迅立光電在上海SNEC展出高效PERC電池「二合一」PECVD量產設備

2020-11-22 美通社

上海2018年5月28日電 /美通社/ -- 崑山迅立光電設備有限公司（迅立光電），一家擁有國際領先技術的、集研發、設計、工藝、製造、銷售、和服務為一體的高端真空鍍膜設備供應商，今天在上海SNEC光伏會展隆重展出了高效PERC電池 「二合一」PECVD量產設備。迅立光電自主研發的PERC設備是國際上首臺成功使用射頻（RF）等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）製作氧化鋁和氮化矽雙層薄膜的真空鍍膜設備，代表國際最先進水平。迅立光電技術核心是PECVD和物理氣相沉積（PVD）設備的設計和製造；高端PECVD/PVD設備也是半導體晶片製造行業的「核芯」設備之一，是最先進半導體設備技術水平的體現。迅立光電及其前身和關聯公司自2002年在美國創辦以來，在高集成PECVD/PVD設備製造方面積累了豐富的經驗， 享有國際知名地位。

迅立光電自主研製開發的高效PERC電池「二合一」板式PECVD鍍膜設備

鈍化發射極及背面接觸（PERC）電池是目前最新型的高效太陽能電池之一，已經替代鋁背場電池而成為高效光伏電池的主流產品。PERC設備通過在單晶或多晶電池的背面沉積超薄氧化鋁和氮化矽雙層薄膜（背鈍化）實現對載流子複合中心的鈍化而實現電池轉化效率的提高。為了實現高效率和高良率的生產，光伏電池廠家迫切希望能將兩層薄膜在同一臺設備中一次完成 的「二合一」設備。目前，光伏設備市場上有昂貴的進口「二合一」PERC設備，也有僅能製作氧化鋁單膜的國產設備。迅立光電的PECVD量產PERC設備是首臺國產「二合一」的PERC設備，也是國際上首臺採用射頻PECVD工藝的PERC設備。

與光伏行業的國際龍頭企業天合光能有限公司合作，迅立光電成功地完成了量產PECVD背鈍化設備的初步測試，並製作了高效率PERC電池和完成了小批量示範生產。量產設備製作的單晶電池的平均轉換效率達21.3% （較高效率達21.5%）。量產設備製作的多晶電池的平均轉換效率達19.7% （較高效率達19.9%）。在進一步採用超薄氧化鈍化界面層及其它工藝優化之後，公司預計轉換效率還能得到進一步的大幅度提高，實現至少21.6%的單晶電池平均效率和20%的多晶電池平均效率。

由於採用射頻PECVD工藝，迅立設備能夠有效的控制等離子體的活性分子和離子的分布，從而製作高質量的四面體氧化鋁薄膜。迅立光電的PECVD設備製作的氧化鋁僅需10nm的薄膜就可以實現晶矽電池的有效背面鈍化。有效的超薄氧化鋁鈍化不僅可以實現高產能（1.2平方米的PECVD電極可以實現每小時超過6000矽片的產能），又可以大大提高三甲基鋁的使用率。

採用迅立光電的背鈍化設備，迅立光電與南京日託光伏有限公司合作製作了高效MWT (metal wrap through)電池，在合作電池做了3次跨省「旅行」才完成之後，初次測試實現了高達20%的多晶電池轉換效率，展示了RF PECVD 背鈍化設備的巨大潛力。可以預期，在結合黑矽工藝後，多晶電池的轉換效率還會有較大的提升。

採用射頻PECVD工藝還可以將最新的電池製作技術和工藝有效地集成到同一臺真空鍍膜設備中。例如，製作隧穿氧化鈍化接觸（TOPCon）電池所需要的氧化矽層和多晶矽摻雜層可以有效地集成到同一臺設備，實現「多合一」的高集成高效率製造。

迅立光電公司董事長、國家「千人計劃」特聘專家鄧勳明博士說：「能夠實現首臺國產高效PERC電池二合一量產設備的研發和製作，是迅立光電團隊和我們的合作方天合光能的技術團隊共同努力的結果。感謝天合光能與我們的合作，共同為重大設備的國產化努力。」

迅立光電擁有國際領先的技術和工藝。公司積極尋找戰略合作夥伴謀求共同發展，儘快抓住機遇、擴大規模、和佔領市場。公司產品除了用於PERC電池的背鈍化沉積設備，公司還研製開發了製造異質結HIT電池的量產設備。其造價比同產能的進口設備降低一半以上。迅立光電的「多合一」PECVD 設備可以有效地用於有機發光二極體（OLED）平板顯示的阻水阻氧隔膜，該隔膜的製造設備目前完全依賴進口，是制約國產OLED顯示面板大規模發展的瓶頸之一。中國的平板顯示行業和半導體行業應該積極將核心設備國產化，減少對國外設備行業的高度依賴。

迅力光電將於5月29日11時和16時，在上海SNEC光伏展的迅立光電展臺（E4-690）召開新產品介紹會。誠摯邀請業界人士、新聞媒體及潛在合作夥伴參加並提出寶貴意見。

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關於迅立光電：

崑山迅立光電設備有限公司是由國家「千人計劃」特聘專家鄧勳明博士和江蘇省創新創業人才徐立微博士帶領團隊在崑山創辦的。公司從事高端真空鍍膜設備的研發和製造，這些設備可廣泛用於光伏、平板顯示、硬膜塗層，鋰電池及半導體行業功能性材料的鍍膜和表面改性。 光伏行業用的PERC電池鍍膜設備是公司目前主推的產品之一。公司得到了江蘇省科技成果轉化專項資金項目的支持。公司團隊獲得了江蘇省創新創業團隊和國務院僑辦重點華僑華人創業團隊的榮譽。公司團隊的核心成員中有國家「千人計劃」特聘專家，江蘇省雙創人才，崑山市雙創人才，美國博士，和李政道CUSPEA項目學者。核心團隊有長期在美國和德國等地從事真空鍍膜設備的相關經歷。迅立光電是一家集美國、德國和中國的專家於一體的高端真空鍍膜設備的研發和製造商。欲了解更多信息，請瀏覽公司網站http://www.xunlightchina.com.

圖片 - https://photos.prnasia.com/prnh/20180528/2144455-1

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