光刻膠是微電子技術中微細圖形加工的關鍵材料之一,特別是近年來大規模和超大規模集成電路的發展,更是大大促進了光刻膠的研究開發和應用。光刻膠是一種有機化合物,它被紫外光曝光後,在顯影溶液中的溶解度會發生變化。矽片製造中所用的光刻膠以液態塗在矽片表面,而後被乾燥成膠膜。光刻膠產品主要應用在PCB、平板顯示(液晶顯示、觸控螢幕等)、集成電路、發光二極體、精密金屬加工等領域,其應用的終端產品幾乎覆蓋整個電子信息產業,包括信息通訊、消費電子、家用電器、汽車電子、節能照明、自動控制、航空航天、國防軍工等領域。
容大感光(300576):經過多年的發展,公司已逐步形成了PCB感光油墨、光刻膠及配套化學品、特種油墨三大系列多種規格的電子化學產品。公司的光刻膠產品主要包括紫外線正膠、紫外線負膠兩大類產品以及稀釋劑、顯影液、剝離液等配套化學品,主要應用於平板顯示、發光二極體及集成電路等領域。
南大光電(300346):公司承接的國家「02專項」之「ArF光刻膠產品的開發和產業化項目」的基礎建設按計劃進行;2019年底完成一條生產線的安裝,正在調試階段。2020年4月,公司採購的用於檢測ArF(193nm)光刻膠產品性能的光刻機運入寧波南大光電工廠,5月開始進行安裝調試,預計安裝調試需要4-5個月的時間。公司製備ArF(193nm)光刻膠用的高純原材料來源於自主研發,研製出的ArF(193nm)光刻膠樣品正在供客戶測試。2018年12月,由公司作為牽頭單位承擔的國家「02專項」ArF光刻膠產品的開發與產業化項目已經國家科技部批准立項。公司擬通過3年的建設、投產及實現銷售,達到年產25噸193nm(ArF乾式和浸沒式)光刻膠產品的生產規模。
晶瑞股份(300655):光刻膠產品由公司的子公司蘇州瑞紅生產,蘇州瑞紅作為國內光刻膠領域的先驅,規模生產光刻膠近30年,產品主要應用於半導體及平板顯示領域,產品技術水平和銷售額處於國內領先地位。公司紫外負型光刻膠和寬譜正膠及部分g線等高端產品已規模供應市場數十年,i線光刻膠近年已供應國內頭部晶片公司,高端KrF(248)光刻膠處於中試階段。公司承擔的02國家重大專項光刻膠項目已經通過國家重大專項辦的驗收。公司生產的i線光刻膠已向合肥長鑫、士蘭微、揚傑科技、福順微電子等行業頭部公司供貨。
飛凱材料(300398):公司電子化學材料主要包括應用於半導體製造及先進封裝領域的溼製程電子化學品如顯影液、蝕刻液、剝離液、電鍍液等,用於集成電路傳統封裝領域的錫球、環氧塑封料,用於TFT-LCD液晶顯示面板製造領域的正性光刻膠、TN/STN型混合液晶、TFT型混合液晶、液晶單體及液晶中間體、用於OLED屏幕製造領域的配套材料等新材料。2020年2月,公司在互動易平臺表示,目前公司光刻膠已開始試生產,晶片封裝材料主要供給國內的半導體相關企業包括長電科技、華天科技、通富微電、中芯國際等。
廣信材料(300537):2018年度公司與廣至新材料有限公司籤訂了《技術委託開發合同》,委託臺灣廣至研究開發「印刷電路板柔性基板用等用途的紫外光型正型光刻膠」 技術項目,開發項目可應用於印刷電路板柔性基板、LCD及LED顯示面板、半導體元器件等領域的高解析度紫外光型正型光刻膠,產品可以使用水性顯影液顯影。2019年度公司將繼續完善5G通訊用Low Dk/Df專用油墨、 複合板材專用功能性塗料等產品,繼續開發特種光固化塗料、紫外光正型光刻膠、水性塗料等新產品。
永太科技(002326):公司是具有完善產品鏈、產能規模全球領先的氟苯精細化學品製造商,主要經營醫藥、農藥、電子化學品業務,主要為國際巨頭相關企業提供定製生產、研發和技術服務。電子化學品產品主要有含氟單晶中間體、單晶、平板顯示彩色濾光膜材料(CF光刻膠)、鋰電池材料(六氟磷酸鋰、雙氟磺醯亞胺鋰等)。
上海新陽(300236):公司正在加快開發第三大核心技術——光刻技術,在集成電路製造用ArF幹法、KrF厚膜膠、I線等高端光刻膠領域已有重大突破。同時,積極布局半導體矽片、半導體溼法工藝設備、平板液晶顯示用光刻膠等業務領域。2020年8月,定增募資15億元,擬將7.32億元用於集成電路製造用高端光刻膠研發、產業化項目,3.48億元用於集成電路關鍵工藝材料項目,4.20億元用於補充公司流動資金。