重慶日報訊 （見習記者 王天翊）7月11日，重慶日報記者從兩江新區獲悉，可填補國內中高端MEMS（微機電系統）半導體傳感器晶片空白的兩江智能裝備產業園，預計明年4月試生產，屆時將助力我國MEMS傳感器晶片研發與工藝達到世界先進水平。
該項目由中國四聯儀器儀表集團有限公司（以下簡稱「中國四聯」）投資，擬用地120畝，投產後預計年產能達5萬個晶圓，年產值6億元。
中國四聯相關負責人介紹，該項目將主要開展半導體傳感器晶片設計、製造工藝、專用裝備製造等全技術鏈條研究，建設具有國際先進水平的高端半導體傳感器晶片和智能儀器系統生產線、工業網際網路設備健康管理大數據應用及服務平臺。
此外，該項目還將實現紫外-可見-近紅外系列微型光譜儀核心光學元器件、光學系統、專用採集卡、配套軟體、系統一體化集成裝調等核心部件的研發製造，並基於工業網際網路和專家系統，利用機器學習、大數據智能化、物聯網等新技術，實現對設備全生命周期狀態監測、故障診斷和健康管理。
該負責人表示，項目建成投產後，可使我國MEMS產品設計和製造工藝由碎片化走向連續化、系統化，為國內高精度測量技術的深入研究和大數據、智能化發展奠定堅實基礎，進一步推動我國高端MEMS半導體傳感器全產業鏈發展。
【來源：重慶日報】
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