(黃智鋒 廈門天馬微電子有限公司福建 廈門361009)
摘要：目前，隨著現代科學技術的發展，人們對生產生活水平的要求越來越高，TFT_LCD也就是薄膜電晶體型液晶顯示器，在生產生活的各個領域得到了廣泛的應用。在TFT_LCD中，液晶面板是核心組件，TFT_LCD的生產和加工過程中經常出現液晶面板凹坑不良的問題。為了進一步滿足人們的需求，提升液晶面板質量，對TFT_LCD面板薄化凹坑不良的產生原因展開了分析，並探討了改善措施，以提升TFT_LCD質量，進一步促進我國科技與工業領域的發展。
關鍵詞：TFT_LCD面板薄化；凹坑不良；改善措施
分類號：TQ171.65文獻標識碼：A
近年來，我國的TFT_LCD產業遇到了良好的發展機遇，在人們生活水平日益提升的同時，對TFT_LCD面板的重量、耗電情況以及薄厚程度提出了更高的要求。在生產TFT_LCD液晶面板時，經常發生凹坑不良的問題。為了在激烈的市場競爭中保持良好的優勢，TFT_LCD生產廠家必須提高生產質量，解決面板凹坑不良的問題，基於此，圍繞TFT_LCD面板凹坑不良展開了分析與探討。
一、TFT_LCD面板凹坑不良問題產生的原因分析
首先，在生產過程中，TFT_LCD面板經過蝕刻作用，表面產生不同程度的凹坑缺陷。在人眼的視力觀察下，能夠看見面板表面存在原點狀坑窪，或者有連續長條狀斜向縱深的凹坑。這種問題的產生原因在於，製作過程中，構成液晶顯示面板的主要材料：玻璃受到各種力量的作用，在損傷或者裂痕之後，在經過蝕刻的生產流程，最終產生了凹坑不良的問題[1]。在記錄凹坑不良的各種數據信息時發現，為了實現更薄的面板厚度，將其從0.5毫米變化到0.15毫米以後，凹坑大小會增加五十倍，並且深度也越來越深。所以分析得出，在面板薄化的生產過程開始之前，減小由於各種原因而造成的面板損傷程度，是有效控制面板薄化後凹坑不良問題的手段。經過試驗與計算得出，經過薄化處理的TFT_LCD液晶顯示面板，薄化處理力度越大，蝕刻量隨之增加，各種凹坑被放大的作用加強，所以凹坑也會越大，這中凹坑不良問題在TFT_LCD面板薄化技術的發展過程中，是一個很大的阻礙[2]。
二、TFT_LCD面板薄化過程中凹坑不良問題的改善策略探討
（一）陣列製程的改善措施
由於製作TFT_LCD面板時需要經過多個製作程序，不同的製作程序中，面板受到的應力作用不同，都會產生凹坑不良的問題，因此，要想解決這種問題，應對製作TFT_LCD面板的各個製程分別展開分析，探討其優化和改善策略。首先是陣列製程的改善措施，在陣列製程中，TFT面會經過十多道膜層的作用，經過許多遍的清洗、顯影、蝕刻與剝離等施工工序，所以在這一過程中，玻璃表面受到損傷的機率最大。其中，高溫高壓作用下玻璃面板受到損傷的情況最為嚴重。在改善措施中，第一對接觸機構的材料進行嚴格管理，選擇最優化材料，然後對各種設備中的各種程序進行損傷風險的確定，最後，為了降低損傷風險，選擇最合適的製程溫度以及莫氏硬度[3]。
（二）彩膜製程的改善措施
這一製作過程重要作用TFT_LCD面板的CF面，在CF面產生的凹坑不良問題最容易被肉眼發現，所以對這一製程的合理控制與改善措施的選擇也極為重要，在製作過程中，優化所有接觸到TFT_LCD面板CF面的各種材料的質量，提高設備的精準度，重點管理包括升降支撐機構、對位夾持機構、清潔毛刷等的材料質量，減少對TFT_LCD面板的CF面造成的損傷，有利於提高客戶滿意度，提升TFT_LCD生產企業的服務水平。針對實際生產過程中產生TFT_LCD面板凹坑不良的產品進行針對性的研究與調查，明確其產生原因，然後針對問題制定有效的改善措施，對於提高TFT_LCD面板質量有積極的作用[4]。
（三）成盒製程的改善措施
在以上兩個製作流程的基礎上，成盒製作流程主要是將以上生產完成後的TFT面板和CF面板貼合在一起，這一過程的改善與優化方案的選擇，直接影響製作完成的TFT_LCD面板的質量與凹坑程度。在實際的施工過程中，首先要優化各種接觸到TFT面板和CF面板的材料質量，選擇在高溫、腐蝕條件下不容易產生凹坑和形狀變化的材料，然後優化管理和控制措施，最大程度的減少對在彩膜製程和陣列製程產生損傷的進一步損傷。在綜合控制TFT_LCD面板的每一個生產流程的基礎之上，對接觸到TFT面板和CF面板的材料、設備以及生產工藝進行嚴格管理和控制，最大化的減少由於各種外力而對TFT_LCD的TFT面板和CF面板產生的損傷，減少凹坑不良問題的發生。同時加大先進的科學技術與設備的研發力度，解決薄化程度越高、凹坑不良現象越嚴重的問題，使TFT_LCD面板在人們生產生活的各個領域得到更有效的應用，促進我國工業生產與科學技術水平的發展[5]。
結束語：
綜上所述，隨著人們生活水平的提高，對生產生活各個領域的要求也不斷提升，所以TFT_LCD薄膜電晶體型液晶顯示器得到了廣泛的應用。生產企業迎來了良好的發展機遇，在生產TFT_LCD過程中，由於生產TFT、CF面的各個環節中，不可避免的發生對TFT、CF面造成損傷的情況，影響TFT_LCD面板質量，為了解決這一問題，對TFT_LCD面板凹坑不良問題的產生原因展開了分析，然後探討了優化生產方案，以期提高TFT_LCD面板質量，進一步滿足人們的需求。
參考文獻：
[1]賈宜訸,丁向前,張小祥,韓笑,韓皓,宋勇志,陳維濤.TFT-LCD工業中豎紋不良的研究與改善[J].電子世界,2019(03):16-18.
[2]王海成,董天松,馬亮,朱載榮.TFT-LCD製程中成盒工藝段常見不良淺析[J].電子世界,2018(23):12-15.
[3]陳小惠. TFT_LCD面板薄化凹坑不良的改善研究[D].華南理工大學,2017.
[4]李曉吉,趙彥禮,慄鵬,李哲,樸正淏,金在光,金熙哲,尚飛,邱海軍.TFT-LCD改善「斑點不良」的研究[J].液晶與顯示,2017,32(07):507-511.
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