雷射幹涉儀可用於精密工具機、大規模集成電路加工設備等的定位精度測量、誤差修正和控制。雷射幹涉儀的最大特點是在具有強大的排除幹擾能力的情況下還具有非常高的精度,其解析度可以達到納米級,從而可以大大提高製造領域的製造精度。
雷射幹涉儀與不同光學附件結合,可以測量距離、直線度、垂直度平行度、平面度。由於儀器為模塊化結構,安裝位置靈活,便於分析工具機誤差來源;而且測量時可以在工作部件運動過程中自動採集數據，更接近工具機的實際使用狀態。
與傳統的檢定方法相比,雷射幹涉儀具有較高的精度和效率,並能及時處理數據,為工具機誤差修正提供依據。
位置精度是工具機的重要指標,目前各國工具機檢定標準中都推薦使用雷射幹涉儀。因此,用雷射幹涉儀檢測工具機各項誤差是一種用傳統測量手段難以實現的技術。
SJ6000雷射幹涉儀主要技術指標：
主機
穩頻精度：0.05ppm
動態採集頻率：50 kHz
預熱時間：≤ 6分鐘
工作溫度範圍：(0~40)℃
存儲溫度範圍：(-20~70)℃
環境溼度：(0~95)%RH
環境補償單元
空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃
空氣溼度傳感器：±5%RH (0~95)%RH
大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa
線性測量
測量距離：(0~80)m (無需遠距離線性附件)
測量精度：0.5ppm (0~40)℃
測量分辨力：1nm
測量最大速度：4m/s
角度測量
軸向量程：(0~15)m
測量範圍：±10°
測量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m)
測量分辨力：0.1″
平面度測量
測量範圍：±1.5mm
測量精度：±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m)
基板尺寸：180mm可調，360mm可調
測量分辨力：0.1μm
直線度測量
垂直度測量
自動精密轉臺
型號：WR50
角度測量範圍：(0~360)°
測量精度：±1″
分辨力：0.1″
最高轉速：10rpm
最高跟蹤速度：2rpm
重量：1.9kg
高度：148mm
直徑：112mm
通信方式：藍牙傳輸
供電方式：鋰電池
正交觸發盒
信號輸入：差分TTL(RS422)正交編碼信號、10μApp微電流信號
輸出形式：10μs脈衝
觸發延時：0.1μs
供電電源：12VDC
尺寸重量與供電
便攜箱尺寸：613mm×460mm×230mm
標準配置重量：18kg
供電電源：(100~240)VAC
安全要求
雷射的安全等級達到Class I要求