光刻機主要可分為照明系統、Stage系統（工作檯系統）、鏡頭組、搬送系統、Alignment系統（對準標記系統）這五大組成部分。
作為高度複雜的半導體領域關鍵設備，光刻機對集成度的要求極高。有數據顯示，組裝一臺光刻機需要上萬個零部件。
由於光刻機各個組件的高度複雜，全球光刻機龍頭ASML即在成立早期，採取「Out House」的運營模式，僅負責光刻機整機的設計和子系統的需求定義，將各個子系統委託第三方廠商進行研發生產。
直至今天，ASML仍保留有部分「Out House」模式的傳統，比如，其使用的光刻機核心組件，由蔡司、Cymer等多家廠商供應。
與ASML相同，上海微電子的193nm光波長ArF浸沒式光刻機研發之路上，亦有國產產業鏈玩家的支持。
為儘快完成對193nm光波長ArF DUV光刻機的攻關，中國推出「極大規模集成電路製造技術及成套工藝」項目（又稱「02專項計劃」），其中專門針對光刻產業進行規劃。
根據「02專項計劃」，我國光刻機研發工作亦採用類似「Out House」的研發模式，上海微電子負責整機的設計與集成，另有五家企業各自負責對光刻機不同核心零部件的研發。
值得一提的是，這五家承擔核心零部件研發企業，均與中國頂尖高校聯繫緊密，代表著中國最頂尖的半導體研發實力。
這五家企業分別是：
1、北京科益虹源
北京科益虹源光電技術有限公司成立於2016年7月，主營光刻機光源系統，擁有準分子雷射技術研究、產品開發的能力。
在企業工商平臺可以看到，北京科益虹源第一大客戶為持股37.5%的中國科學院微電子研究所。
2、北京國望光學
北京國望光學科技有限公司成立於2018年，經營範圍包含光刻機曝光光學系統、高端鏡頭、光電儀器與裝備、光學加工與檢測設備等。
目前，北京亦莊國際投資發展有限公司持股國望光學約66.67%，中國科學院長春光學精密機械與物理研究所持股國望光學約14.67%。
3、長春國科精密
長春國科精密光學技術有限公司成立於2014年，總部位於吉林省長春市，在上海設有投影光刻照明系統研發事業部。
目前，長春國科精密由長春淨月創業投資有限公司100%持股。值得一提的是，長春國科精密與北京國望光學的法定代表人，均為長春光機所所長助理孫守紅。
長春光機所是中科院最大的研究所，先後孕育出了西安光機所、上海光機所、成都光機所等科研機構。
據長春國科精密官網，目前，長春國科精密作為「國家科技重大專項02專項」支持的唯一高端光學技術研發單位，正在承擔NA0.82、NA1.35等多種類型高端IC製造投影光刻機曝光光學系統的技術研發及產業化推進工作。
4、北京華卓精科
華卓精科成立於2012年，主營業務為集成電路製造裝備及關鍵零部件的研發和產業化。目前產品包括光刻機雙工件臺及其衍生產品超精密運動平臺、雷射退火設備、晶圓鍵合設備等。
今年六月份，華卓精科的科創板IPO申請獲得上交所受理，但這一IPO流程已於9月30日被中止。根據上交所官網，中止原因是華卓精科發行上市申請文件中記載的財務資料已過有效期，需要補充提交。
在華卓精科遞交的招股書中可以看到，其光刻機雙工件臺產品的重要客戶，正是上海微電子。
▲北京華卓精科主要客戶群體
5、浙江啟爾機電
浙江啟爾機電技術有限公司成立於2013年，主要研發、生產和銷售高端半導體裝備超潔淨流控系統及其關鍵零部件。啟爾機電前身是浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊。
不論是由於瓦森納協定還是近期的中美貿易摩擦，在國產晶片產業鏈面臨的困境中，光刻技術無疑成為直接「卡脖子」的一環。
要解決這一問題，技術攻關當然是必不可少的。目前，國產的深紫外線光刻機正處於研發的關鍵進程之中。在這背後，包括上海微電子在內的多位國產玩家正在攻關。
另外，借力國外成熟產品或可幫助晶片製造商實現突破。2018年，我國晶片公司中芯國際花費約1.2億美元，向阿斯麥訂購了一臺EUV光刻機。由於種種原因，目前，這臺光刻機還未成功交付。我們期待它能夠儘快落地中國，助力中國晶片事業再上一個臺階。
在嚴峻的外部貿易環境下，攻關光刻技術對國產晶片產業鏈來說意義非凡，期待相關技術攻關能夠實現突破。
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