粵港澳大灣區首條6英寸MEMS傳感器晶片生產線正式投入運營

隨著生物醫療、人工智慧、物聯網、5G網絡等新興信息技術發展，傳統製造業將會藉助於新技術進一步轉型升級。MEMS半導體傳感器晶片在智能物聯網時代中起到核心作用，智能傳感器產業已成為推進傳統工業轉型升級的關鍵，這對粵港澳大灣區、乃至我國的經濟發展、產業結構優化具有重大的戰略意義。

據了解，廣州奧松電子有限公司6英寸MEMS半導體傳感器晶片生產線正式投入運營，成功量產出溫溼度、流量、氣體、差壓、風速等傳感器晶片，並為部分珠三角客戶提供MEMS半導體晶片代工服務。該生產線的建成投產標誌奧松電子成為華南地區領先的MEMS半導體傳感器晶片生產基地，推動國內、特別是粵港澳大灣區的MEMS半導體傳感器高質量發展奠定了良好的基礎。

奧松電子斥巨資打造MEMS半導體晶片生產線，一期工程淨化車間總面積約2500平方米，配置溼法清洗區、百級潔淨度光刻區、千級潔淨度鍍膜區、千級潔淨度刻蝕區、千級潔淨度離子注入區及參觀通道等。整個潔淨車間安裝了多套高性能風淋系統，對進入潔淨間的員工或者貨物進行徹底風淋除塵。

該生產線一期工程於2019年3月立項，2019年6月正式進入施工階段。經過6個月的施工，生產線的基礎設施已安裝完成。2020年，多臺步進式投影光刻機、雙面光刻機、塗膠顯影機、深矽刻蝕機、大束流離子注入機、PECVD、LPCVD、氧化爐、磁控濺射機、探針臺、應力測試儀、全自動RCA清洗機等先進的自動化生產設備搬入，生產線正式投入運營。

奧松電子MEMS半導體生產線一期工程為500納米MEMS半導體工藝製程，生產設備約佔整個投資規模的70%。一期工程已成功量產出溫溼度傳感器、空氣品質傳感器、氣體傳感器、流量傳感器、差壓傳感器等多款優質的晶片產品。根據規劃，2021年二期工程將建成350納米製程工藝MEMS半導體生產線；2022年三期工程將建成180納米製程工藝MEMS半導體生產線；總項目全部建成投產後，每月流片規模將達到4萬片，滿足奧松電子自身需求及粵港澳大灣區各類MEMS半導體晶片的代工需求。

隨著物聯網時代的到來，珠三角經濟區作為中國最重要的製造基地之一，一直走在時代的前列。《粵港澳大灣區發展規劃綱要》政策落實後，廣州作為廣東省省會城市和經濟中心、一帶一路新亞歐大陸經濟走廊主要節點城市和海上合作戰略支點，優勢地位不斷得到提升。奧松電子立足廣州，在MEMS半導體傳感器領域打破了國外企業的壟斷，實現國產替代進口，勇擔歷史使命，為粵港澳大灣區建設貢獻自己的一份力量。