機構：中信建投證券股份有限公司研究員：韋鈺/呂娟
事件
根據至純科技官方微信號信息，6月19日，公司交付給華虹集團ICRD的12寸單片式溼法設備正式搬入。
簡評
槽式設備訂單充足，進度超預期，Q2起出機已超過10臺：
①目前公司溼法工藝設備包括槽式及單片設備。至2019年末，已經完成了多個工藝的8/12寸全自動槽式裝備、4腔單片裝備、12寸12腔先進工藝單片裝備的研發及製造，產品線較為完善。
其中槽式設備是與日本團隊以全資子公司的形式合作生產、單片設備與韓國合作方IP、利潤、技術共享；
②從槽式產品發展進度看，公司2018年開始取得訂單，2019年中芯、萬國、德州儀器、燕東、華潤等用戶的第一批裝備基本完成交付，中芯有6臺裝備投入使用，包括清洗、刻蝕、金屬剝離、晶圓回收等多個工藝。同時，2019年大部分老客戶均重複購買公司溼法裝備，這是對於首批交付產品在實際生產中使用結果的最佳反饋。此外，公司新增加了華虹集團ICRD、中車、臺灣力晶、湖南楚微、新昇、瀚天天成、華為等用戶，而臺灣力晶是中國大陸以外的首個溼法裝備訂單。總體來看，截至2019年末，公司已經取得近40臺正式訂單，已經完成近20臺設備裝機，包含溼法刻蝕、清洗、金屬剝離、晶圓回收等多個工藝。2019年溼法工藝裝備的新增業務訂單總額達約1.7億，遠超之前的規劃；
③2020年以來，雖一季度受疫情影響，但Q2起公司單片清洗和槽式溼法設備出機超過了10臺。其中槽式設備自3月下旬開始，以每月2-3臺的數量交付設備給客戶。交付的設備中，涵蓋了近90%的溼法化學工藝步驟，包括光阻去除設備(PRS)、預清洗設備（Pre Clean）、有機溶劑清洗設備（Solvent）、金屬剝離設備（metal lift off）等。產品品類完善，客戶認可度較強。考慮到國內特色工藝產線/8寸線等目前仍處於投資額持續上升的狀態，基於公司目前在槽式清洗的卡位優勢，公司未來訂單仍有望持續增長。
單片清洗設備的突破成為公司下一階段發展的最大看點：
①總體來看，我們判斷全球半導體溼法清洗設備行業市場規模約30億美元，其中大陸市場目前規模約為10億美元左右；在兩大類清洗設備中，槽式清洗設備主要用在爐管前的清洗、去膠和薄膜沉積前的清洗、銅/鈦刻蝕前清洗和氧化層/氮化矽刻蝕的清洗。而當工藝節點縮小到100nm以下時，為了提高清洗性能，晶圓廠逐步切換至單片清洗設備。因此，在集成電路製造的先進工藝中，單片清洗已逐步取代槽式清洗成為主流。同樣的，我們結合清洗設備領域龍頭迪恩士2020年的財報來看，清洗設備收入中單片清洗設備佔比達到了65%，進一步說明了單片清洗設備逐漸成為溼法清洗工藝中最主要的設備類型；
②因此，我們認為在單片清洗設備領域的布局和突破成為公司下一階段最為重要的看點。公司此次單片設備正式交付華虹集團ICRD，標誌著公司單片設備的技術已經成熟、並且已經取得下遊認可。根據公司新聞，其單片溼法清洗設備相關技術能力&性能標杆國際大廠的相關產品，在晶圓表面顆粒清洗能力以及每小時的產出量等關鍵性的指標工藝上，機臺性能和工藝可以支持到14nm以下的工藝技術節點，滿足客戶對工藝的要求。
包括清洗設備而在內，公司已基本完成BU1-5業務布局，貫穿客戶全生命周期：
①公司目前資源的重點布局是集成電路（半導體）領域，公司BU1（高純工藝系統）、BU2（溼法設備及晶圓再生服務）、BU3（電子材料及部件）均服務於半導體板塊，服務於同一批客戶，但產品和服務對應的是用戶「新建廠-產能爬坡-生產運營-技術升級」的不同生命周期。與此同時，公司還有生物製藥板塊（BU4）、波匯科技為代表的光電子板塊(BU5)；
②在五年規劃中，公司的目標是系統集成事業部（BU1，至純集成）每年目標超過10億訂單貢獻；溼法事業部（BU2,至微科技）五年內有超過200臺各類溼法清洗機臺的裝機量；材料零部件事業部（BU3，至一電子）將投資和開發集中於28-14納米製程的高純電子材料和相關零部件；溼法事業部（BU2,至微科技）投資和發展晶圓再生服務；生物製藥和食品飲料領域（BU4,琺成浩鑫）大力發展模塊化工藝系統；光纖傳感業務和光器件業務（BU5,波匯科技）成為細分應用龍頭。總體看，公司目前業務布局更加清晰，長期發展邏輯更加通順。
投資建議：公司目前業務圍繞下遊客戶「新建廠-產能爬坡-生產運營-技術升級」的不同生命周期展開。主業高純系統方面，受益於近兩年國內半導體廠商建廠高峰，公司高純系統訂單保持穩定增長，且利潤率有望持續回升；清洗設備方面，公司槽式溼法設備已累計取得近40臺正式訂單，產品線逐漸豐富，且交付順利，深受客戶認可；單片清洗設備也已經成功完成交付，成為公司下一階段發展的最大看點。預計公司2020-2022年收入分別為13.29/17.77/22.76億元，歸母淨利潤分別為1.88/2.60/3.38億元，給予目標價54.2元，給予「買入」評級。