SJ6000雷射幹涉儀檢定位移傳感器的應用

2020-12-24 騰訊網

SJ6000雷射幹涉儀集光、機、電、計算機等技術於一體，產品採用進口高性能氦氖雷射器，其壽命可達50000小時；採用雷射雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗幹擾能力強、長期穩定性好的雷射頻率輸出；採用高速幹涉信號採集、調理及細分技術，可實現最高4m/s的測量速度，以及納米級的解析度；採用高精度環境補償模塊，可實現雷射波長和材料的自動補償；採用高性能計算機控制系統及軟體技術，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機界面、嚮導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。

SJ6000雷射幹涉儀具有測量精度高、測量範圍大、測量速度快、最高測速下解析度高等優點，結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000雷射幹涉儀動態測量軟體配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲杆導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。

利用雷射幹涉儀對位移傳感器檢定成為發展趨勢,其特點是測量精度高、反應速度快、易於數位化測量。在測量中設計一個精密導軌,將反射鏡同被測傳感器放在一起同步檢測,從而形成對比。位移傳感器自動檢定系統與SJ6000雷射幹涉儀(標準)對定長位移進行測試對比,得出往複測試實驗結果。實驗環境:室溫18℃;相對溼度:52%RH;氣壓:754mmHg給出的位移檢定系統的讀數與雷射幹涉儀讀數,其差值小於±2.0um,這一誤差完全滿足預期的研究指標要求(不大於±2.5u m)。

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