PERC電池發展歷程
PERC電池（Passivated Emitterand Rear Cell）最早起源於上世紀八十年代，1989年由澳洲新南威爾斯大學的MartinGreen研究組在AppliedPhysicsLetter首次正式報導了PERC電池結構，當時達到22.8%的實驗室電池效率。到了1999年其實驗室研究的PERL電池創造了轉換效率25%的世界紀錄。PERC電池的實驗室製備，採用了光刻、蒸鍍、熱氧鈍化、電鍍等技術。PERC電池與常規電池最大的區別在背表面介質膜鈍化，採用局域金屬接觸，大大降低被表面複合速度，同時提升了背表面的光反射。
2006年用於對P型PERC電池的背面的鈍化的AlOx介質膜的鈍化作用引起大家重視，使得PERC電池的產業化成為可能。隨後隨著沉積AlOx產業化製備技術和設備的成熟，加上雷射技術的引入，PERC技術開始逐步走向產業化。2013年前後，開始有廠家導入PERC電池生產線，近幾年PERC電池越來越引起行業重視，產能獲得快速擴張。2017年全球預計新增產能6.5GW，從現有標準電池線升級2.5GW，預計至2017年底，全球PERC電池產能將達到20GW。
值得一提的是，2017年將可能是PERC電池與常規電池的市場份額的轉折性的一年。隨著PERC電池產能的擴張，常規電池的市場份額將逐步下降。
PERC電池效率
在短短幾年中，PERC電池大面積可量產效率持續攀升，單晶PERC電池產線效率普遍達到21-21.5%，多晶達到20-20.5%左右。工業化大面積單晶PERC和多晶PERC電池的最高轉換效率分別達到22.6%（我國常州天合）和21.63%（我國晶科）。
圖1全球電池產能預測
PERC電池的技術競爭力吸引了整個產業界的關注，產業化設備、關鍵材料都在加速開發中。MeyerBurger公司採用PECVD法製備AlOx膜的沉積設備，報導了一種新的正表面氮化矽膜與背面氮化矽與AlOx膜集成在一起的3in1設備，AlOx工藝腔4對微波源，2對朝上鍍膜，2對朝下鍍膜，SiN工藝腔1，6對微波源，朝下鍍膜；SiN工藝腔2，6對微波源，朝上鍍SIN工藝腔1、2之間無隔離緩衝腔體，可一次完成正面朝上或正面朝下PERC電池3層鍍膜。新設備減少了矽片上下片次數，提高生產效率。理想能源開發出原子層沉積（ALD）法的AlOx膜沉積設備，採用託盤方式傳輸電池矽片，與其他供應商採用的矽片直接傳輸方式相比，可以將碎片率降到最低；同時最大程度減少由於碎片造成的停機時間。杜邦等公司開發出針對高效PERC電池的整合金屬化解決方案將促進PERC市場快速發展，包括新一代PERC正面銀漿PV20X、PV56x系列背面銀漿、PV36x系列背面鋁漿等，可滿足PERC電池低溫燒結的需要。武漢帝爾公司積極開發雷射在PERC電池中的應用設備，包括雷射消融、雷射摻雜、雷射退火等，如雷射摻雜磷技術，以擴散後的PSG層為磷源，利用雷射可選擇性加熱的特性，在電池正表面電極位置進行磷的二次摻雜，形成選擇性重摻的n++層。
雙面PERC技術
圖2單面PERC電池結構
圖3雙面PERC電池結構