唐塔在山西五臺縣佛光寺東山腰和西北塔坪裡，共七座，其中四座為唐塔。
解脫禪師四年(公元824年)建，手法古老，形制特殊，為唐塔中所罕見。塔為方形，兩層，總高約10米。其座束腰須彌式，塔身中空，正面有券拱門，塔內上部為疊澀藻井。塔剎有剎座覆缽及受花，寶珠已不存。
無垢淨光塔在寺東山腰，天寶十一年(公元752年)建。平面八角形，束腰須彌座，塔身殘壞，塔內出土的漢白玉雕像有佛、菩薩、弟子、金剛等。都是建塔時原作，比例適度，面形豐滿，線條流暢，是優秀的藝術品。
志遠和尚塔在寺東山腰，會昌四年(公元844年)建，八角形基座，上砌圓形覆缽式塔身，形體秀美，西向闢門，塔剎殘壞。這種形制的唐塔，為國內孤例。
大德方便和尚塔在在寺東山腰，貞元十一年(公元795年)建。平面六角形，通高4米，西向闢門，塔剎殘壞。門外北向嵌有塔銘刻石，記錄詳細。
唐代以前我國古塔多為方圓兩種形制，六角或八角形者頗為少見，佛光寺墓塔恰好彌補了這一缺陷。