Hello大家好我是小楠,我們總是說光刻機是現代頂尖技術,那你了解光刻機嘛,小編簡單解釋一下啊,就是光刻機是通過光源曝光,將設計完成的集成電路圖,複印到矽片之上,從而形成圖像,這也是全世界最注重的事情之一,但是對於光學技術明明日本是老牌強國,為什麼現在都說荷蘭ASML是業界頂尖的EUV光刻機的廠商那?
荷蘭ASML是在1984年成立的,當時日本的光學巨頭尼康,已經有很強的實力了,對於一個剛起步的公司肯定不放在眼裡,然後就是這個不起眼的小公司,超越了它,就是從光刻機光源波長停滯在193nm,難以繼續前進的問題開始的,當然的解決辦法有兩種思路:第一種是在乾式光刻方案的基礎上,攻克152nm的F2雷射,這也是日本尼康的想法,這條路比較穩健,保守;第二種是EUV LLC聯盟希望通過極紫外技術,實現突破,雖然這個方法比較激進,但是一旦成功就能實現10nm以下晶片的製造;就在這時ASML也提出了一個想法,但與他們的技術都不相同,就是臺積電提出的「浸潤式光刻」。
這不到2004年,ASML與臺積電共同研發的浸潤式微影機問世,贏得了世界的矚目,雖然尼康也採用「乾式光刻」方案研究出157nm產品,但兩者一比較,尼康的產品無論從成本,縮短光波效果上都不如ASML的產品,而ASML也自此翻身成功。
不過後來英特爾與美國能源部牽頭的EUV LLC聯盟,聚集了AMD、摩託羅拉等美國頂尖科技巨頭,一起研究極紫外光刻機,但當時尼康已經不行,而ASML就抓住了這個機會,雖然進入EUV LLC聯盟付出了很多承諾,但進入之後也回報了它很多,ASML在美國的扶持之下快速的崛起了,也就成為了現在唯一能製造EUV光刻機的廠商。