格隆匯 12 月 17日丨南大光電(300346.SZ)公布，公司控股子公司寧波南大光電材料有限公司(「寧波南大光電」)自主研發的ArF光刻膠產品近日成功通過客戶的使用認證。
「ArF光刻膠產品開發和產業化」是寧波南大光電承接國家「02專項」的一個重點攻關項目。此次產品的認證通過，標誌著「ArF光刻膠產品開發和產業化」項目取得了關鍵性的突破，成為國內通過產品驗證的第一隻國產ArF光刻膠，為全面完成項目目標奠定了堅實的基礎。
認證評估報告顯示，「此次認證選擇客戶50nm快閃記憶體產品中的控制柵進行驗證，寧波南大光電的ArF光刻膠產品測試各項性能滿足工藝規格要求，良率結果達標。」
ArF光刻膠材料是集成電路製造領域的重要關鍵材料，可以用於90nm-14nm甚至7nm技術節點的集成電路製造工藝。廣泛應用於高端晶片製造(如邏輯晶片、AI晶片、5G晶片、大容量存儲器和雲計算晶片等)。
ArF光刻膠的市場前景好於預期。隨著國內IC行業的快速發展，自主創新和國產化步伐的加快，以及先進位程工藝的應用，將大大拉動光刻膠的用量。
此次通過客戶認證的產業化意義大。此次驗證使用的50nm快閃記憶體技術平臺，在特徵尺寸上，線製程工藝可以滿足45nm-90nm光刻需求，孔製程工藝可滿足65nm-90nm光刻需求，該工藝平臺的光刻膠在業界有代表性。