全球超高純度工業應用的精確溫度控制領導供貨商Heateflex Corporation 今日發布用於半導體製造生產線內加熱器和液體加熱器/混合器兩款新產品。HC 生產線內加熱器和加熱器/混合器含氟聚合物產品採用精巧設計,在苛刻的半導體製造環境中擁有卓越可靠性。
本文引用地址:http://www.eepw.com.cn/article/279618.htm全新 HC 生產線內加熱器採用特殊內部管件,無需密封件,提高可靠性,加熱管上焊接式頂蓋摒棄O 型環,從根本上杜絕顆粒汙染風險。此加熱器核心為專業型輕量、全 PFA 浸水面Heateflex加熱盤管。此專利加熱元件可快速響應各種工序需求,且其質量較輕使得加熱器能以最短的時間和更均勻的熱量分布達到設定溫度點。HC 生產線內加熱器可提供各種尺寸,輸出範圍為 2 到 10 千瓦(kW),電壓範圍則為 120 到 480 伏。
Heateflex亦推出一款 HC 生產線內加熱器/混合器產品,將生產線內加熱器的特點和優勢與混合能力相結合,在精巧裝置中整合加熱和液體混合功能,是小空間配置的理想之選。混合器中可組合不同流量的多達三種不同液體,內部擋板與加熱元件本身的結合使得輸出液體得到均勻混合和加熱。HC 加熱器/混合器的輸入歧管可 360 度旋轉,能滿足特定管道工程需要,以及通過立式或臥式安裝來節省空間。
Heateflex總裁兼執行長 Jorge Ramirez 說道:「全新Heateflex HC 生產線內加熱器和生產線內加熱器/混合器足以滿足半導體行業對高可靠性以及極緊湊設計的工序純度的雙重需要。在廣泛的超高純度加熱設備系列中新增這兩款新產品,以應對最苛刻的工業應用需求,我們深以此為傲。」