2020年全國電子顯微學學術年會|高通量掃描電子顯微鏡在材料表徵中...

2020年全國電子顯微學學術年會

2020年11月22日，「2020年全國電子顯微學學術年會」在成都市新希望高新皇冠假日酒店隆重開幕。大會為期三天，來自科研院所、高校、企事業單位等電子顯微學領域專家學者千餘人出席。本次學術會議旨在了解電子顯微學及相關儀器技術的前沿發展、交流基礎研究與應用研究新進展。

中國電子顯微鏡學會和《電子顯微學報》主要創辦人和負責人之一的姚駿恩院士，在大會開幕視頻致辭中回顧了中國電鏡事業的發展歷程，中國從當初的個位數電鏡發展到現在的上萬臺，電鏡擁有量走入世界前列。在視頻中他提到，聚束科技發展了高通量場發射掃描電鏡，入圍了2020年R&D創新獎。姚駿恩院士表示非常欣喜看到年輕一代高水平快速成長和活躍於學術前沿，祝願中國電子顯微鏡學會為科技創新強國，中華民族的偉大復興再做貢獻！

為慶祝中國電鏡學會成立四十周年，本屆年會的主題是「顯微學激發新希望」。回顧四十年發展歷程，電子顯微學的研究領域至今已遍及各個學科，在科學研究中具有重大作用。本屆年會設立材料科學與生命科學分會場，在23日的第五分會場——先進顯微分析技術在工業材料中的應用中，聚束科技總經理何偉分享了高通量掃描電子顯微鏡的發展及其在材料表徵中的應用。

何偉首先介紹了高通量掃描電鏡技術被提出的原因：隨著摩爾定律的預言，半導體工藝線寬從100nm量級到至今的5nm，工藝製程中的缺陷檢測也變的至關重要。半導體元器件進行失效分析往往需要採用先進的物理、冶金及化學的分析手段，而傳統掃描電鏡成像速度慢，智能化程度低，難以滿足半導體工業要求。掃描電鏡解析度高（納米級），景深大而且可以從幾十倍到幾千倍連續擴大，是材料研究和分析的重要工具。

會上，何偉提出一個驚人的數據比對：24Kx24K大小的圖像，高通量掃描電子顯微鏡僅需6.5s即可掃描完成，而對於普通掃描電鏡，相當於600多張圖像，要一次性採集完成。

何偉現場也帶來了解答：原因在於聚束科技獨立研發的高通量技術。高通量即通量，為每秒產生的信息量，可以概括為兩點，「快」且「不停」，何為快？聚束科技的高通量（場發射）掃描電鏡通過對快速成像技術、納米平臺、高速偏轉以及AI控制的系統化創新設計，實現了高通量成像，成像速度可達到傳統電鏡的數十倍以上。

何為「不停」？高通量SEM系統旨在處理釐米級大面積和TB級海量數據的實時自動成像，可7*24小時無人值守運行。藉助其高速成像和「不間斷」自動硬體控制，Navigator-100可以在合理的時間內，以良好的圖像質量輕鬆獲取大面積的納米級信息，甚至整個ROI（感興趣的區域）。

何偉在會場作報告

在材料領域，高通量（場發射）掃描電子顯微鏡的超高速掃描成像能力，結合全自動聚焦跟蹤系統和A.I.圖像處理算法，實現對超大區域（150mm*150mm）樣品進行高解析度全自動不間斷矩陣式掃描，並自動拼接獲得大尺寸納米級解析度的全景地圖式成像，使之具備了跨尺度信息融合能力，可實現從納米級到毫米級的跨尺度材料表徵。

改革開放的40年，中國電子顯微鏡學會也伴隨中國的改革開放走過了40年，今天我們仍然面臨機遇和挑戰。雖然我們電子顯微學強大了，但在儀器方面還比較落後。40年後的今天我們有很好的條件，能不能走得更好，像老前輩們為我們做出的榜樣那樣，也是我們今天的同仁們有更好的發揮機遇和成長空間。

何偉在會上說過，聚束科技要做有差異化的掃描電鏡，最好的國產掃描電鏡！作為國產掃描電鏡製造商，將秉持張院士所說，繼承老前輩們的優良傳統，為電子顯微學事業貢獻力量。

會議還有2天，歡迎各位老師蒞臨聚束科技展位，共同探討國產掃描電鏡發展之道~

另外，聚束科技總經理何偉將於11月24日下午15:30-15:50，在第九分會場分享國產高通量（場發射）掃描電鏡在大尺寸生物組織介觀結構成像中的應用，請各位老師持續關注~

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