六大傳感器原理

2022-01-02 感知芯視界

來源: 電子工程師筆記,謝謝

何謂傳感器(Sensor)?

傳感器(Sensor)是指將收集到的信息轉換成設備能處理的信號的元件或裝置。
人類會基於視覺、聽覺、嗅覺、觸覺獲得的信息進行行動,設備也一樣,根據傳感器獲得的信息進行控制或處理。
傳感器收集轉換的信號(物理量)有溫度、光、顏色、氣壓、磁力、速度、加速度等。
這些利用了半導體的物質變化,除此之外,還有利用酶和微生物等生物物質的生物傳感器。

IoT與傳感器
所有物體都連接網際網路的IoT(Internet of Things:物聯網)。
不僅智慧型手機、個人電腦等通信設備,還包括醫療設備、可穿戴式設備、車載、自然環境、基礎設施等,所有物體都能聯網共享信息,從而創造更便利、更安心、更安全的社會。
實現這些所不可缺少的是檢測狀態的「傳感器」。

【IoT有關的術語定義】
IoT:Internet of Things("物體"的網際網路),指傳感器嵌入到周圍物體中,進行聯網,從而物體之間,物體與人之間可以相互通信的狀態。
德國・工業4.0:是德國政府提出的旨在提升製造業智能化水平的概念,也是工業、政府、學術界共同推進的國家項目。推出新的概念,旨在通過工廠物聯網,創造新的價值。
M2M:Machine to Machine: 指不以人為媒介,通過物體之間聯網,直接通信。<P2M: People to Machine   人向物體通信>,<M2P: Machine to People   物體向人通信>
工業網際網路:GE(Generel Electric Company)為中心提倡的工業IoT戰略。

地磁傳感器

地球被磁場磁力所包圍,這被稱為地磁。
地磁傳感器是檢測地球磁力的傳感器,也被稱為「電子羅盤」。
地磁傳感器可以通過檢測地磁來檢測方向。地磁傳感器有X和Y兩軸型以及添加了Z的三軸型,並測量各方向上的磁力值。
如果不考慮諸如簡單羅盤之類的傾斜,則僅使用X軸和Y軸的值。當考慮傾斜時,需要將地磁傳感器的3軸值與加速度傳感器相結合,將其校正到正確的方向。
如果地磁傳感器水平旋轉,在不受周圍磁場影響的理想情況下,輸出分布圖的圓心變為零。然而,實際上中心因環境磁場的影響而移動,因此需要進行調整以將圓心移動到零。
地磁傳感器導出的北極稱為磁北(略偏離北極)。通過上述方程式計算該磁北的角度,可以容易知道方向。

各類磁傳感器
磁傳感器是一種旨在測量磁場的大小和方向的傳感器。
根據目的不同有多種傳感器,以下列舉典型的傳感器。
抗噪聲
                        (靈敏度)基於霍爾效應測量磁通密度的傳感器,輸出與磁通密度成比例的電壓。它易於使用,主要用於非接觸式開關應用,例如門和筆記本電腦等物體的打開和關閉檢測。MR(Magneto Resistance)傳感器也被稱為磁阻效應傳感器,利用物體電阻因磁場變化來測量地磁大小的傳感器。靈敏度高於霍爾傳感器,功耗更低,因此是一種使用更廣泛的磁傳感器。除了電子羅盤等地磁檢測應用外,它還用於電機旋轉和位置檢測應用。MI(Magneto Impedance)傳感器是下一代磁傳感器,採用特殊的非晶絲並應用了磁阻抗效應。它的靈敏度比霍爾傳感器高出10,000倍以上,並且可以高精度地測量地磁的微小變化。
可以應用於超低消耗電流的方位檢測(電子羅盤),還可應用於室內定位、金屬異物檢測等高靈敏度特性的應用。
脈搏傳感器

脈搏波是心臟發送血液時產生的血管的體積變化波形,監測該體積變化的檢測器稱為脈搏傳感器。
首先,測量心率有四種方法,心電圖、光電脈波法、血壓測量法、心音描記法等。由於測量方法的不同,光電脈波法的脈搏傳感器有透過型和反射型。
透過型通過向體表照射紅外線或紅光,測量隨著心臟的脈動而變化的血流量的變化,作為透過身體的光的變化量來測量脈搏波。
該方法限於測量易於穿透的部分,例如指尖和耳垂。反射型脈搏傳感器是向生物體照射紅外線、紅光、550nm左右波長的綠光,利用光電二極體或光電電晶體測量生物體反射的光。含氧血紅蛋白存在於動脈血液中,具有吸收入射光的特性,因此通過檢測隨時間序列並隨心臟搏動而變化的血流量(血管容積的變化),測量脈搏信號。
另外,由於是反射光的測量,因此不必像透過型那樣限制測量部位。當使用紅外線或紅光測量脈搏波時,受到室外陽光中包含的紅外線的影響,不能進行穩定的脈搏波測量。因此,建議僅將其用於室內或半室內應用。
在運動腕錶等戶外用途,血液中的血紅蛋白的吸收率高,由於綠色光源較少受環境光的影響,我們將綠色LED作為照射光使用。

通常,通過觀察以下兩點可以測量動脈血氧飽和度(SpO2)。通過脈搏傳感器獲得的波形的變動周期,觀察心率(脈率);通過使用紅外線和紅光兩個波長,來觀察脈動(變化量)。
此外,作為脈搏傳感器的應用,期望通過高速採樣和高精度測量來獲取諸如HRV分析(壓力水平)、血管年齡等各種生命體徵。

根據要測量的壓力值,壓力傳感器具有如下所示的各種材料和方法的傳感器。
在這些壓力傳感器中,檢測大氣壓力(用於氣壓檢測)的傳感器通常被稱為氣壓傳感器。氣壓傳感器的典型示例是使用矽(Si)半導體的壓阻式。
羅姆提供的氣壓傳感器也是壓阻式氣壓傳感器。

壓阻式氣壓傳感器

壓阻式氣壓傳感器使用Si單晶板作為隔膜(壓力接收元件),通過在其表面上擴散雜質形成電阻橋電路,將施加壓力時產生的變形作為電阻值變化,來計算壓力(氣壓)。
電阻率(電導率)因施加在該電阻上的壓力而變化的現象稱為壓阻效應。羅姆的氣壓傳感器IC將使用壓阻式壓力接收元件(隔膜結構和壓阻集成在一起※MEMS),以及溫度校正處理、控制電路等的集成電路(※ASIC)集成在一個封裝裡,可以輕鬆獲得高精度的氣壓信息。
※ MEMS:Micro Electro Mechanical System(微機電系統)
在一個電路板上集成機械構成部件、傳感器、執行機構(驅動部件)等的裝置。※ ASIC:Application Specific Integrated Circuit(專用集成電路)
它是一種集成電路,將多個電路功能組合成一個特定應用。
加速度傳感器

加速度是指單位時間內產生的速度,測量加速度的IC就叫加速度傳感器。
通過測量加速度,可以測得物體的傾斜、振動等信息。
加速度單位為m/s2(※國際單位制SI)。
另外,單位G是以※標準重力(1 G = 9.806 65m/s2)為基準的加速度值。
還有用於檢測地震震動的加速度的單位※Gal(CGS單位制)。
※ 國際單位制SI(法語:Système international d'unités)
由長度m、重量kg、時間s (MKS單位)組合而成的國際單位。※ 標準重力
物體在重力作用下產生的加速度。物體在自由落體時,物體每單位時間內增加的速度值(9.806 65m/s2)。※ Gal
CGS(長度cm、重量g、時間s為基準)單位制的加速度單位。被定義為SI單位制的1/100(1Gal=0.01 m/s2 )。加速度傳感器一般分為低G加速度傳感器和高G加速度傳感器,如下圖所示。
羅姆集團加速度傳感器是採用MEMS技術的電容式加速度傳感器。
傳感器元件由Si製成的固定電極、可動電極和彈簧構成。未施加加速度的狀態下,固定電極和可動電極間的距離相同。施加加速度,則可動電極移位。由此與固定電極的位置關係發生變化,電極間容量發生變化。容量的變化通過※ASIC轉化為電壓,算出加速度。
※ ASIC
Application Specific Integrated Circuit(專用集成電路)
指將特定用途的多個電路功能集成到一起的集成電路。
電流傳感器

何謂電流傳感器?
電流傳感器是指檢測電路中流動的電流值的傳感器。

電流的檢測方法
如下圖所示,檢測流動電流的方法大致可分為電阻檢測型和磁場檢測型。

電阻檢測型將分流電阻引發的電壓降轉換為電流。安裝簡單而且價廉物美,操作簡單,但缺點是電阻上的功率損耗會產生較大的發熱量。磁場檢測型<有鐵芯>根據電流線中流動的電流測量鐵芯中產生磁場的大小,以此來測量電流值。這種方法無需接觸,功率損耗較小,但鐵芯較大,存在貼裝面積大的課題。<無鐵芯>
利用霍爾效應將流動電流周圍產生的磁場轉換為電壓(霍爾電壓)進行測量,以此來測量電流值。因為霍爾效應產生的電壓較小,所以IC由霍爾元件和放大電路構成。因為需要將電流引入IC內,所以會產生功率損耗。

M1電流傳感器
為了消除上述磁場檢測型在安裝難度(有鐵芯)和功率損耗(無鐵芯)方面的缺點,ROHM開發出了使用MI(Magneto Impedance)元件的磁場檢測型非接觸型電流傳感器。
MI傳感器作為使用特殊非晶絲,利用其磁阻抗效應的新一代傳感器,其特點是具備超高靈敏度的磁性檢測能力。
靈敏度遠超霍爾元件,可高精度檢測磁性的微小變化。因此,無需將電流引入封裝內,也能以高精度進行非接觸式電流檢測(磁性檢測)。
【電流傳感器的結構比較(羅姆調查)】
綜上所述,MI電流傳感器可進行非接觸式電流測量,功率損耗少,還能進一步縮小貼裝面積。
顏色傳感器

感光傳感器(光傳感器)中,檢測R(紅色)、G(綠色)、B(藍色)3原色的叫作顏色傳感器。
顏色傳感器通過光電二極體接收周圍光線,檢測RGB值。

顏色傳感器的原理
向物體照射具有RGB成分的光,反射光的顏色成分會隨物體的顏色發生改變。
例如,紅色物體的反射光成分為紅,黃色物體為紅和綠、白色則包含紅、綠、藍全部成分。
由此可知,物體的顏色由物體反射的光色(R、G、B)成分的比例決定。
人眼是通過獲取反射光成分來識別物體的顏色。
在漆黑的場所什麼都看不見吧!這是因為沒有照射光,反射光自然也不存在,所以看上去是漆黑一片。
與人眼一樣,顏色傳感器是使用光電二極體接收光線,通過計算接收到的R、G、B量的比例來識別顏色。

顏色傳感器IC的結構
下圖是顏色傳感器IC的結構。內部搭載了彩色濾光片(Color filter)和紅外截止濾光片(Ir cut filter)。

(羅姆的代表性顏色傳感器的簡要結構)

下面比較了傳感器在有無這些濾光片時的分光特性。

(RGB分光特性示意圖)


顏色傳感器IC通過為內部傳感器配備R、G、B各種顏色的濾光片,具備了較高的RGB分光特性,而且通過配備紅外截止濾光片,具備了紅外線去除特性,能高精度識別顏色。

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