一文看懂CMP材料行業(拋光液、拋光墊)

2020-12-15 林北的投資筆記

半導體材料產業概述

材料和設備是半導體產業的基石,材料分布於整個半導體產業鏈的上遊,產業規模大、細分行業多、技術門檻高、更新速度快,也是最容易「卡脖子」的環節。

2019年全球半導體材料市場營收為521億美元,較上一年相比略微下降1.1%。其中,中國大陸地區營收達88.6億美元,同比增長1.9%,也是全球唯一出現增長的材料市場。

半導體材料應用廣泛,主要包括集成電路(邏輯晶片、存儲晶片等)、光電子器件(光源、顯示器、光伏等)、分立器件和傳感器。其中,集成電路應用最廣泛,因為中國國產替代需求旺盛,2018年中國大陸的集成電路產業銷售額達6532億元,同比增長20.7%。隨著5G、物聯網、新能源汽車等下遊市場的爆發,上遊半導體材料亦大有可為,根據IC Insights預測,2016至2021年,整個IC市場年複合增長率為7.9%,其中汽車和物聯網帶來的增長率為13.4%和13.2%。

除了需求增長帶來的增量,國產替代帶來的存量市場也是重要的增長點。根據IC Insights預測,2023年中國大陸IC市場規模將達到2290億美元,但中國大陸IC產值僅470億美元,國產替代空間巨大。

製造一個半導體器件要用到多種材料,其中,矽片價值佔比最高,約38%;其次是電子特氣和掩膜板,各佔13%;光刻膠及其輔助材料合計佔12%;CMP拋光材料佔7%,雖然價值佔比不高,但環節及其關鍵,一次製造過程可能需要幾十次拋光,而且拋光質量好壞將直接影響下一道工序的進程。

CMP即「化學機械拋光」,半導體器件通常要求達到納米級的平整度,要不然,各處電阻值不均,光刻也刻不準,目前最好的工藝是用化學(液體)和機械(墊子)結合起來的方式。在拋光這個工藝中,最重要的兩種材料是拋光液和拋光墊。拋光消耗的成本佔比大概就7%,卻是半導體生產過程中重複次數最多的步驟,28納米製程的晶片,全程要12次拋光,現在晶片越來越小,到了10納米製程,拋光要重複30次,用掉30多種不同的拋光液。拋光墊的壽命也極低,通常45-75小時,屬於易耗品。

CMP材料行業規模及增速

2019年,全球拋光墊和拋光液的市場規模分別為7億美元和12億美元。預計全球CMP市場複合增長率約6%。隨著未來國內晶圓廠大幅投產,測算預計未來5年中國CMP市場規模增速可超10%,2023 年可達約30億元(約4.4億美元),其中,拋光液市場規模是拋光墊的1.7倍。

未來CMP材料增長可期,主要來自以下5個動力:

市場因素:5G、新能源汽車等新興產業本身的需求拉動。資本因素:作為產業鏈稀缺資源的CMP材料,競爭優勢明顯,毛利率高,是資本必爭之地。比如安集科技的拋光液毛利率一直維持在55%左右,2020年三季度的銷售淨利率居然高達36.8%。技術因素:隨著製程越來越先進,拋光次數也越來越多,前面提到,28nm工藝晶片要用到12次拋光,一旦進入到10nm,就要高達30次拋光。政治因素:國產替代勢在必行。產業鏈因素:晶圓製造產能持續向中國大陸轉移,目前中國大陸是僅次於中國臺灣、韓國的第三大生產基地,但增長率遠超前兩者。CMP材料行業格局

(1)拋光液

拋光液由超細固體粒子研磨劑、氧化劑、表面活性劑、穩定劑等組成,納米級的固體粒子用於淹沒,氧化劑用於腐蝕溶解,從而實現化學機械相結合的拋光效果。難點在於,根據拋光需求不同,配方也不同,有用於矽、矽氧化物、銅的,有酸性的、踐行的,等等。所以,不斷嘗試,以及根據客戶需求不斷磨合所得到的配方,是主要的競爭壁壘。

前4大廠商皆為美日企業,市佔率共65%,中國大陸的龍頭安集科技排第五名,佔2%左右。安集科技是中國大陸目前唯一一家實現了130-28nm技術節點上的12英寸晶圓片用的拋光液的規模化銷售,14nm技術節點產品正在客戶認證中(總所周知,需要2-3年時間),10-7nm產品正在研發。

境外目前主流工藝是14nm,大陸境內是28nm(中芯國際),三星和臺積電則力推10-7nm工藝,而大陸龍頭安集科技目前的14nm產品還僅僅在客戶認證階段,可見和境外對手的差距。

(2)拋光墊

拋光墊一般由聚胺脂做成,有像海綿一樣的機械特性和多孔吸水特性,主要型號有 IC1000、IC1400、IC2000、SUBAIV等,其中IC1000和SUBAIV是用得最廣的。拋光墊表面包括一定密度的微凸峰,也有許多微孔, 不僅可以去除矽片表面材料,而且還起到存儲和運輸拋光液、排除拋光過程產物的作用。

拋光墊全球市場集中,前5大廠商佔據91%的份額,目前中國大陸僅鼎龍股份有能力提供。鼎龍股份原為印表機耗材龍頭,但早早地就看到半導體材料的前景,從13年開始立項,熬到16年8月才完成建廠,一直到17年才拿到第一張訂單。2018年,鼎龍股份的CMP拋光墊賣出314萬元,2019年賣出1230萬元,2020年上半年賣出2102萬元,增長迅猛,但和巨頭比差距甚大。

而且因為專利壁壘,代表未來趨勢的12英寸晶圓用的開窗口拋光墊專利被美國公司佔有,國內僅有DOW獲得授權生產銷售,鼎龍股份是從8英寸無窗口拋光墊入手,12英寸矽片用的拋光墊還處在客戶測試階段。

CMP材料產業鏈上下遊情況

CMP產業鏈下遊較為簡單,主要是各大主流晶圓廠。其中,中國臺灣的臺積電、聯電、力晶在銷售額上分列第1、3、6名,中國大陸代工龍頭中芯國際排第5位。雖然下遊客戶集中,但不至於出現從下遊「卡脖子」的情況,因為CMP材料廠商和下遊晶圓代工廠是相互依存的,代工廠不能沒有CMP材料,而且進入供應鏈認證需要2-3年時間,一旦建立合作關係,晶圓廠也不願意輕易更換,承擔沒必要的風險。

上遊主要是研磨劑、化工材料、包裝材料供應商,CMP材料要求甚高,超細的研磨劑是重點,要求顆粒分布、直徑都要均勻,否則就會損傷矽片,包裝材料也不能含糊,必須使用高潔淨的塑料桶。所以優質的上遊供應商依然在國際企業手中,主要是日本富士和美國Gabot。

行業壁壘

CMP材料所面對的共同壁壘主要有2個:技術壁壘和客戶認證。

(1)技術壁壘

在種類繁多的半導體材料子行業中,拋光墊、拋光液是最容易被「卡脖子」的領域之一,究其原因就在於,為了實現納米級的打磨技術,對拋光墊和拋光液的要求也極為嚴苛。而且隨著製程工藝越來越現金,對這兩種材料的技術要求也不斷提高,所以有「一代材料,一代產品」之說。

CMP拋光材料的技術更新動力源自下遊晶圓的技術更新。晶圓製程不斷提高,從1971年的10微米發到現在的10納米、7納米甚至5納米。前面提到,境外主流工藝現在在14納米階段,而中國大陸晶圓代工龍頭中芯國際的最先進位程也就28納米。三星、臺積電已經實現10納米和7納米製程。為了追趕摩爾定律,製程工藝大約2年就能更新一次,往往是這邊的技術還沒趕上,那邊的新技術又出來了。為了滿足更細緻的工藝,CMP材料也有著更高的要求。

當前集成電路要求全局平整落差100A°-1000A°(相當於原子級10-100nm)的超高平整度。

除此之外,試錯成本也成為了CMP材料的技術壁壘。拋光材料要不斷找到合適配方、穩定製作工藝及設計圖案,從而獲得較好的、穩定的拋光速率和拋光效果,所以企業研究CMP耗材時間成本較高,需要較長時間來試錯摸索工藝指標、產品配方等對物理參數及性能的影響結果,形成較深的Knowhow壁壘。

(2)客戶認證

半導體器件要求極高的良品率,所以一旦形成穩定的供應鏈體系,晶圓廠一般不太可能更換供應商。要進入晶圓廠供應鏈體系裡,要經過審核、送樣、測試等環節,沒有2-3年是進不去的。但這也意味著,一旦進入供應鏈體系,將形成一條寬闊的護城河。

嚴格來說,半導體材料行業屬於成熟產業,各領域集中度高,巨頭林立,按理說沒有創業公司進入的可能,但在國產替代的大背景下,有技術實力的公司,如鼎龍股份、安集科技,只要能進入中芯國際等國內大廠的供應鏈體系,將成為穩定的賺錢機器。

幾家值得關注的非上市CMP材料公司

(1)拋光液

深圳力合:

成立於2003年,與清華大學深圳研究院有合作開發拋光液產品,並承擔了國家「十二五」等科技重大專項,實力不容小覷。公司主要提供新開發拋光液(玻璃基片拋光液、鈦基片拋光液、砷化鎵拋光液)、藍寶石拋光液、矽晶片拋光液和計算機硬碟基片拋光液4種產品。公司科研、資本背景雄厚,可能因此也沒有太迫切的上市打算。

上海新安納:

成立於2008年,是中科院上海微系統所聯合國內外研究機構、企業共同創辦的公司,也承擔了國家「十二五」重大專項,主要提供銅拋光液、矽片拋光液、藍寶石拋光液、LED晶片背面減薄拋光液。公司還往上遊走,提供電子級二氧化矽納米材料,可以為安集科技提供研磨劑。

天津晶嶺:

成立於2005年,與河北工業大學微電子材料研究所有緊密合作,也承擔了國家「02重大專項」,提供的產品線廣泛,覆蓋集成電路、器件、光電材料等。

(2)拋光墊

蘇州觀勝:

全稱蘇州觀勝半導體科技有限公司,於2017年投入了拋光墊生產項目,雖然起步晚於鼎龍股份,但蘇州觀勝有臺資背景,股東臺灣智勝在聚氨酯領域已經積累了30多年的經驗,將聚氨酯應用到CMP領域也已經有15年的經驗,在這一領域已經積累了100多項專利技術。目前,蘇州觀勝野心勃勃,計劃5年內(即2022年之前)佔領1/3市場份額,並成功上市。

以上調查均來自網上公開資料,本文是個人研究筆記,不作為投資建議。

相關焦點

  • 金剛石研磨液和金剛石拋光液
    常用它拋光多種難加工的硬脆材料,例如:SiC、Al2 O3、Si、SiO2、CaF2、 BeF2.、 AlO3、Li3GaO3、Tb3GaO12、GeO2、Si3N4、ZrO2等多種晶體及硬碟磁頭、微晶玻璃等工件。我們的實驗表明:用1μm的拋光液對碳化矽晶體進行拋光,其表面粗糙度Ra值可由80. 0nm拋光至0. 91nm.
  • 半導體材料行業深度報告:疫情之下,材料崛起
    在集成電路晶片製造過程中,每一個步驟都需要用到相應的材料,如光刻過程 需要用到光刻膠、掩膜版,矽片清洗過程需要用的各種溼化學品,化學機械平坦化 過程需要用的拋光液和拋光墊等,都屬於半導體材料。半導體材料是半導體行業的物質基礎,材料質量的好壞決定了最終集成電路晶片質 量的優劣,並影響到下遊應用端的性能。
  • 50大高度依賴進口新材料大盤點!中國未來10年的市場機會或
    其行業技術壁壘在於從生產到分離提純以及運輸供應階段,一直受到歐美發達國家的技術封鎖。電子特種氣體行業集中度高,美電子特種氣體行業集中度高,美國氣體化工、美國普萊克斯、法國液化空氣、日本大陽日酸株式會社和德國林德集團五家公司壟斷全球特種氣體91%的市場份額。國內企業主要集中在中低端市場。
  • 新材料專題報告:半導體材料及顯示材料投資機會分析
    報告綜述:一、半導體材料中芯國際+長江存儲資本開支擴張,半導體材料需求持續爆發,國產化材料或迎放量機會。隨著 Smic以及長存對於資本開支的增加,可預期對應半導體材料的需求也將隨之爆發。當前國產化半導體材料逐步突破海外技術,無 論是CMP拋光液、拋光墊,又或是IC載板,均已可實現一定的國產替代,伴隨著需求的增加,國產半導體材料有望獲得逐步放量, 突破長期被壟斷的材料市場。
  • 究竟誰是藍寶石拋光液的主流?
    藍寶石具有良好的光學、熱學、介電性能和優良的力學性能,同時具有優良的化學穩定性和熱穩定性能以及抗輻射性能,是一種綜合性能優良的多功能晶體材料,廣泛應用於半導體外延襯底材料包括氮化鎵襯底、SOI襯底(SOS),光學窗口以及雷射基質材料等。
  • 安溪縣碳化矽拋光液第三代半導體材料
    主要經營範圍:納米碳化矽、高純碳化矽、納米氮化矽、納米碳化鈦、納米氮化鈦、納米氮化硼、高純碳化硼、納米氮化鋁、石墨烯納米片等納米新材料、超精研新材料、陶瓷新材料、光電新材料、超導新材料的研究開發、加工及銷售。
  • 硬化地坪需要使用地坪拋光液嗎?
    在硬化地坪施工過程中,到底要不要用拋光液進行拋光處理呢?在回答這個問題之前,我們先要了解什麼是地坪拋光液,地坪拋光液能起到什麼作用,才能對這個硬化地坪需不需要拋光液的問題進行全面客觀的分析。地坪拋光液是一種用來提升硬化地坪亮度的產品,也叫做地坪光亮劑、地坪亮光劑、地坪增亮劑、地坪拋光機等等,力特克生產的濃縮型滲透地坪光亮劑,是採用了源自德國的特種高分子材料,具有抗磨損、防刮傷、防刻劃的功能。
  • 化工行業2021年投資策略:周期強勢復甦,材料戰略崛起
    半導體產業鏈的轉移 必將帶來上遊半導體材料的國產化發展機遇。重點推薦子行業及 標的方面,大矽片:滬矽產業;特氣:昊華科技、雅克科技、華 特氣體;光刻膠;CMP 材料:安集科技、鼎龍股份;溼電子化學 品:上海新陽。
  • 壽寧縣35CrMo合金鋼機械管化學拋光流程及拋光液於工藝條件
    壽寧縣35CrMo合金鋼機械管化學拋光流程及拋光液於工藝條件   無錫市上廣核能電力材料有限公司主要經營35CrMo合金鋼機械管、國產合金鋼、不鏽鋼、碳鋼管材、板材、棒材、型材、管道配件和焊接材料,無縫管、直縫管、合金/高壓鍋爐專用管道等產品,如有需要,歡迎前來選購!
  • 鼎龍股份:公司生產拋光墊產品規號有上百種 PSPI產品正在中試
    集微網消息 近日,鼎龍股份在接受機構調研時表示,公司目前能夠生產的拋光墊產品規號就有上百種,部分成熟製程的產品已經能夠完全取代;在先進位程用的軟墊領域還有一定的發展空間。關於拋光墊原材料國產化問題,鼎龍股份稱,公司一直以來的發展理念就是核心原料不能依賴國外。為降低成本並保障供應鏈的安全,公司於三年前開始規劃關鍵原材料的產業化和國產化進程,預計後續會有一部分原材料實現國產化替代。PI單體也是一樣的,原材料不一定自己全做,會以一定的方式形成控制。後清洗液中試進行了兩年,部分型號的驗證也通過了,工程化項目已經開始規劃。
  • 新材料行業深度報告:發展空間廣闊 萬億市場爆發
    為了提升新材料領域競爭力,實現我國從材料大國到材料強國的轉變,我國先後提出了《中國製造2025》、《新材料產業發展指南》、《「十三五」國家戰略性新興產業發展規劃》、《有色金屬行業發展規劃(2016-2020年)》、《稀土行業發展規劃(2016-2020年)》等重要指導性文件來支撐我國新材料行業的發展。
  • 「雙循環」戰略專題:中國半導體材料行業發展現狀及投資機遇分析
    特別是在2020年,面對全球疫情和國際環境,我國提出「加快形成以國內大循環為主體、國內國際雙循環相互促進的新發展格局」,這為本土晶片企業帶來機會,也為半導體材料行業帶來發展機遇。(一)半導體材料行業基本概況1、半導體材料發展歷程半導體行業經過近六十年的發展,半導體材料經歷了三次明顯的換代和發展。
  • 新材料行業深度報告:發展空間廣闊,萬億市場爆發
    為了提升新材料領域競爭力,實現我國從 材料大國到材料強國的轉變,我國先後提出了《中國製造2025》、《新材料產業發展指 南》、《「十三五」國家戰略性新興產業發展規劃》、《有色金屬行業發展規劃(2016-2020 年)》、《稀土行業發展規劃(2016-2020年)》等重要指導性文件來支撐我國新材料行 業的發展。
  • 固化劑地坪為什麼要使用地坪拋光液?
    力特克濃縮滲透型地坪光亮劑是專門為混凝土地坪研發的一款新型拋光液,呈白色乳液狀。源自德國的特種高密度分子材料,充分的滲透進地面內部後,經過機械打磨拋光,可有效改善混凝土地面的亮度,使地坪達到色澤一致。材料品質的好壞,影響著地面最終呈現的效果。若材料品質差,再多的材料,再標準的施工工藝也不能呈現理想的效果。優質原材料,先進的生產技術,科學的配比,孕育出力特克高品質的材料,力特克濃縮滲透型地坪光亮劑,專屬打造高品質固化地坪。
  • 半導體材料國產化替代之路任重道遠
    半導體材料是半導體產業的基石,在集成電路晶片製造過程中,每一個步驟都需要用到相應的材料,如光刻過程需要用的光刻膠、掩膜版,矽片清洗過程需要用的各種溼化學品,化學機械平坦化過程需要用的拋光液和拋光墊等,都屬於半導體材料。
  • 中國半導體不再被「卡脖子」,從材料開始,解密十大新材料替代現狀
    目前隨著下遊多方需求恢復的共振,將史無前例的帶動半導體行業在 5G 的飛速發展,再創新高。本期的智能內參,我們推薦國盛證券的研究報告《國產替代揭開序幕,新材料行業春天將至》,揭秘在半導體行業穩步增長的大背景下,半導體材料和顯示材料的國產替代邏輯。
  • 從材料開始,解密十大新材料替代現狀
    目前隨著下遊多方需求恢復的共振,將史無前例的帶動半導體行業在 5G 的飛速發展,再創新高。 本期的智能內參,我們推薦國盛證券的研究報告《國產替代揭開序幕,新材料行業春天將至》,揭秘在半導體行業穩步增長的大背景下,半導體材料和顯示材料的國產替代邏輯。