瑞柯發布瑞柯全自動四探針測試儀新品

FT-3110系列全自動四探針測試儀

一.功能描述：

四點探針法，全自動化運行測量系統，PC軟體採集和數據處理；參照A.S.T.M 標準方法測試半導體材料電阻率和方塊電阻；可設定探針壓力值、測試點數、多種測量模式選擇；真空環境，可顯示：方阻、電阻率、顯示2D,3D掃描/數值圖、溫溼度值、提供標準校準電阻件.   報表輸出數據統計分析.

FT-3110系列全自動四探針測試儀

二.適用範圍

晶圓、非晶矽/微晶矽和導電膜電阻率測量；選擇性發射極擴散片；表面鈍化片；交叉指樣PN結擴散片；新型電極設計，如電鍍銅電阻測量等；半導體材料分析，鐵電材料，納米材料，太陽能電池，LCD，OLED，觸控螢幕等.

 FT-3110系列全自動四探針測試儀

三.技術參數：

規格型號	FT-3110A	FT-3110B
1.電阻	10^-5～2×10^5Ω	10^-6～2×10^5Ω
2.方塊電阻	10^-5～2×10^5Ω/□	10^-6～2×10^5Ω/□
3.電阻率	10^-6～2×10^6Ω-cm	10-7～2×106Ω-cm
4.測試電流	0.1μA.μA.0μA，100μA，1mA，   10mA，100mA	1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA
5.電流精度	±0.1%
6.電阻精度	≤0.3%
7.PC軟體操作	PC軟體界面：電阻、電阻率、電導率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、2D、3D圖譜、壓力、 報表生成等
8.壓力範圍：	探針壓力可調範圍：軟體控制,100-500g可調
9.探針	針間絕緣電阻：≥1000MΩ；機械遊移率：≤0.3% 圓頭銅鍍金材質，探針間距1mm；2mm；3mm選配，其他規格可定製
10.可測晶片 尺寸選購	晶圓尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）； 方形片：大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm
11.分析模式	單點、五點、九點、多點、直徑掃描、面掃描等模式的自動測試
12.加壓方式	測量重複性：重複性≤3%
13.安全防護	具有限位量程和壓力保護;誤操作和急停防護;異常警報
14.測試環境	真空
15.電源	輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<100W
16.選購項目	電腦和印表機

創新點：

儀器採用全自動操作，抽真空處理

瑞柯全自動四探針測試儀

版權與免責聲明：

① 凡本網註明"來源：儀器信息網"的所有作品，版權均屬於儀器信息網，未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用。已獲本網授權的作品，應在授權範圍內使用，並註明"來源：儀器信息網"。違者本網將追究相關法律責任。

② 本網凡註明"來源：xxx（非本網）"的作品，均轉載自其它媒體，轉載目的在於傳遞更多信息，並不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責，且不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。如其他媒體、網站或個人從本網下載使用，必須保留本網註明的"稿件來源"，並自負版權等法律責任。

③ 如涉及作品內容、版權等問題，請在作品發表之日起兩周內與本網聯繫，否則視為默認儀器信息網有權轉載。