在我國當下「惡補」的半導體技術空缺中,光刻機可以說是重中之重。眾所周知,例如智慧型手機、電腦、汽車當代科技產物,如果沒有晶片的話,就只是一堆毫無用處的擺件。晶片對於這些智能電子產品的重要性,正如光刻機對晶片的重要性。
光刻機的主要作用,在於生產晶片,它的工作職責是將設計好的電路,精確地投影在矽片上,因此人們習慣將光刻機比作一臺精度超高的照相機。一片7nm的晶片可以難倒華為,一臺製造7nm晶片的高端光刻機,也同樣可以難倒一群「英雄好漢」。
要知道,一臺光刻機的產生需要多家巨頭企業的合力參與研發,需要融合多個科技強國的頂尖技術,就連美國的工程師都曾說:光是調光刻機中的一個小零件就花了整整十年的時間!儘管如此,依舊有一個國家能夠造出全球頂尖的光刻機。
當代的光刻機市場中,荷蘭的光刻機巨頭企業ASML一家獨大,以63%的市場份額,幾乎壟斷了整個光刻機市場。值得一提的是,在ASML佔領光刻機市場之前,光刻機市場的霸主地位是牢牢攥在日本手上的,ASML能夠用短短20年的時間崛起並蓋過日本,其中不可忽略美國的推波助瀾。
ASML創建於1984年,當時的ASML只是個連廠房都沒有,還要靠飛利浦施捨的,小小嘍囉一般的存在,而彼時正是日本尼康的輝煌時段。1980-2004年期間,日本憑藉強大的光學技術,不僅攥住了超過50%的全球光刻機市場,還碾壓了其競爭對手美國,正是風光無限的時刻。
然而在那不久,光刻機領域遇到了一個難題:光刻機光源波長在193nm處停滯不前。對此,當時的光刻機領域出現兩波不同的聲音,一波是以日本尼康為首的,主張在乾式光科技的基礎上,對152nm的F2雷射進行攻克。
一波則是由英特爾和美國能源部起頭的EUV LLC聯盟主張的,通過極紫外技術來實現技術突破。這個主張和日本尼康的相比,技術難度更高,也更加激進。
在主張方面,一向是遵循少數服從多數。EUV LLC聯盟不僅拉到了AMD和摩託羅拉等多家科技巨頭的加盟,更有美國三大國家實驗室的支持,與之相比,日本顯得有些孤立無援,最終被排除在「EUV」之外,這正是日本開始走下坡路的開端。同時也是ASML走運的開始。
正如前文提到的,當時美國在光刻機方面被日本尼康實力碾壓,因此EUV聯盟計劃另外扶持一個光刻機大佬。此時ASML已經憑藉著搶單、推銷、蹲點的各種銷售手段逐漸成形,在得到EUV聯盟招兵買馬的消息後,ASML不僅自薦,還各種承諾會在美建廠等諸多好處,最終獲得了EUV聯盟的認可。
之後,ASML不斷「行大運」,又遇上貴人臺積電的研發大將林本堅,投身於林本堅提出的「浸潤式光刻」的研發,2004年,ASML憑藉和臺積電合作研發的浸潤式微影光刻機在全球嶄露頭角。
而ASML被禁止向中國出售EUV光刻機,正是因為採用了美國的相關技術,美國才有理由要求荷蘭停止向中國出售光刻機設備。
昔日光刻機巨頭尼康,也被生動地上了「孤掌難鳴」的一課。後期不僅核心業務——照相機的營收都大幅下滑,最近有消息稱尼康將裁員2000名縮短開支。至於非核心的光刻機業務,更是被「散養」了。
一臺高端光刻機的研發需要各國頂尖科技資源的整合,如今我國已經著手尋找半導體領域的突破口,在這種情況下,與日本的佳能和尼康合作不失為一個良好的選擇。
日本作為光學大國,掌握著中國不具備的高端光刻機技術,而中國又有龐大的市場和資金。兩者是優勢互補,或許能夠打破ASML的壟斷。對此大家有什麼看法呢?
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