真空計種類那麼多,如何選擇才最好?

2021-01-16 INFICON英福康


· 加熱電阻絲，使之升溫至需要的工作溫度

· 由於氣體粒子與電阻絲碰撞離開時帶走了能量，電阻絲的溫度會發生變化

· 熱絲的能量損失與熱絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關係

1）穩定溫度，測量施加的電壓變化等效測量真空度（INFICON PSG500）

2）穩定電壓，測量溫度變化等效測量真空度（熱偶規）


1）氣體類型

2）壓力大小

測量範圍（空氣,氧氣,一氧化碳,氮氣）：5 x 10-4至 1000 mbar

精度(氮氣)：

1x 10-3… 100毫巴   ±15%

5 x 10-4… 1 x 10-3毫巴   ±50%

100 ... 1000毫巴   ±50%


燈絲部分在不影響精度與速度的情況下，加以最大的保護，大大延長了燈絲的使用壽命。



· PSG050/051

· PSG100-S  PSG101-S

· PSG500/500-S PSG502

· 皮拉尼電容膜片複合真空計PCG400 PCG410 PCG550

1）有皮拉尼規與特製的陶瓷薄膜規合成在一起

2）兩種原理的規管全過程都工作

3）100 mbar—1000 mbar 使用薄膜規信號

4）1 mbar– 100mbar 兩規信號同時採用

5）5x10-4mbar –1 mbar 採用皮拉尼信號

6）輸出的真空度信號（電壓）連續，無跳躍


· 各種高真空泵的前級壓力測量，如光伏、鍍膜、等離子行業

· 各種中低真空測量，如照明，冶金

· 真空連鎖控制，高真空計的點火開關控制，如PEG100

· PSG050可完全替代TR211，PSG051可完全替代TR216

· PCG400 PCG410(現在已升級為PCG550，PCG400/PCG410已經停產）與PSG500 基本相同，但彌補了皮拉尼規大氣測量段精度不足的弱點，而且不受氣體類型的影響，在真空爐，單晶爐，多晶爐，藍寶石爐上廣泛應用 

· PSG100 PSG101，與PSG500/PSG050基本相同，但以為具有通訊協議功能，在大系統中應用廣泛



二、電容薄膜規

CDG025D/CDG045/100/160/200

· 壓力使膜片變形，變形量與壓力大小成比例關係



· 通過測量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量測量真空度



· 以可靠的超純陶瓷傳感器室為基礎構成

· 在嚴酷和腐蝕性環境中,穩定與可靠的高精度壓強測量

· 快速的預熱和恢復時間,提高生產率

· 卓越的長期穩定性,再現性和重複性

· 由於電子學直接安裝在傳感器上,改進了溫度補償和EMC兼容性

· 對環境條件變化的敏感度的降低使得測量更穩定

· 快速預熱在開機的一分鐘內達到快速穩定和進入準備使用狀態

· 一鍵按鈕: 調零功能和設點調整

· 抗腐蝕超純陶瓷傳感器

· 能經受數百萬次壓強循環周期,包括大氣壓衝擊,無任何降低性能的跡象

· 暴露大氣壓後快速恢復,無需隔離閥

· 對蒸氣介質不敏感

· 先進的傳感器屏蔽 (專利)延長真空計在汙染的工藝過程中的使用壽命


· 陶瓷技術的優越性

1）無 「記憶」 效應

2）陶瓷無疲勞問題

3）最好的溫度補償

4）卓越的零點穩定性


· 低使用成本

1）非凡的使用壽命

2）無需隔離閥








· 零飄極小0.1%FS/年（乾淨真空環境）

· 更高的精度

· 環境溫度變換/環境壓力變化/環境氣流變化對精度無影響

· 比工藝更快的預熱啟動時間』

· 快速恢復時間 大氣壓 < 1 min within 5mV

· 任意安裝角度

· 抗汙染，可有效抵抗工藝氣體或工藝產生氣體的腐蝕影響


要求高的應用條件下，精確而快速的壓強測量

· 用於刻蝕，CVD、PVD、ALD半導體設備製造，如太陽能光伏行業的PECVD用的很多，刻蝕上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比較多，抗汙染性能比較好。一般國內用的PECVD還有多晶爐上用的MKS的電容薄膜規622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比較多，如德國Ruth&Rau公司的PECVD設備標配產品為MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,質量流量計用的是1179BX23CR14VSPC1 800sccm/SiH4和1179BX5CR14NSPC1 2000sccm/NH3，國內用的好多PECVD設備上用的是INFICON的CDG025D。


· 資料貯存和顯示器製造設備

· 工業真空設備

· 常用高精度真空測量


Richardson 效應: 高溫燈絲髮射電子，高能量電子撞擊氣體分子，氣體分子的一個或多個電子被撞擊出去，形成帶正電的離子。



1）帶電離子被離子收集極捕捉收集放大輸出

2）離子流的大小與氣體壓力成比例關係




· HPG400

· BPG400/-SP/-SD/SR

· BPG402

· BCG450 B-A規，皮拉尼規，薄膜規三種型號複合在一起


· BPG

 ■測量範圍寬，一個規管覆蓋13個量程5x10-10–1000 mbar

 ■精度高，極好的重複性5%

 ■燈絲材料鍍釔的銥絲有極好的抗氧化能力，皮拉尼自鎖保護，使燈絲並不會因突然暴露大氣而燒毀。

 ■方便的校準調節

 ■注意事項：

   ◆對氣體有選擇性

   ◆抗汙染能力弱

 ■普遍應用於從低到超高真空的測量

 ■在工業，半導體，研究行業應用廣泛


· BPG402

 ■雙燈絲，大大延長使用壽命

 ■電離規的工作可以自定義控制

 ■探頭備件自帶校準參數，保證精度與重複性


· HPG400

 ■電離規與皮拉尼的複合

 ■皮拉尼自鎖保護電離規

 ■電離規的工作啟動點可以一定範圍內自定義

 ■簡易的校準功能

 ■相對便宜的價格


· BCG450

 ■可調的電離規工作起點

 ■極佳的重複性

 ■精確的大氣端測量



通過氣體放電方式產生電子，通過磁場使電子獲得能量將氣體分子電離。



· 測量範圍：5 x 10-9 to 1 x 10-2 mbar

· 全金屬密封

· 無燈絲

· 易清洗

· 應用於普通的高真空測量


· 冷規與皮拉尼規的複合

· 測量範圍廣： 5x10-9-1000 mbar

· 易於保養清洗

· 無高真空燈絲，

· 應用於普通高真空測量


相關焦點

  • 怎麼選擇數字真空計?
    現在大家使用的大多數還是老式的電接點真空表、電阻真空計、熱偶計等等，準確度差、不穩定、壽命短，當然也有進口設備，但真空測控儀表、真空計進口的產品非常昂貴，那麼我們普通設備需要真空控制時應該如何選擇性價比高的真空計呢？
  • 真空測量與常見的真空計
    測量真空度的裝置稱為真空計，真空計的壓強敏感元件稱為規頭。某些真空計可直接測量氣體總壓強，某些真空計雖然也給出壓強讀數，而實際測量的是氣體分子密度，測量結果與環境溫度有關。當容器中同時存在多種氣體成分時，容器中氣體總壓強等於各氣體分壓強之和。總壓強測量方法可分為直接法和間接法兩種。直接法利用液柱差、機械變形等原理直接測量壓強，包括液位壓強計、壓縮式真空計、彈性元件真空計等。
  • 【真空測量】熱偶真空計工作原理、工作特性及使用
    熱偶真空計工作原理、工作特性及使用        熱偶真空計是利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關，元件的溫度又與氣體的熱傳導有關的原理來測量真空度的真空計。    熱電偶真空計的構造如圖1所示，氣體分子承擔的熱傳導量與壓強成正比是熱電偶真空計的工作原理。
  • 火狐狸地毯:家用地毯種類那麼多,我們該如何選擇?
    現在很多家庭都在使用地毯，而市面上地毯的種類可謂是百花爭鳴。那地毯的種類有哪些呢？我們應該如何選擇地毯？不急，火狐狸地毯現在就來告訴你！！一、地毯的種類有哪些？1、混紡地毯它與純毛地毯相差無幾，以純毛纖維與合成纖維混紡。價格上，卻與純毛地毯大相逕庭。
  • 機架式UPS品牌那麼多,適合自己才是最好的
    機架式UPS品牌那麼多,適合自己才是最好的。機架式UPS因為其體積小和機架式的安裝方式，使得應用越來越廣泛，幾乎遍布所有的行業，主要是在數據中心和機房等領域被大範圍推廣，而且因為品牌的千差萬別，如何選擇合適的機架式UPS成為了很多人心中的一道難題。
  • 真空計技術知識問答
    1.麥氏真空計的特點？答：麥氏真空計是一種絕對真空計，可以給出被測壓力的絕對值。但麥氏計只能測量被測氣體中永久性氣體的分壓強，不能測量其中可凝性氣體的壓強。也可以直接用熱電偶測量熱絲的溫度變化來反映熱傳導的變化，稱為熱偶真空計。3.影響熱傳導真空計測量下限的原因是什麼？答：熱絲的熱量除了氣體傳熱外，還可以沿著熱絲本身向兩端傳熱，即固體傳熱；還可以以輻射的方式傳熱，這兩種傳熱方式與壓力無關，當壓力較低，氣體的傳熱量明顯低於固體的傳熱和輻射傳熱時，就不能反映壓力的變化了，即達到了測量的下限。
  • 多孔孔板流量計的報價那麼多,如何購買
    問：如何選型採購多孔平衡流量計，市場中價格紊亂，不知道怎麼選答：流量計產品的選型採購其實也是有規律可以遵循的，就是工況三要素，測量什麼介質，介質溫度多少，壓力多大，這三點確定了，對於漫天報價的流量計產品可以繞過百分之九十的坑
  • 電離真空計的校準注意事項
    圍觀1144次 我要分享   真空計按測量性質可分為絕對真空計和相對真空計。所謂絕對真空計就是通過測量物理量本身確定壓力的一種真空計,例如U型壓力計、壓縮式真空計就是絕對真空計。通過測量與壓力有關的物理量並與絕對真空計比較來確定壓力的真空計稱為相對真空計。我們校準的電離真空計、電容薄膜真空計、熱傳導真空計,都是相對真空計。電離真空計,電離規管的結構為一個圓筒型三極體,它有三個電極:陰極F發射電子;柵極A加速電子,收集極C收集離子。
  • 烏龜曬背燈種類有很多,如何正確選擇,這些知識很重要
    那麼當遇到陽光不能滿足烏龜生存必須的情況時，曬背燈就該派上用場了。曬背燈的種類有很多，像我們生活中用到的白熾燈，主要是提供光熱，起到加溫的作用。而爬寵專用的UVB燈，則是主要提供UVB射線，起到促進龜對鈣的吸收，產生的熱量則幾乎能忽略不計。全光譜太陽燈則是最接近自然光照的光源，既能夠提供熱量，又能夠提供UVB射線，功能更加強大、全面。
  • 《電阻真空計校準規範》獲國家立項
    電阻真空計作為工作用計量器具，越來越廣泛地應用到航空航天、高能物理、材料科學、生命科學、醫療衛生等行業。由於真空技術蓬勃發展，對真空計量的需求和要求也越來越高。但是電阻真空計的檢測，直至目前仍然沒有相應的國家計量校準依據。
  • 全球與中國聚丙烯真空計行業現狀調研及發展前景分析報告(2020...
    中國產業調研網發布的《全球與中國聚丙烯真空計行業現狀調研及發展前景分析報告（2020-2026年）》首先介紹了聚丙烯真空計的背景，包括聚丙烯真空計的相關概念、分類、應用、產業鏈結構、產業概述，聚丙烯真空計行業國家政策及規劃分析，聚丙烯真空計技術參數及生產基地，不同地區，不同規格，不同應用聚丙烯真空計產量分析；聚丙烯真空計產品技術參數，生產工藝技術
  • 真空設備檢修三要素
    真空測量是真空設備眼睛，測量儀表使用好壞直接反映設備真空運行狀態。真空獲得是真空設備基礎，真空獲得設備性能好壞直接影響真空設備極限真空度。真空檢漏是保證真空設備正常運行好壞重要手段，換句話說：真空檢漏是真空獲得的保證。 　　以上三種因素中任何一個要素出問題時，真空設備真空獲得和維持都變得十分困難。
  • 流量計種類中電磁流量計只是其中一種
    測量流量的儀表有很多，測量時不僅僅用電磁流量計，還有電磁流量計、渦街流量計、渦輪流量計、孔板流量計、V錐流量計、皮托管流量計、文丘裡流量計、液體質量流量計、氣體質量流量計、金屬轉子流量計、橢圓齒輪流量計、雙轉子流量計、腰輪流量計、刮板流量計、都卜勒明渠流量計、外夾式超聲波流量計、管段式超聲波流量計、熱導式流量開關、擋板式流量開關、固體粉末流量計、固體顆粒流量計，
  • 真空爐常用的真空測量方法
    ，電阻真空計和熱偶真空計兩種。，可分為熱陰極電離真空計和磁控放電真空計兩類。熱陰極電離真空計的優點是：1，可測總壓強；2，可連續測量；3，測量範圍廣，靈敏度很高；4，電離計規管體積小，可直接連通要測位置；5，對機械振動不敏感，慣性小；6，校準曲線是直線性；其缺點是：1，讀數與氣體種類有關，不同氣體要做不同曲線；2，燈絲是白熾狀態，真空系統突然漏氣或壓強突然升高，會使燈絲損壞；3，氣體被吸附在陰極和收集表面，易產生測量誤差；4，在低壓強時，規管外殼與電極放電現象影響讀數；
  • 真空乾燥箱如何選擇合適的真空泵??
    真空乾燥箱適用於企業、大專院校、科研單位等實驗室在真空條件下對物品進行濃縮乾燥、加熱處理。
  • 多囊腎如何治療才是最好的?
    多囊腎如何治療才是最好的？對於多囊腎的治療，可以說目前方法眾多，多囊腎又稱雙側腎發育不全症候群，主要表現為兩側腎腫大、腎區疼痛、血尿及高血壓等。如今，越來越多的人被多囊腎這種病所困擾，對自身及家人朋友的生活造成了很大影響。
  • 在家拔火罐的罐應該如何選擇
    在家怎麼拔火罐 首先要注意選材，中醫多用竹筒，如找不到，玻璃瓶、陶瓷杯都可以，只是口一定要厚而光滑，以免火罐口太薄傷及皮肉，底部最好寬大呈半圓形。 在拔火罐前，應該先將罐洗淨擦乾，再讓病人舒適地躺好或坐好，露出要拔罐的部位，然後點火入罐。
  • 汙水流量計的種類_汙水流量計的性能
    打開APP 汙水流量計的種類_汙水流量計的性能 網絡整理 發表於 2020-11-25 14:32:46 　　汙水流量計的種類 　　第一類流量計有節流式流量計、畢託管流量計、均速管流量計、轉子流量計、靶式流量計，這些流量計是利用伯努利方程原理，通過測量流體差壓信號反映流量； 　　第二類流量計有渦輪流量計、渦街流量計、電磁流量計、都卜勒超聲波流量計、熱線測速流量計，這些是通過測量流體流速來反映流量； 　　第三類流量計有齒輪式流量計
  • 孔板流量計和轉子流量計有什麼區別,標定師傅一句話科普
    問：測量介質流量的孔板流量計和轉子流量計有什麼區別？答：簡單的說轉子流量計就是利用轉子的重力來測量流量，孔板就是利用流體前後的壓力差來測量流量。流量測量世界是複雜多樣的，測流量可以選用的流量計種類不局限於一種，有備用流量計可以選擇，不管是轉子流量計還是孔板流量計都會有其特定的測量工況，轉子壓損小，孔板耐高溫高壓，各有各的優勢，產品庫大了選擇會特別多，合理利用資源選擇最合適工況的，大泉流量說流量計產品不是越貴越好，適合自己工況，預算又差不多，那便是最好的流量計。
  • 這麼多肌酸種類,到底哪種才是最靠譜的?
    關於肌酸的作用，安全性，使用方式跟適合的人群，可以說我都做過非常詳細的講解，如果在這方面還有疑問的話可以使用號內搜這個功能查找搜索一下進行進一步的閱讀，而針對肌酸這一關最為普遍使用的健身補劑之一，擺在很多人面前的就只剩一個問題，那就是該如何在市場上這麼多的產品裡選擇合適的種類