如今看來,光刻機不再是一臺簡單的機器,而是承載著國產化希望的「鑰匙」,尤其是EUV光刻機,成為破局的關鍵。在當前的全球光刻機市場,荷蘭ASML公司佔據著75%的市場,日本的尼康和佳能合計佔據19%,ASML在行業內可以說是一家獨大。
要說普通的光刻設備,或者DUV光刻機,事情也就簡單了,日本的尼康和佳能至少還有替代品,但是EUV光刻機被ASML獨家壟斷,全世界僅此一家可以製造。
據ASML公布的財報顯示,2019年共賣出26臺EUV光刻機,其中有一半被臺積電買走,三星和英特爾買下另外一半。作為大陸最先進晶圓製造商的中芯國際,至今沒有收到一臺EUV光刻機,也正因如此,在先進位程工藝方面沒有得到加速發展。
事實上,自從2017年梁孟松加盟中芯國際以來,先進位程工藝得到很大突破,從28nm到7nm只用了3年時間,背後離不開梁孟松博士的貢獻。但是,最近中芯國際「引進」蔣尚義,事前並未通知梁孟松,致使梁孟松提出了辭呈,表示想「休息片刻」。
根據多家媒體報導的消息,在中芯國際新任副董事長蔣尚義的牽頭下,正在與荷蘭ASML公司進行談判,尋求獲得EUV光刻機。事實上,早在2018年,中芯國際就曾經向ASML訂購一臺EUV光刻機,價值近10億人民幣,但是到現在都沒有收到機器。
為什麼中芯國際要再次準備進口EUV光刻機?對於當下的中芯國際來說,萬事俱備,只欠東風,這裡的「東風」所指的就是EUV光刻機。當然,也有業內人士表示,蔣尚義在光刻機方面或有渠道資源,或許可以幫助中芯國際儘快拿到先進光刻機。
根據梁孟松辭呈中的信息來看,中芯國際將在明年實行7nm風險量產,3nm工藝製程已經獲得攻克,但是需要EUV光刻機才能製造出來。如今來看,這幾年在梁孟松的帶領下,中芯國際的進步是顯而易見的,但受制於EUV光刻機,遲遲無法實現7nm量產。
為了EUV光刻機,我國也做出了很大努力。就在12月16日,我國與荷蘭還進行了關於經貿領域的視頻會議,其中我國就提到歡迎荷蘭企業來華投資,擴大投資範圍,加強各領域合作,同時希望荷蘭能在光刻機領域保持公正。
這將有助於我國儘快進口EUV光刻機,對此,荷蘭ASML回應了。ASML公司的財務長Roger Dassen表示,ASML對包括中國在內的全球客戶都一視同仁,向中國出口DUV光刻機沒有違反《瓦森納協定》,也無需出口許可證,但是關於EUV光刻機,公司仍然在等待新許可證申請的批准。
從ASML的表態來看,阿斯麥並不想放棄中國市場,但是出於其他方面的因素考慮,一直未能向中國出口EUV光刻機。時至今日,很多人依然不明白為什麼ASML要聽美國的?要知道ASML光刻機的重要零配件——光源系統來自美國,正是因此才有出口限制。
對於中芯國際和ASML公司的談判,臺積電的態度很奇怪,畢竟臺積電並不希望中芯國際發展太快。從臺積電誕生之初,就一直保持行業第一的地位,如果中芯國際獲得EUV光刻機,那麼7nm將迅速實現量產,3nm也將加快速度,這是臺積電不想看到的結果。
蔣尚義、梁孟松曾經都是臺積電的研發負責人,如今中國大陸正在吸引越來越多的全球半導體人才,加快整個半導體行業的發展。即使中芯國際短期內依然無法獲得EUV光刻機,但是隨著我國在光刻機等核心科技領域的研發,未來實現光刻機國產化只是時間問題。