由OFweek中國高科技行業門戶網主辦,OFweek雷射網承辦,湖北省雷射行業協會協辦的「OFweek 2016中國雷射行業年度評選」活動於9月7日在深圳大中華喜來登酒店圓滿結束。
本著公平、公正、公開的原則,本次評選共設立十大獎項(雷射器技術創新獎、雷射加工系統技術創新獎、雷射儀器及設備技術創新獎、雷射元件配件及組件技術創新獎、光學材料及紅外技術創新獎、3D列印技術創新獎、最具人氣產品獎、最佳雷射行業應用案例獎、最具成長力雷射企業獎、中國雷射行業傑出人物獎)。經過數月激烈角逐,通過企業自薦、網絡投票以及專家推薦等層層選拔,評選出最終獲獎產品、人物及企業。
其中,蘇州德龍雷射股份有限公司憑藉「應力誘導切割在半導體晶圓中的應用」榮獲「OFweek2016最佳雷射行業應用案例獎」。
深圳大學徐平教授為蘇州德龍雷射頒獎(左一)併合影
MEMS晶圓雷射切割加工效果圖
獲獎理由:
雷射應力誘導切割是一種全新的雷射切割工藝,具有切割速度快、切割不產生粉塵、無切割基材耗損、所需切割道小、完全乾製程等諸多優勢。雷射應力誘導切割最早起源於雷射內雕,其原理是將短脈衝雷射光束透過材料表面聚焦在材料中間,由於短脈衝雷射瞬時能量極高,在材料中間形成小的變質點。將雷射在聚焦在物質內部應用到切割領域,幾年前德龍雷射通過核心技術團隊技術攻關,成功研發出了應力誘導切割技術,並申請了自己的專利,且將該技術應用於藍寶石、玻璃、矽、SiC等多種材料的切割。
獲獎感言:
感謝OFweek組織這個活動,感謝同行們對於德龍雷射在半導體晶圓加工方面工作成績的肯定,謝謝大家。