造成一些對齊誤差,從而導致離軸陀螺儀響應慣性參考系中圍繞一個軸的旋轉運動。量化此響應需要一些三角恆等式,並謹慎定義陀螺儀的對齊誤差。

每個陀螺儀的對齊誤差均具有兩個分量,分別定義其相對於慣性參考系中另一個軸的對齊誤差。例如,對於圖2中的系統,θXZ代表x軸陀螺儀相對於z軸的對齊誤差。此對齊誤差定義有助於建立公式以計算離軸陀螺儀對系統慣性參考系中圍繞另一個軸旋轉運動的響應。公式中給出了一個示例,其量化了x 軸陀螺儀相對於z軸的對齊誤差(θXZ)和圍繞z軸旋轉(ωZR)而產生的響應(ωGX)。

圖2.三軸式陀螺儀對齊誤差

MEMS IMU通常具有兩種類型的對齊誤差,它們相互關聯,但在系統級建模中具有不同應用——軸到封裝和軸到軸:

  • 「軸到封裝對齊誤差」描述陀螺儀相對於器件封裝上特定機械特性的對齊情況。將IMU安裝到系統後,如果系統無法支持慣性對齊,則軸到封裝對齊誤差將成為整體對齊誤差的主要因素之一。系統與 IMU的機械接口的機械缺陷也會增加整體對齊誤差;

  • 「軸到軸對齊誤差」描述各個陀螺儀旋轉軸相對於其他兩個陀螺儀的相對對齊精度。在系統可以實現簡單的對齊過程時,此參數影響最大,此時通常沿系統的慣性參考系中的一個軸直線移動整個組件(IMU已安裝在系統平臺上),同時需要觀察傳感器。

如果對齊誤差不是IMU規格的一部分,則通過評估器件封裝中主要機械特性的物理容差就可以估算這些誤差。例如,以下情況會引入0.5°的對齊誤差:

 

案例研究

為了說明這些原理,請看以下示例,其中估算ADIS16488A中的陀螺儀噪聲,該器件用於在以下配置/條件下運行的新型航電系統:

全帶寬配置匹配與ADIS16488A針對固有傳感器噪聲的0.135°/s(rms)的輸出噪聲規格相關的條件。對于振動貢獻,圖3給出了曲線說明ASD(f)以及濾波曲線ASDF(f)。ASDF(f)中的頻率響應反映了與此IMU陀螺儀信號路徑中雙極點(404 Hz,757 Hz)低通濾波器相關的衰減曲線。

圖3.振動頻譜分析

利用公式通過線性加速度參數乘以ASDF (f)曲線幅值2.24 g rms,可估算產生的噪聲電平為0.02°/s (rms)。此噪聲電平比通過公式5到的0.045°/s (rms)低55%,利用公式的方法未採用頻譜項評估此噪聲源。這種改善是採用頻譜項定義振動曲線以獲取值的一個示例。

通過如下公式可計算50 Hz頻率下圍繞z軸進行±100°/s旋轉振蕩時的x軸陀螺儀噪聲。由於50 Hz恰好位於雙極點濾波器的通帶中,因此濾波器無法抑制此噪聲源。此計算假設ADIS16488A的軸到軸對齊誤差是主要誤差源(也就是說,將IMU安裝到系統後,全面部署時將包括簡單的慣性參考系對齊過程)。

表1總結了ADIS16488A中來自各個因素的陀螺儀噪聲。公式12給出了0.15°/s (rms)的整體噪聲估算值(ωNOISE),表示表1中所有三個噪聲源的平方和根值(RSS)。

表1.噪聲貢獻總結

上述這些方法利用相應數據手冊中的常用參數信息以及對慣性條件的初步見解或估算,給出了評估MEMS陀螺儀信號中常見噪聲源的簡單流程。了解和評估這些噪聲源有助於您確定重要的應用信息,指導IMU選擇流程,還可以發掘改善機會(簡單對齊,當IMU支持相應的軸到軸對齊誤差級別時以使用更經濟的解決方案,反之則無法實現這種優勢。

相關焦點

  • MEMS陀螺儀可否取代光纖陀螺儀技術
    此外還有幾種MEMS陀螺儀提供良好的偏置穩定度,但帶寬降低或噪聲很高。為本系統選擇的MEMS陀螺儀在帶寬和性能之間達到了平衡。表1給出了所選MEMS的實際規格。 本系統中使用的MEMS陀螺儀採用多核架構,該架構在穩定度、噪聲、線性度和線性g性能之間達到了優化平衡。完全差分四諧振器與片內高性能信號調理密切配合,從而使得諧振器的必需響應範圍最小,位於高度線性區,並且提供高度的振動抑制。 由於MEMS陀螺儀和加速度計集成到多軸IMU中(請參見圖1),傳感器的x/y/z正交性可能成為主要誤差源。
  • 採用MEMS陀螺儀的低噪聲反饋控制設計
    摘要本文引用地址:http://www.eepw.com.cn/article/201808/385758.htmMEMS陀螺儀提供了一種簡單的旋轉角速率測量方法,其所在的封裝很容易安裝到印刷電路板上。因此,在許多不同類型的運動控制系統中,它們都是反饋檢測元件的常見選擇。
  • 利用MEMS陀螺儀實現低噪聲反饋控制設計
    MEMS陀螺儀提供了測量旋轉角速度的一種簡單方法,其封裝很容易連接印刷電路板,因此被廣泛用於許多不同類型的運動控制系統中作為反饋檢測元件。在這種類型的功能中,角速度信號(MEMS陀螺儀輸出)中的噪聲對關鍵系統行為有著直接的影響,比如平臺穩定性,因此通常是影響MEMS陀螺儀能夠達到的精度級別的主要因素。
  • 糾纏光子陀螺儀克服了光纖陀螺儀經典極限!
    馬蒂亞斯芬克說:我們已經證明,糾纏光子的產生已經達到了技術上的成熟水平,這使得我們能夠在惡劣的環境下以亞鏡頭噪聲準確度進行測量。光纖陀螺儀(FOGs)類似於常見的旋轉陀螺儀,通常作為玩具出售,因為這兩種陀螺儀都測量一個物體的旋轉。然而,這兩種設備使用的是不同機制:霧沒有運動部件,而是利用光來進行測量。
  • 一種單軸MEMS陀螺儀信號處理電路設計
    摘要 以MEMS陀螺儀傳感器為基礎,設計了一種閉環驅動開環檢測的單軸MEMS陀螺儀信號處理電路。MEMS結構形成的電容變化具有受溫度影響小、穩定性好等特點,目前國內外眾多公司和研究所均集中於研究和開發電容式MEMS陀螺儀。MEMS陀螺儀主要包括MEMS傳感器和信號處理電路。目前國內在信號處理電路方面還處於PCB板級電路,而晶片級信號處理電路更能體現體積小、重量輕、功耗低等優勢,因此,晶片級MEMS陀螺儀信號處理電路的實現成為MEMS陀螺儀產業化的關鍵。
  • 基於DSP的MEMS陀螺儀信號處理平臺設計
    近年來隨著MEMS(微機電系統)技術的發展,MEMS陀螺儀的研究與發展受到了廣泛的重視。MEMS陀螺儀具有體積少、重量輕、可靠性好、易於系統集成等優點,應用範圍廣闊。但是目前MEMS陀螺儀的精度還不是很高,要想大範圍應用必須對MEMS陀螺儀的信號進行處理。
  • 175°C高溫環境MEMS陀螺儀——ADXRS645
    角速率引起的位移會在系統中產生差分電容。 在實際應用中,科氏加速度是一個極小的信號,會導致幾分之 一埃的射束偏轉,以及仄法級別的電容變化(譯者註:1仄法=1e-21法拉)。因此,最大限度降低對寄生源(例如溫度、封裝應力、外部加速度和電噪聲)的相互幹擾是極為重要的。這種作用一部分是通過將電子器件(包括放大器和濾波器)和機械傳感器放置在同一裸片上來實現的。
  • mems傳感器現狀_mems傳感器製作工藝
    打開APP mems傳感器現狀_mems傳感器製作工藝 網絡整理 發表於 2019-12-25 10:03:09   mems傳感器研究現狀   1、微機械壓力傳感器   微機械壓力傳感器是最早開始研製的微機械產品,也是微機械技術中最成熟、最早開始產業化的產品。
  • ADI 推出戰術級 MEMS 陀螺儀,性能匹敵光纖陀螺儀
    (ADI),全球領先的高性能信號處理解決方案供應商,最近正式全面推出 ADIS16136戰術級 iSensor®數字 MEMS 陀螺儀 ( http://www.analog.com/zh/pr1109/adis16136 ),其典型零偏穩定度為3.5°/小時,採用火柴盒大小的模塊封裝,功耗低於1 W,重量僅
  • 鐵路檢測儀中陀螺儀的信號採集電路設計
    摘要:鐵路檢測儀系統設計中,採用光纖陀螺儀完成對鐵路平順度相關參數的採集,使用電壓補償方法解決所採集角度的相對零點數據浮動問題,並推導了該方法的計算過程。
  • MEMS陀螺儀概況介紹
    科氏力是對旋轉體系中進行直線運動的質點由於慣性相對於旋轉體系產生的直線運動的偏移的一種描述。科裡奧利力來自於物體運動所具有的慣性,在旋轉體系中進行直線運動的質點,由於慣性的作用,有沿著原有運動方向繼續運動的趨勢,但是由於體系本身是旋轉的, 在經歷了一段時間的運動之後,體系中質點的位置會有所變化,而它原有的運動趨勢的方向,如果以旋轉體系的視角去觀察,就會發生一定程度的偏離。
  • MEMS陀螺儀的簡要介紹(性能參數和使用)
    工欲善其事,必先利其器,這裡就先以MEMS陀螺儀開始,簡要介紹一下MEMS陀螺儀、主要性能參數和使用。 傳統機械陀螺儀主要利用角動量守恆原理,即:對旋轉的物體,它的轉軸指向不會隨著承載它的支架的旋轉而變化。MEMS陀螺儀主要利用科裡奧利力(旋轉物體在有徑向運動時所受到的切向力)原理,公開的微機械陀螺儀均採用振動物體傳感角速度的概念,利用振動來誘導和探測科裡奧利力。
  • MEMS陀螺儀,讓數據採集從此輕而易舉
    深迪半導體作為國內本土第一家商用級MEMS陀螺廠商,也是同時具備商用級和工業級陀螺儀的公司一直備受國內眾企業關注,日前,深迪半導體攜單軸/三軸MEMS陀螺儀、三軸磁傳感器以及各組合傳感器在深圳舉辦春季路演,深迪半導體董事長兼總裁鄒波、市場總監範翔、市場應用總監金衛新等介紹了深迪半導體戰略布局並發布多款新品。一系列產品打破了歐美企業的技術壟斷地位,讓眾企業嘆為觀止。
  • 體聲波陀螺儀傳感器引發慣性MEMS應用新變革
    圖1a顯示了一個在厚度為35μm的絕緣體上矽(SOI)襯底上實現的、直徑為600 μm的聲體波圓盤陀螺儀的SEM圖像[1]。該器件利用一對簡併面內「n=3」10MHz體聲波模態,檢測垂直於圓盤平面的旋轉信號(如圖1b所示)。HARPSS:多功能、可擴展的製造平臺基於MEMS的產品在演進過程中最重要的一方面,就是產品設計與生產設計之間的共生關係。
  • mems傳感器有啥優點
    打開APP mems傳感器有啥優點 網絡整理 發表於 2019-12-25 10:21:25   mems傳感器有啥優點   MEMS是指可批量製作的,將微型機構、微型傳感器、微型執行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等集成於一塊或多塊晶片上的微型器件或系統。
  • 陀螺儀的「多樣人生」
    如果給手機內部器件做一個投票,陀螺儀傳感器很有希望當選「知名度最低的器件」。但是,如果一部手機沒有陀螺儀,那它的功能性和娛樂性將下降數個檔次。舉一個簡單的例子,如果沒有陀螺儀傳感器,熱門手機遊戲《絕地求生》將沒有任何體感操作,你的方向轉換隻能通過手動按鍵來操作。
  • MEMS陀螺儀將大顯神威
    現在輪到MEMS陀螺儀大顯神威了,消費電子集成MEMS陀螺儀的浪潮剛剛掀起。  陀螺儀能夠測量沿一個軸或幾個軸運動的角速度,而MEMS加速計則能測量線性加速度,因此這兩者是一對理想的互補技術。  ST研製的微機械陀螺儀傳感器沿用了ST成功的製造技術,ST利用這項技術已經製造了6億多顆加速傳感器, 選擇成功的技術可為客戶提供最先進的質量可靠的產品,而且可直接用於最終應用。  ST陀螺儀的核心元件是一個微加工機械單元,按照一個音叉機制運轉,利用Coriolis原理把角速率轉換成一個特定感應結構的位移。
  • mems器件,我國唯一與國外差距較小的晶片領域
    其主要產品有MEMS麥克風,微馬達,mems光學傳感器,MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀等。現在在電子產品,醫學,汽車和航天領域擁有廣泛的應用。像現在手機中就有數量不等的mems傳感器,iphone4擁有4個mems傳感器,三星note系列旗艦則擁有8個傳感器。像手機的麥克風,攝像頭,加速度計等產品,現在都使用的是mems產品。
  • 選購指南,全面分析mems加速度計SiA200系列應用領域
    Mems加速度計SiA200系列是青島智騰微電子推出的針對中高端慣性領域產品,SiA200系列是一種的電容體的MEMS加速度計,內部集成了信號調理、模擬±2.7V輸出、內置自檢電路和一個溫度傳感器方便用戶進行補償。能夠為戰術級測量需求提供有效可靠的支撐。
  • 半導體mems企業有哪些_國內十大半導體mems企業排行榜
    打開APP 半導體mems企業有哪些_國內十大半導體mems企業排行榜 發表於 2018-04-08 11:08:28 、生產商用MEMS陀螺儀系列慣性傳感器的MEMS晶片公司,成立於2008年8月,總部位於上海張江高科技園區。