華嚴祖師
唐代武則天萬歲通天年間(696-697年)，佛教華嚴宗高僧華嚴和尚居住在幽州城北，「持《華嚴經》以為淨業」，「其所誦時，一城皆聞之，如在庭廡之下」。在幽州都督張仁願的贊助下，華嚴和尚來到了潭柘山開山建寺，購買了嘉福寺附近西坡姜家和東溝劉家的土地，以破敗了的嘉福寺為中心，重建寺廟。華嚴和尚帶領僧眾填平了寺內一個叫「青龍潭」的大水坑，修築殿宇，擴建寺院，開拓出了潭柘寺的雛形。寺院後山有兩股豐盛的泉水，一眼名為龍泉，一眼名為泓泉，兩股泉水在後山的龍潭合流後，流經寺院，向南流去，不僅滿足了寺院日常的生活用水，而且還可能灌溉附近大片的土地農田，正是因為有了這股寶貴的泉水，此後附近才出現了平原、南辛房、魯家灘等村莊。故而華嚴和尚將嘉福寺改為「龍泉寺」。潭柘寺有了一定的規模，並在幽州地區有了名氣，逐步地發展、興盛了起來，所以後人尊華嚴和尚為潭柘寺的「開山祖師」。華嚴和尚也因此而名列《續高僧傳》。
從實禪師
後唐時期(924——936)，最著名的僧人便是從實禪師，他弘法於幽州城內的大萬壽寺以及潭柘寺。據寺內明正德六年(1511)謝遷《重修嘉福寺碑記》：「潭柘山者距城西二舍許，當馬鞍山之西，有泉匯而為梯潭，土宜柘木因以得名。後唐時有從實禪師與其徒千人講法於此，後遂示寂華嚴祖堂……。」
廣慧通理禪師
臨濟宗大師廣慧通理禪師開性是金代禪學的代表人物。開性是現今北京懷柔縣人，9歲時在潭柘寺出家，拜戒振禪師傅為師，學習禪宗中臨濟宗佛學。後來雲遊遼東和齊魯等地，遍訪名山古剎，向各地高僧學習佛法，歸來後在馬鞍山竹林寺弘揚禪學。大定初年，潭柘寺的善海禪師帶領僧眾來到竹林寺，恭請開性回潭柘地任住持。開性任住持期間，在朝廷的資助下，對潭柘寺進行了長達11年的大規模整修和擴建，使潭柘寺的殿宇堂舍煥然一新。開性還整頓了寺院的僧務，制定了《寺中規條》，作為寺內僧眾的生活規範。開性在寺內弘揚佛法，並著有《語錄》3篇，使潭柘寺的禪學從此中興，開性也成了金中都地區公認的禪宗臨濟宗的領袖，使潭柘寺成為了臨濟宗的中心寺院。開性終老於寺中，圓寂後被佛門尊為「廣慧通理」禪師。開性的弟子善照、了奇、圓通、廣溫、覺本等人，後來也都成為了臨濟宗的名僧。
政言禪師
政言禪師是廣慧通理禪師的高徒，河南許昌人，自幼在鄉裡出家為僧，後來來到中都，在馬鞍山竹林寺向廣慧通理禪師學習臨濟宗佛法，深得真傳，學有所成。廣慧通理禪師在潭柘寺圓寂後，政言禪師繼任後，「開法席，講禪學」，弘揚臨濟宗佛學，並著有《禪說金剛歌》、《金臺錄》、《真心真說修行十法門》等著作，「皆行於世」。
相了禪師
相了禪師是金代又一位著名的臨濟宗大師遼寧省義縣人，自幼出家，鑽研禪學，造詣很深，明昌年間，應岐國大長公主之請，出任潭柘寺住持，使潭柘寺 「宗風大振」。在此期間，相了禪師還對寺院進行了大規模的整修和擴建。後來相了禪師又先後擔任過天王寺、竹林寺等名剎巨寺的住持，在中都地區有著很高的聲望，被公認為是當時臨濟宗的代表人物，後歸老於潭柘寺。
無初德始禪師
無初德始禪師為日本信州人，即現今的日本長野縣，德始字無初，號終極，幼年在本州出家，研究禪宗佛學。為了深入鑽研禪宗佛學，無初德始於青年時隨日本商船來到中國，到杭州靈隱寺，向慧禪師學習禪宗佛學，「深得單傳之旨，後東歸，國人景仰，尊為禪祖。」明初洪武年間，德始再次來到中國，遍遊名山大川，向各地的高僧大德學習佛法。後來在北京的慶壽寺，無初德始遇到了名僧姚廣孝，二人相見恨晚，每日裡研討佛法，「相與激揚臨濟宗旨」，二個一見如故，結為摯友。姚廣孝對無初德始禪師高深的佛學造詣十分欽佩，欲將其所任的慶壽寺主持相讓，德始謙而不受，再次到中國各地去雲遊求學，遍訪名山古剎，深入學習禪宗之學。永樂十年(1412年)，姚廣孝向明成祖朱棣推薦了德始禪師，明成祖任命德始為潭柘寺欽命住持。「師欽承明旨，早夜孜孜，以繕修為務，凡棟戶蠹敝者，易之；階圮者，構之；丹堊剝落者，新之。比舊有加焉。」德始禪師拿出了自己多年的積蓄，對寺院進行了整修。除此之外，他還用獻王布施的百兩黃金，在寺內建造了一座金彩莊嚴的西方三聖殿。在任住持期間，德始禪師為了整修寺院日夜操勞，廢寢忘食。他還四次主持道場，弘揚臨濟宗佛法，繁盛了潭柘寺的香火。德始禪師品德高尚，他賑濟貧困，薄於奉已，厚以待人，受到佛教界內外的尊崇，在明代佛教史上有很高的地位。德始禪師對中國的詩文有著很深的造詣，並且善於書法，現今少林寺的蒲庵碑就是德始所書寫的，郭沫若曾寫詩對其進行了頌揚。德始在中國居住了56年，是日本在華高僧留居中國時間最長的一位，為中日文化交流，中日兩國的友好往來做出了傑出的貢獻。宣德四年(1429年)，德始禪師在潭柘寺圓寂，其墓塔在寺前的下塔院內。
底哇答思大師
底哇答思大師是明代初期潭柘寺的另一位著名的外國僧人。底哇答思是東印度人，8歲出家為尼。明代洪武初年，隨其師板的達到中國遊歷。明太祖朱元璋在南京奉天門召見了底哇答思，並親賜其度牒，讓底哇答思在南京「隨方說法」，進出皇宮內苑，為后妃們講經說法。1428年，底哇答思來到了北京，1435年到了潭柘寺。她認為這裡就是她所理想的「西天佛國」遂在寺院西側建造了一座庵堂，作為自己的終老之所。底哇答思大師還出資重新油飾了潭柘寺的大雄寶殿，並經常用自己的資財，救濟附近的貧苦百姓，從而受到了寺僧和附近百姓們的尊敬。正統三年三月初一，90歲的底哇答思大師在潭柘寺圓寂，佛門尊其為「政禪師」，其墓塔建在寺前的下塔院內。
道源禪師
道源禪師是西印度人，在本土出家，精通戒律，學有所成。在北京地區佛門頗有名氣。正統年間，奉英宗皇帝之命，在寺內修建了一座戒壇，開壇傳戒，明英宗欽命道源禪師為傳戒宗師，潭柘寺住持，成為漂柘寺廣善戒壇的開山祖師，後圓寂寺內，其墓塔也在寺前的下塔院內。天順二年，復僻後的英宗皇帝派禮部郎中李和前去祭拜道源禪師墓塔，並刻立「諭祭碑」，以示紀念。
達觀真可大師
達觀真可大師是「明代四大高僧」之一。達觀真可大師俗姓沈，名真可，字達觀，晚年號紫柏，江蘇吳江人，出家於蘇州的雲巖寺。萬曆年間(1573 年)，達觀北遊京城，拜遍融、笑巖等佛學大師為師，深得真傳，學有所成後，出遊全國的名山大川。達觀大師主要師從於臨濟宗第28代傳人笑巖大師，但他並不拘泥於一家之說，而是對佛教的各宗派採取了兼融並重的態度，廣蓄博收，從而使他的學識十分淵博。在雲遊天下途中，達觀在各大名寺遍覽經書，萬曆十七年，達觀大師開始在山西五臺山的呈興寺整理以前的經卷時發現大多是漢文中夾雜著梵文，很不便於閱讀，因而決定自己創造出一種《方冊大藏經》。這項巨大的工程後來完成於浙江省餘杭縣的徑山，因而又稱為《徑山藏》。達觀大師在佛教界有著極高的聲譽，後人將達觀與蓮池、藕益、憨山合稱為「明代四大名僧」。
萬曆二十三年，達觀大師奉神宗皇帝朱翊鈞之命，任潭柘寺的欽命住持。在此期間，由萬曆皇帝的母親慈聖宣文明肅皇太后出資，在達觀大師的主持下，對潭柘寺進行了大規模的整修。達觀大師與朝廷密切，經常奉詔進宮為皇室講經說法，從而進一步加深了潭柘寺與朝廷的聯繫。達觀在潭柘寺除了講經說法，整飭佛規外，還在寺內建造了「一音堂靜室」，作為自己的靜修之所。達觀文思敏捷，才華橫溢，寫下了不少贊詠潭柘寺詩文，其中著名的有《妙嚴公主拜磚贊》、《送龍子歸龍潭文》、《潭柘懷繆中淳》、《日暮龍潭即目》、《再遊潭柘寺》、《題別潭柘》等，皆流傳於世。萬曆三十一年，京中發生了「妖書大案」，達觀大師受到了牽連而被捕入獄。他因曾反對宦官徵礦稅，而引起了太監們的忌恨，在獄中，達觀大師慘遭刑杖，於萬曆三十二年，慘死於獄中。達觀大師一生著述甚多，他曾經續寫了《高僧傳》、著有《續燈錄》、《紫柏尊者全集》30卷等，流傳於後世。
震寰律師
震寰律師是清代潭柘寺欽命重開山第一代住持。震寰律師字震寰、名照福，孟姓，大興縣人，生於明萬曆七年(1634)。初依延禧寺名馳剃染，受具戒於廣濟寺萬鐘律師，精進潛修，足不踰閫者十有五年，究求律學，躋輩欽止爭師事之。萬鍾寂後，寺眾同詞請師繼席。譽望日高，徒學益眾。康熙二十五年春，奉康熙皇帝之命住持潭柘岫雲寺，自是法侶景從，雲合霧集，檀越輔輳，不可億算。主持創建毘盧閣、三聖殿、齋堂、重修大雄殿、圓通殿、藥師殿、迦藍殿、祖師殿、鐘鼓樓、山門牌樓等工程。光大法門，弘揚律儀門風，潭柘一時輪奐，崖壑交輝，為西山諸剎之冠。師深受康熙帝契重，曾三次臨幸潭柘。並作詩讚震寰：「法像儼然參涅盤，皆因大夢住山間，若非明鏡當臺語，笑指真圓並戒壇。」師逝於康熙三十八年(1699)，壽六十六，法臘三十二。
止安超越律師
清代欽命潭柘寺第二代止安超越律師，名超越，大興縣人，王姓。康熙十四年(1675)於戒臺寺道光和尚座下圓具，二十五年(1676)任潭柘寺監院。動靜尊嚴，德性堅定，日有恆課，不牽外緣，入夜焚香趺坐淨修，自攝其心，康熙三十三年(1694)大殿毀於火，賜帑重修，將建時有一柱初欲置左，眾欲右之，抬不能升。師祝之曰：我右汝也。不數人抬之以去。住持震寰見其誠感木石，知有自來。康熙帝遊幸時奏對從容，帝稱其品度比之仙露明珠，為之嘉賞。康熙三十八年(1699)震寰示寂，奉旨繼主法席。明年與諸山長老赴暢春園，將覲見顏，適虎圈有虎怒，吼威獰獰，眾莫敢近。師突前曰：汝由性暴故墜虎身，今猶不改，性必終迷。汝伏，吾為汝說三皈，可得解脫耳。虎遂馴服，說畢帖然曳尾而去。生平奇蹟此類甚多，恐涉怪誕，令門徒不以語人。師總攝寺務不辭辛苦，監造東西廂房，兩角門，建震寰和尚塔。康熙四十一年夏(1702)疾逝，壽六十一，臘二十七。
林德彰律師
清代欽命第三任住持林德彰律師名道林、字德彰，河間人。少依龍坡寺乾宗為師，後於廣濟寺道光和尚座下圓具。康熙四十一年(1702)欽命主持潭柘法席，為第三代住持。在寺領眾，持誦參禮傾刻無間，常領眾繞寺內舍利塔念佛不輟。經年塔忽放光，後每歲常如此。遠近見聞無不歸心。師住持潭柘二十餘年，興造最多，監造觀音殿、文殊殿、祖師堂、龍王殿、大悲殿、孔雀殿、地藏殿、少師靜室，建止安和尚塔及下院奉福寺塔。林德彰律師逝於康熙六十一年(1722)。壽六十一，發臘三十九。
恆實源諒律師
恆實源諒律師是河北省東光縣人，最初拜潭柘寺的德彰道林律師為師，學習律學，雍正九年回歸故裡，後又到北京，赴潭柘寺參加龍華大會，並擔任了引禮一職。此後恆實律師長住寺中，歷任教受、羯摩等職，於乾隆六年任潭柘寺住持。在此期間，恆實律師在潭柘寺多次舉辦大法會，在佛教界有著很高的聲望。清代帝後對恆實律師特加榮寵，乾隆皇帝曾賜給他一尊金護身佛，為了迎接這尊御賜的赤金護身佛，潭柘寺黃土鋪道20裡。恆實源諒律師著有《律宗燈譜》，記述律宗高僧的行實，流傳於世。
靜觀圓瑞律師
靜觀圓瑞律師是山東省歷城縣人，「受具於潭柘洞主座下，即依止學律，歷三寒暑」，學有所成，其後遍遊京中名寺，於雍正年間入選「藏經館」，整理《大藏經》，後來回到潭柘寺，歷任引禮、尊證、教授、闍黎等職。恆實律師圓寂之後，靜觀繼任潭柘寺住持，「以故潭柘道法之盛，春、冬戒期下，衲子景從之眾，信施資助之殷，誠諸方所罕覯者也」，使潭柘道場之佛教活動有了進一步的發展。
瞭然行修律師
瞭然行律師順天府宛平縣籍，雍正五年(1727)生人。弱冠即厭塵俗，決志出家。父母為納採，遂遁山林隱匿，尋從彌陀禪院超塵師剃染。乾隆十三年(1748)臘月八日圓具戒於潭柘山恆實和尚座下，遂於本山學律，調煉身心，遵循規矩於五分法身、無作妙色，冀有所自而生焉。
尋擢引禮、知客，從無愆忘，眾皆刮目。復由監院、尊證而任教授、羯磨，已桑榆暮景矣，所謂大器晚成之非歟。及靜公示寂，眾心共戴，請踐法席，不得已俯從眾望，肩荷重擔。嘗曰：趙州八十行腳，猶能眼煉大千，吾今坐食現成，獨不能毅然而率眾乎。由是淬礪精神，凡所應作以身先之，大眾莫不感奮。詎意僅歷寒暑而法幢將傾，一日忽覺幻體沉重，知時已至。遂喚侍者沐浴更衣端坐，遺囑諄諄、以未傳戒法為愧。大眾對以即時開戒以償師願，遂合掌念佛瞑目而去。享世八十有餘。師在潭柘達六十年之久。
純悅覺正和尚
純悅覺正和尚名覺正，字純悅，清同治十年(1871)生，系山東平度縣人。依本縣彌勒庵本立師祝髮，於光緒十八年(1892)春依岫雲寺(潭柘寺)慧寬和尚圓具。宣統三年(1911)秋冬之交，岫雲寺清代第十八代住持覺海慧寬和尚因示微疾，傳法席於覺正。
師以字純悅為世熟知。在民國早期北京地區佛教界享有盛名，主持潭柘寺務期間多次開壇傳戒度僧。並在民國早期參與拈花寺開壇傳戒事宜。
據民國二十年(1932)冬季《拈花寺戒錄》：得戒本師老和尚普志全朗，為拈花寺德明和尚法嗣；代傳本師大和尚實淮量源，為戒臺寺達文和尚法嗣；羯磨阿闍黎師覺平寬廣，為拈花寺德明和尚法嗣；教授阿闍黎師量濶月潭，為潭柘寺覺正純悅和尚法嗣；首座大師即覺
正純悅和尚擔任，他是覺海慧寬的法嗣；堂主大師昌鑑越塵，覺省普福，大山體仁等三人；監寺大師源智慧明，亦是覺正純悅和尚的弟子；知客大師印如玉峰，是光緒十九年(1893)在岫雲寺慧寬和尚座下圓具的得法弟子；另外優婆塞引禮師昆章覺妙，是戒臺寺達文和尚的得法弟子。民國期間傳戒的寺院，在北京以拈花寺、潭柘寺、戒臺寺為主，還有廣濟寺、萬壽寺、柏林寺、香界寺等。
純悅和尚大約圓寂於民國二十四年(1935)。
茂林和尚
茂林，名叢悟。清光緒十四年正月初一子時(1888)生，遵化縣人，幼依關帝廟洪純師祝髮。於光緒二十八年十二月初八日(已是公曆1903 年)，依岫雲寺(潭柘寺)和尚慧寬座下圓具。於民國中後期為潭柘寺的住持，與國民黨日偽當局都有來往。解放前後一直在寺內主持寺務。文革初起時，北京僧人、尼姑、道士、修女、神甫都集中到北京市佛協所在地，什剎海的廣化寺內，茂林也移居廣化寺。1968年逝於廣化寺。