光刻膠是一種對光敏感的混合液體,是半導體晶片製造過程中所需的關鍵材料,主要用於光刻曝光環節。
光刻膠主要有KrF、ArF、EUV幾種,我國在低端光刻膠領域雖然有不錯的表現,但在高端領域,我國仍要依賴海外。
光刻膠巨頭技術壁壘高的特點、市場集中度高的特點,給我國企業帶來了不小的挑戰。長時間來,KrF、ArF高端光刻膠市場,被日本企業所壟斷。日本信越化學、東京應化、合成橡膠等企業,都在ArF光刻膠市場佔據主導地位,其次是美國、韓國企業。
據中國產業信息網數據,2017年我國適用於12寸矽片的ArF光刻膠完全依賴進口。
這種高度依賴的境況令人擔憂,一旦有政治衝突、軍事衝突等的發生,後果十分嚴重。為改變這一受制於人的境況,我國眾多企業開始了追趕。
終於,我國光刻膠領頭企業——南大光電,在近日傳來好消息,國產晶片迎來希望。
南大光電承接國家「02專項」的重點攻關項目——「ArF光刻膠產品開發和產業化」實現了關鍵性突破。南大光電宣布,公司自主研發的ArF(193nm)光刻膠通過客戶使用認證,這是我國首支通過產品驗證的國產ArF光刻膠。
報告評估顯示:南大光電的ArF光刻膠產品測試各項性能滿足工藝規格要求,良品率結果達標。
這為我國突破日本壟斷帶來了可能性,令人矚目。
南大光電的在這一關鍵技術上的突破,提升了我國科技企業的自主創新能力,有望推動我國國際競爭力的提升,帶動我國電子工業體系技術水平進步。
據了解,ArF光刻膠主要用於90nm至14nm,乃至7nm技術節點的集成電路製造工藝。如今,先進光刻膠的需求量隨著先進位程工藝的應用、5G的擴張等,也在不斷增加,市場前景廣闊。
據智研資訊數據顯示,2019年全球光刻膠市場規模約為90億美元,而到2022年時這一數字有望增長至100億美元。在雲計算晶片、5G晶片上,高端光刻膠都有廣泛的應用,在國產替代的加快的背景下,南大光電的發展潛力巨大。
而且,南大光電還投入6.56億元建設193nm光刻膠生產線建設,計劃年產能25噸。這有助於進一步實現國產光刻膠規模化。
接下來,南大光電還將有怎樣的表現,令人期待。
文/BU 審核/子揚 校對/知秋