（集微網/木棉）過去幾十年，半導體設備基本被美日歐等國家的企業所壟斷，但全球半導體產業第三次轉移歷史機遇期已來臨，同時摩爾定律步伐的放緩將為中國設備廠商追趕世界一流技術水平提供時間窗口。在這產業轉移的過程中，也催生了像上海至純潔淨系統科技股份有限公司這樣的龍頭企業。
作為中國半導體產業的參與者、建設者和觀察者，上海至純又是如何看待中國的半導體產業的？中國半導體設備產業如何才能實現突圍？在第七期集微龍門陣之「突圍！晶圓製造大發展下的中國半導體設備」的直播中，上海至純潔淨系統科技股份有限公司董事長蔣淵給我們做了解答。
上海至純潔淨系統科技股份有限公司董事長蔣淵
中國半導體產業將經歷「沙、土、林」的過程
蔣淵雖然稱上海至純是中國半導體產業的「新兵」，但其實成立於2000年的上海至純已經是一家具有十年歷史的「老牌」企業了。而蔣淵本人更是見證並經歷了國家從光伏、半導體照明等領域再到半導體的發展。
提到當前中國晶圓廠發展，蔣淵認為：「中國晶圓廠的進展是『遲來的發展』。」蔣淵在1997-1998年的時候就進入這個領域，當時她在外企工作，當開會講到中國的半導體領域，全員是沉默的狀態，「這就是當時中國半導體的狀態」，回憶過往滿是辛酸。到了2000年初左右，從中芯國際開始，雖然產業開始慢慢發展了，但是整體的感受還是中國在集成電路領域仍是停滯的狀態。
回顧從光伏到半導體照明的歷史，再到如今半導體產業的發展，蔣淵總結到：「其實國家在大的產業上都會經歷『沙、土、林』的一個過程。」
「就晶圓製造而言，放眼全國最早的時候只有幾家企業在做，其實就是一個『沙漠』的狀態。後來，隨著中芯國際、華虹等少量的企業發展，以及簡單的半導體工藝的發展，逐漸培養了很多人才，把『沙漠』培養成『土壤』。最近幾年國家在先進位程、存儲等方面的發展，其實就是土壤在夯實。而未來一定會是發展成『生態林』的過程。」蔣淵談到。
近年來，國家也加大了對半導體設備的投入。特別是成立於2019年10月的大基金二期項目，據悉大基金二期將重點向設備和材料領域傾斜，大基金管理人特別強調二期基金將對在刻蝕機、薄膜設備、測試設備和清洗設備等領域已布局的企業保持高強度的持續支持，推動龍頭企業做大做強，形成系列化、成套化裝備產品。
在政府和社會的各種資源投入下，蔣淵認為，在發展初期，鼓勵更多的參與者進來對產業的推動還是有積極的作用的。但是也要看到存在「一窩蜂」投向某個項目，造成資金和人員等資源分散、效率低下等造成浪費的情況。
不過，即便如此，她還是傾向於「多投派」，蔣淵如是解釋：「凡事有揚起的過程也會有沉澱下來的過程。最重要的是在中國當前的背景下，能夠激發有志之士有砥礪前行的行動。所以，最後沉澱下來的時候，資金還是會配置到真正做大事的人群當中。」
中國半導體設備「黃金窗口期」已打開
據SEMI的統計，2018年全球半導體設備達到645.3億美元，其中晶圓處理設備為502億美元，按5％的比例計算2018年溼法清洗設備全球市場規模約為25.1億美元。然而，目前設備平均國產化率僅5%~10%，可替代空間巨大。
對於當前國產半導體設備的現狀，蔣淵也有深刻的認識：「目前中國的半導體設備企業在全球佔比仍然較少，即便是北方華創和中微半導體這樣的大企業，其所佔的市場份額也較少。從溼法工藝領域來看，高端製程設備也只有少數幾家廠商在研發，幾家加起來也只有10%的市場份額。雖然佔比較小，但這也意味著存在巨大的市場增量空間。」
更為重要的是，「目前客戶正處於高速成長期，因此也為國內半導體設備企業帶來了很好的發展機遇，『黃金窗口期』已然打開。對於國產設備企業而言，團隊是否有能力抓住市場機遇是最重要的。」
縱觀全球，歐美、日本和韓國半導體產業都曾迎來黃金階段，半導體發展的過程中，也帶動了一批優秀的設備企業快速發展。蔣淵預測，歐美、日本、中國臺灣三分天下的格局最終會加入中國大陸的發展，達到四分天下的結局，而中國大陸在這過程中，一定會培育整個生態和產業鏈。
「因此，隨著全球半導體產業逐漸向中國轉移，一定會誕生幾家巨頭企業，而國產設備廠商雖然只是產業鏈中很小的一個群體，但是一定是產業鏈中生命力最旺盛的群體，即小而有力量。」蔣淵對中國半導體設備產業的未來表示樂觀。
中國半導體設備產業如何實現突圍？
數據顯示，國內設備及材料的龍頭企業與國際龍頭企業的收入差距在50倍左右 (2億美元VS 100億美元)，在全球半導體產業的層層包圍中，中國設備企業要實現突圍並不容易，在這過程中，中國晶圓製造與本土設備廠商的聯動對於產業的推動極為重要並尤有意義。
「在聯動當中，好比大手牽小手。大手就是下遊的大客戶，他們能夠給予本土廠商很多嘗試的機會，他們的反饋能夠幫助本土廠商成長。」蔣淵如是言。
令她欣喜的是，她原先認為在這種聯動當中需要很長一段時間的機臺替代，才會走到共同開發的節點，但現在產業發展很快，和客戶做合作開發已經開始了。
蔣淵談到：「本土廠商在大廠的扶持下，努力去發展，在這過程中自己也得到成長，並積累能力，提高了響應速度和專業的研發能力，反過來看，對大廠又是一個回饋，是良性的聯動循環。」
從更遠的層面上來講，其實現在資本方面也會做一些聯動，比如在長江存儲的創新中心，上海至純會作為投資者參與其中，希望能夠幫助創新中心的工藝開發。反過來，一些上市公司做戰略融資的時候也會和下遊進行聯動。「所以，整體而言，在未來的五到八年或者八到十年，下遊廠商跟設備廠商的互動速度會加快，層次會遞進，尤其是在共同開發工藝的時候。」蔣淵表示。
「不過，走出國外還需要一個過程，目前看來國內空間足夠大，突破點可以從夠得著領域出發，搶奪市佔率，大家一起努力，從國外廠商手裡去搶佔空間。雖然這個過程非常不容易，從IP自主、產能爬坡，到供應鏈自主，每項任務都需要能啃硬骨頭、坐冷板凳的團隊去做。但是，設備是用出來的，不是造出來的。我們可以一個工藝段一個工藝段去做，一個機型一個機型去做替代。」蔣淵給產業鏈上下遊廠商之間如何聯動指了一條明路。
最後，回到中國半導體設備產業能否取得突圍的問題，蔣淵認為，雖然中國設備廠商要實現突圍並不容易，但是，她相信在中國這片土地上是可以實現的：「當然，必要的條件是能夠有使命感、能沉下心的團隊去踏踏實實地做。現在已經湧現了很多這樣的人在中國半導體設備領域耕耘。此外還有一個條件是，國內晶片廠商能夠給設備企業提供嘗試的機會。」
目前，國家將半導體產業視為重要的、戰略性的產業。「上海至純作為半導體設備領域的『新兵』，希望在專有的地方做深，推動半導體產業在未來的八到十年不斷地發展。」對於上海至純的未來，蔣淵如是說。
（校對/範蓉）