微電流在探索、測試、研究領域，用途廣泛，是打開電子測試微觀領域的一把鑰匙。人類探索微觀電流世界的過程從pA級到fA，再到aA，現已經進入單個電子時代。
人們往往認為，DIY一個1pA測試器是需要經歷巨大挑戰的。本文試圖說明，通過適當的方法和傳統而簡單的成熟技術，不僅可以很好的解決了測試1pA的問題，同時可以把測試下限做到1fA以下，進入aA領域。
電路圖及說明
用電池供電，微功耗設計；電池選9V，用低壓差低功耗的HT7150三端穩壓成5V，自耗電《4uA；
然後用雙運放的一半，把5V分成±2.5V雙電源，這部分耗電《22uA；R3和R4把-2.5V分壓成100mV作為標準電壓，由R5=100G提供測試用的1pA標準電流。這部分耗電5uA；
最後，雙運放的另一半接成經典負反饋I-V轉換電路，這部分耗電16uA；運放採用LMC6062AIN，很便宜的東西，典型Ib=10fA，典型Vos=100uV，耗電32uA；
運放也可以用LMC6042AIN，很便宜的東西，典型Ib=2fA，典型Vos=1000uV，耗電20uA；R6提供保護，不至於因偶然輸入過壓而導致運放損壞；
R7是反饋電阻，C4是反饋電容，用於抵消輸入電容的影響，提高響應時間，同時也與R7一起提供一定的時間常數。
合計耗電《47uA，一節9V充電電池（350mAh）可以使用7000多個小時。如果換用LMC6042AIN，總耗電《35uA，電池可以使用10000小時。
仿真
電路很簡單，預期會很順利，但實際上很艱難。大概是Multisim對於超高阻部分做的不好。
可以看到，仿真軟體把主運放的Vos取了0.35mV，另外也肯定加入了Ib的影響，最後的輸出有一點偏差，很正常。
準備材料、元件
除了個別元件比較難找外，其餘都是很常見的。特殊的元件，主要是100G的電阻。
元件布局
先裁減好萬能板，主要元件排布一下。上邊是電源，右下是輸入，左下是輸出。
製作輸入隔離島
此處為關鍵部位，隔離島需要高度絕緣。採用優質BNC插座，確認絕緣部分是特富龍材料，這是常見的最好的絕緣材料，電阻率可以超過10的15次方歐姆-釐米。
不僅如此，BNC插座的外皮，要強制在地電位，這樣與中心導體的電位差就很小（《1mV），這樣才能保證漏電不超過0.1fA。
輸入島島芯的製作
這部分要實現良好的機械支撐和電氣絕緣，同時要儘量減少體積以免不必要的輸入電容和感染，這樣就直接在中心導體上焊接成四叉，分別接輸入、反饋電阻Rf、反饋電容Cf、運放輸入/保護電阻。
元件安裝和焊接
這部分沒有啥特別的，常規做法。不過也比較麻煩，斷斷續續焊了兩個小時，剛剛完成。標準電壓源，不僅有0.1V，而且增加了10mV：
反饋電容製作
其實還沒有焊接完成，發現運放的輸出還沒有接，反饋電容還沒有位置，補做一個。
這個電容要求超低漏電、很小的容量，難於找到成品，只有自己做。用外徑0.55、內徑0.34的特富龍單芯雙絞線8cm，加密雙絞。測試一下，4.7pF，可以了。
安裝基本完成
又發現一個錯誤，電壓源的地接錯了，接到了-2.5V上去。改正後，裝上大部分元件後：
初步測試
用Mengxin DIY手持6位半測試，不給予任何電流信號，即輸入電流為零，只接上反饋電阻和反饋電容，零點貌似正常，不裝盒時有幹擾，裝盒後大約為1.7mW，也就是17fA
加上1pA內部電流後，輸出大約是91.5mV，也就是915fA，正常。
初步採集
仍然用Mengxin 6.5，測試時保存在內部MicroSD卡中，採集了零點和1pA信號，結果非常平穩，噪音非常小。至此，1pA超微電流測試儀DIY成功！
運放的說明
看照片，這些都是Ib超級微小的CMOS運放，由於輸入級都是MOS管，因此Ib都非常小。儘管LMC6001很著名，但其用料和製作並沒有什麼特別的，只是出廠前進行了100%的測試，保證Ib《25fA而已。這些運放儘管Ib的指標值相差很大，但實際上相差不大，絕大多數都會低於典型值，或者Ib《10fA，因此可以基本隨便選用，使用前測試一下，個別的淘汰即可。
我主推LMC6042A和LMC6062A的原因，就是低耗電。Ib小，電流噪音就自然小。這些運放的電流噪音的指標都低於0.2fA/√Hz。Ib小，受溫度係數的影響就小。因此，超微電流測試，Ib是首要選擇目標。
價格上，LMC6001A貴一些，其它都很便宜，尤其是圖中的下面兩款，很容易買到。
其它的常用運放，還有一些金封的，例如ICH8500A、AD549LH、OPA128LM：
不過，根據國半，金封的Ib反而不如塑封的好，再由於價格貴，不推薦。
超高阻的說明
照片為我自己的測試過的所有100G的電阻。
A. 國產的100G真空電阻，有一定的電壓係數，但低壓下表現尚可，溫漂也湊合。如果手頭正好有這種電阻，可以用在此處的超微電流測試儀裡。
B. 新近國產100G，紅色漆皮，但表現很好。溫度係數大約0.14%/C，電壓係數很小，低壓下表現也非常好。
C. 日本FINECHEM的 RH2HVS，誤差只有1%（F），高壓下（10V～1000V）表現也非常好，但就是低壓下表現很差，介質吸收嚴重，一旦加壓（例如開機時的5V）則難於恢復，會在很長一段時間內表現出開路有輸出電壓，電荷釋放時間比較長。
D. 國產的片狀電阻，名義上是RI80，也許是小廠的產品，非常垃圾的東西，電壓係數超大，10V和100V下電阻能相差2倍以上，《1V下幾乎要開路（電阻》10T），其表現類似一個穩壓管，因此絕對不可以用在此處。另外，該電阻的極化存儲現象也很嚴重。
根據Johnson Noise理論，可以測試的最小電流受下列電流噪音公式約束：
I^2 = 4 * k * T * B / R
其中k是玻爾茲曼常數，為1.38E-23，T是絕對溫度，B是帶寬，R是信號源內阻。
把常見的T=300度、B=1Hz、R=10MΩ帶入，結果得到40.7fA。顯然這個噪音對於微弱電流還是太大，要想改進，在常規場合（比如不能搞低溫恆溫）、測試速度確定的場合下，唯一我們能做的就是提高信號源內阻。如果R選擇1GΩ，那麼電流噪音就變成4.1fA了，減到了1/10。假如繼續把R增大到100G，那麼噪音極限就達到0.4fA了（2fApp，如圖紅圈所示）。
吉時利往往被公認為是國際微電流測試最高水平，其目前仍然是保持記錄的靜電計K642，裡面的反饋電阻最大用到了12次方（1T），這與其0.08fArms的電流噪音指標是吻合的。理論上，如果進一步要其測試下限達到1E-17（10aArms，50aApp）也是可能的，只要提高信號源內阻到100T，同時要加大一些測試時間，如下圖綠圈所示。因此可以看到，單從噪音從這一點看我們就需要超高阻。
（本圖來自吉時利低電平測試手冊，並做了延伸）
內阻越高則電流噪音越低，這個概念與微電壓的測試正好相反，因此有一些人轉不過彎來，不想用高阻。
的確，內阻高則噪音大，但噪音是與內阻的半次方成正比的，量程、增益是與內阻的1次方成正比的，算下來還是需要選擇高阻。無論是信號源的內阻，還是運放的反饋電阻，均受此規律制約。
數據採集的說明
數據採集，就是把微電流測試器的電壓輸出信號，轉變成數字數據保存起來。簡單一點的採集，要用到ADC，可以DIY，也有各種現成的採集卡、USB採集器可以買到。
但更方便的，是利用帶有計算機接口的商品萬用表。我最早用UNI-T的UT71，4位半表，具有RS232接口，帶有程序；後來用Fluke 289，需要用FlukeView；在基準測試中，我一般用3458A加上GPIB卡，靈活、準確而功能強大。但在這裡，我用了Mengxin DIY的手持6位半萬用表，這表除了具有高精度、高分辨的特性外，還帶有內置MicroSD寫卡器，這樣在採集的過程中不僅不需要交流供電，還可以脫離計算機，避免幹擾。採集的數據為csv格式（逗號分隔文本）。
數據能夠採集下來，不僅可以長期無損保存，更可以後續做曲線、進行各種分析。我喜歡用Excel，在保存數據的同時，可以方便的求出平均值、最大最小值、標準差、阿倫方差等，更主要的，還可以作圖。
用微電流源進行測試
有人會問，自己DIY的微電流儀準嗎？誤差如何？如何校準？這個麼，我這裡正好有個WD-1直流微電流源，輸出範圍是0.01pA到110uA。
先裝好輸入BNC插座
用這個WD-1輸出1pA對DIY微電流儀進行測試，同時採集：
從表的讀數就可以看到，這次比較準了。開始不太準的原因是用的兩個100G的電阻，一個偏大另一個偏小。
現在這個Rf是找了一個合適的換上去的。目前正在測試中，測完後我貼出結果。更新，結果出來了，出奇的好。
由於該微電流測試器只有一級，是反向的，因此正電流輸入後讀數為負。剛才測試的時候把WD-1的輸出極性開關放到「-」的位置，輸出就為正了。1pA曲線平直、噪音很低。選取最好的100個數計算標準差，為0.28fA，這可以認為就是有效值噪音。同樣，選取100個計算峰峰值，僅為1.3fA。從靈敏度看，按噪音有效值的2倍計算，為0.6fA。
100fA的結果類似，直觀看一下曲線：
標準差0.30fA，峰峰值1.38fA
那麼，如何認定該測試儀的測試100fA的「精度」呢？是2.5%？還是什麼別的？
無論如何，可以把這個叫做100fA測試器也是可以的。
至於為什麼測試1pA還比100fA好一點，不得而知，也許是偶然的。無論如何，1pA和100fA的短期穩定性和重複性相近。用Cf=5pF、Rf=100G帶入理論計算公式計算一下，得到電流噪音的理論值是0.29fArms，峰峰值是1.44fA，可以看到，我的測試已經達到了噪音理論值！要想再好是不可能的了，除非繼續增大反饋電阻。
如何衡量一個微電流測試器的好壞
有人會說，那還不容易，用精度，或者準確度。
實際不然，計量界早不這麼用了，人家用不確定度。
不確定度中包含了重複性、偏差，加上其它的，我這裡羅列一下：
A、穩定性
穩定是準確的基礎，沒有穩定性就談不上精確。比如今天測試一個值，明天測試變了，那還有精度可言嗎？或者說，連續測試10次的結果變動很大，又如何準確測試？因此，測試器最重要的就是穩定性，表現在指針表不晃動，數字表的末位不跳動。
具體一點說，穩定性可以分為短期穩定性（短穩）和中長期穩定性。短穩主要由噪音和幹擾決定，也可以認為是測試的重複性，可以由噪音的真有效值（rms值）表示，或者由變動的峰峰值表示，計算時可以用標準差，或者更精確一些用阿倫方差（Excel均支持）。
以前手工計算一般只取10個連續的測試值計算，用計算機採集後一般取100個連續值。峰峰值計算比較粗糙但很方便，一般是真有效值的5倍或6倍。中期穩定性一般由溫度變化引起，長期穩定性一般由元件的老化引起，可以表示為每年變動百分之多少。
B、溫度變化情況，或者叫溫度係數。以每度變化百分之多少來衡量。對於I-V法的微弱電流測試儀，如果漏電能控制的很好，則溫度係數主要由反饋電阻決定的。因此，若想減少溫度的影響，那就要選擇溫度係數小的Rf。
超高阻的溫漂一般比較大，要求高的可以選擇氧化釕材料的高阻。另外，運放的Ib如果比較大，也會引起溫漂。Vos的溫漂對整體性能貢獻不大。
C、最小分辨。對於指針表，是指最小檔的最小刻度；對於數字表，一般是最靈敏量程的最末位數字代表的值。如果噪音太大，那麼最小分辨往往沒有意義。試想一下，一個數字表在最靈敏的量程下，末位兩個數字總在因為噪音的原因在跳動，那最小分辨還有什麼意思呢？誰還會去看最後一個數字？
D、靈敏度。靈敏度是度量一個微弱電流計的重要指標，可以認為，靈敏度為儀器能夠分辨的輸入改變的最小值，再小的輸入信號會被噪音淹沒，因此一般可以取噪音有效值的2倍。由於噪音的峰峰值大體上為噪音有效值的5倍，因此靈敏度也大體上等於噪音峰峰值的一半。
E、偏差。這個指標其實關係不大，有偏差校準一下就可以，或者知道了偏離多少，糾正一下即可。現在測試儀大多數位化了，數字零點改正、數字比例糾正是很容易的事情。
微電流測試器的校準，可以通過剛才的類似WD-1的微電流源進行，也可以用標準電壓和標準高阻來進行。例如Keithley 6517的校準就是這樣的。標準電壓可以提供到非常好，例如Fluke 732B，可以精確的提供10V和1.018V電壓。高阻標準電阻，例如採用成品的BZ17超高阻標準電阻。
大部分靜電運放的噪聲電流均為0.1到0.2fA/√Hz之間，而新型、低噪音的7721怎麼能一下子高出幾十倍？因此我認為應該是0.1fA/√Hz，等價為2.5T的電阻的噪聲。另一方面，超高的Rf也將因Ib而產生壓降，例如5fA和1T將產生5mV的輸出，所以也應該選取Ib儘可能小的。
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