本文匯總蝕刻減薄企業中現有一些在面板或玻璃單面拋光過程中氧化鈰拋光墊的常見更換、清洗等流程，供大家學習參考。
所用主要工具和物料：
工具
1、 塑料毛刷
2、 美工刀
3、 塞尺
4、 水平尺
5、 橡膠錘
6、 修整盤
物料：
1、 氧化鈰拋光墊
2、 丙酮
氧化鈰拋光墊的更換
更換標準：由於根據不同開槽要求，實際使用中氧化鈰拋光墊有多種開槽方式，在現有減薄拋光企業中多數使用開方塊槽。按方塊槽拋光墊情況，當整張拋光墊50%區域凸起方塊損耗達3/4時，可更換拋光墊。另外，按開槽深淺，可參考50%區域氧化鈰拋光墊槽深小於0.2mm時也可考慮更換拋光墊。
更換操作方法：
1、 舊拋光墊拆除和機臺殘膠清理
1） 操作拋光機擺臂移動拋光碟至適當位置，用刀片等工具將拋光墊輕撬起一角，雙手拿住撬起的拋光墊部分，並施力將拋光墊撕下去除。
（撕去舊拋光墊）
2） 拆除拋光墊後，先用水槍噴水以毛刷清除盤面的研磨粉。若盤面有難去除的殘膠，可使用無水酒精或丙酮溶液塗抹盤面，再用刮刀等工具來除去。其中，若是中間供應拋光液模式機臺，注意勿將殘膠等雜質流入中央供應口和拋光液導槽中。
（塗抹無水乙醇或丙酮和清理）
（使用空氣槍將盤面吹乾）
2、 新拋光墊的粘貼
若拋光機臺盤面較大，需要多張氧化鈰拋光墊拼接使用。
以下定盤粘貼拋光墊為例，先將需要更換新拋光墊放置於下定盤上，劃分好粘貼尺寸。
粘貼流程：
1） 撕開拋光墊背膠保護紙約50mm~100mm，觀察拋光墊相對盤面是否左右對稱，將拋光墊先粘盤面一角。其中注意保持拋光墊的邊緣和盤面邊緣約有5mm左右，以利於切割拋光墊。
2） 用一隻手壓住要粘貼在盤面的拋光墊部分，同時另一隻手撕去拋光墊背膠保護紙，均勻粘貼，直至將整張拋光墊粘貼完成。
3） 對粘貼好的拋光墊進行檢查，看是否有鼓起部分。若發現鼓起，可用鋼針等細小工具刺穿已粘貼拋光墊，放出空氣並壓平。
拋光墊的切割和修整清洗
1） 用美工刀沿盤面邊緣，以刀片與盤面成60度角左右，將多餘的拋光墊割除。對於中間供液的拋光機，還應將中心供應液口處拋光墊去除。
2） 拋光墊切割粘貼完成後，用磨棒的工具對拋光墊邊緣進行打磨平滑，防止毛刺等不規則邊角導致後續可能產生產品拋光作業風險。打磨平滑後用橡膠錘將拋光墊四周輕巧捶打，確保該拋光墊周邊粘貼嚴實。
3） 使用盤面對應尺寸的修整盤對已切割和粘貼好的拋光墊進行修整。
修整盤的安裝和操作：
將上盤下降至水平，離修正盤最高點2-5釐米距離，並移動修整盤與上盤大致對齊，慢慢降下上盤，使其卡入修整盤內。
4） 手工清洗拋光墊：將拋光機臺上盤上升，同時將下定盤轉數設置在40rpm左右，用塑料毛刷從拋光墊中心位置起，由內向外圈移動刷洗拋光墊。
參考建議：每次修盤後需用塑料刷對拋光墊進行刷洗5~10min。確保拋光墊的毛刺已清潔乾淨，否則會對產品造成劃傷。
氧化鈰拋光墊正常使用過程中的平整檢測和修整情況
將水平尺放置拋光碟中間位置位置，如下圖用塞尺從左中右三點處測量拋光墊是否平整。
測量方法：
將塞尺放置於水平尺下方，用手將塞尺適當向外拉，如拉不動則表示該位置平整；略有阻力表示該位置有輕微凹陷；如果很輕鬆似無阻力，表明此處拋光墊已經發生凹陷較嚴重的不平整。在測量中發現左中右三處無法一致達到平整時，就需要進行修盤處理。
需要拋光墊修整盤情況說明和注意事項：
1） 左右兩邊位置塞尺拉不動，而中間位置塞尺略有阻力或沒阻力，表示盤面的氧化鈰拋光墊成中間凹陷，左右兩邊高起的狀態，需要進行修盤。
2） 左右兩邊位置塞尺略有阻力或沒阻力，而中間位置塞尺拉不動，表示盤面拋光墊成中間較高，兩邊較低的狀況，需要進行修盤。
3） 參考建議：保證在拋光碟測量頻率在2次/班，發現盤面拋光墊平整度相差30μm時需要修盤處理。
4） 修整過程中用水槍對拋光碟進行大量衝水，並依次開啟下盤旋轉及上盤搖擺. 參考修整一般時間控制在5分鐘左右一次，待支持盤面檢測平整結束修整。
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