半導體設備可分為晶圓處理設備、封裝設備、測試設備和其他設備,其他設備包括矽片製造設備、潔靜設備、光罩等。這些設備分別對應集成電路製造、封裝、測試和矽片製造等工序。
在整個半導體設備市場中,晶圓製造設備大約佔整體的80%,封裝及組裝設備大約佔 7%,測試設備大約佔9%,其他設備大約佔 4%。而在晶圓製造設備中,光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備為核心設備,分別佔晶圓製造環節設備成本的30%、25%、25%。
儀器信息網結合美國的半導體行業調查公司VLSI Research發布的2019年全球半導體設備廠商的銷售額排名,對半導體設備廠商進行了簡要梳理。
第一名 美國 應用材料公司 2019年銷售額(速報值)134.68億美元
應用材料公司創立於1967年,總部位於美國加利福尼亞矽谷。目前應用材料公司是全球最大的半導體生產設備公司,十幾年來在半導體生產設備領域獨佔鰲頭。
公司主要產品為晶片製造相關類產品,包括原子層沉積ALD、物理氣相沉積PVD、化學氣相沉積CVD、刻蝕ETCH、離子注入、快速熱處理RTP、化學機械拋光CMP、電鍍、測量和矽片檢測等。
第二名 荷蘭 ASML 2019年2019年銷售額(速報值)127.7億美元
ASML成立於1984年,是全球最頂級的光刻機生產商,總部位於荷蘭艾恩德霍芬(Veldhoven),客戶包括了英特爾(Intel)、三星(Samsung)、海力士(Hynix)、臺積電(TSMC)、中芯國際(SMIC)等。目前,光刻機市場佔據了最高的市場份額,在浸沒式光刻機中市場中也佔有絕對地位,主要競爭對手對尼康、佳能等。ASML專注於研發組裝技術,其90%的零部件源於全球採購。
第三名 日本 東京電子 2019年銷售額(速報值)95.52億美元
東京電子是日本最大的半導體製造設備提供商,也是世界第三大半導體製造設備提供商,主要從事半導體製造設備和平板顯示器製造設備的研發和生產。東京電子的主要產品包括:塗布/顯像設備、熱處理成膜設備、幹法刻蝕設備、CVD、溼法清洗設備及測試設備。尤其是在塗布設備和刻蝕機設備中均佔據了極高的市場份額。
第四名 美國 Lam Research 2019年銷售額(速報值)95.49億美元
Lam Research致力於製造集成電路製造中使用的設備,主要用於前端晶圓處理,在薄膜沉積、等離子刻蝕、光阻去除、晶片清洗等前道工藝方案、後道晶圓級封裝以及MEMS等均有涉及。
Lam Research的三大核心產品是:刻蝕設備、沉積設備,以及去光阻和清洗設備。Lam Research的主力產品為刻蝕設備,電漿刻蝕設備以及等離子刻蝕和單晶圓清洗技術的市場份額較為領先。
第五名 美國 KLA-Tencor 2019年銷售額(速報值)46.65億美元
KLA-Tencor成立於1976年,是一家美國製造公司,公司總部位於加州Milpitas。公司產品用於晶圓製造、光罩製造、太陽能工藝開發和控制、發光二極體和數據存儲製造等,提供工藝控制與良率管理產品。KLA-Tencor於1997年4月由兩家半導體設備行業公司KLA儀器公司和Tencor儀器公司兼併而來。KLA早先專注於缺陷檢測,Tencor專注於量測解決方案,合併後的KLA-Tencor已經在專注的檢測與量測領域擁有70%以上的市場佔有率。
第六名 日本 愛德萬測試 2019年銷售額(速報值)24.70億美元
愛德萬測試公司(Advantest,ATE)是日本一家為半導體工業提供自動測試設備的製造商,總部位於東京,是全球半導體產業最大自動化測試設備 (ATE) 供應商。
作為全球領先的半導體測試設備供應商,愛德萬測試業務主要覆蓋在半導體測試、電子測量、機電一體化系統。愛德萬測試一直致力於集成電路測試技術的開發,擁有種類完善的半導體後道測試臺。在儲存測試細分市場領域,愛德萬長期位居全球首位。
第七名 日本 SCREEN 2019年銷售額(速報值)22億美元
SCREEN主要生產半導體晶圓設備,包含洗淨、蝕刻、顯影/塗布等產品,其中洗淨設備市場佔有率極高。據國泰君安的統計,在主要的三種清洗設備市場中,SCREEN市場佔有率均排名第一。在單晶圓清洗設備市場,SCREEN市場佔有率高達54.9%;自動清洗臺市場技術門檻相對較低,市場參與者較多,SCREEN市場佔有率仍達到了50%以上;而在洗刷機市場SCREEN也有著60%-70%的市場佔有率。
第八名 美國 Teradyne 2019年銷售額(速報值)15.53億美元
泰瑞達是全球著名的自動測試設備供應商,2019年公司的測試臺市佔率全球居首,是SoC測試臺的絕對龍頭。泰瑞達營收多年居於後道檢測設備行業榜首。
第九名 日本 日立高新 2019年銷售額(速報值)15.33億美元
日立高新在半導體設備方面主要生產沉積、刻蝕、檢測設備,以及封裝貼片設備等,在SEM測長等方面的設備中佔有優勢,日立高新所提供的半導體製造設備主要有幹蝕刻系統、CD-SEM和缺陷檢查。
第十名 荷蘭 ASM International 2019年銷售額(速報值)12.61億美元
ASM International是晶圓加工半導體加工設備的領先供應商。ASM International率先在工業上使用了許多成熟的晶圓加工技術,包括光刻,沉積,離子注入和單晶圓外延。近年來,ASMi將原子層沉積(ALD)和等離子增強原子層沉積(PEALD)從研發一直帶到了先進位造商站點的主流生產。
第十一名 日本 Nikon 2019年銷售額(速報值)12億美元
尼康成立於1917年,最早通過相機和光學技術發家,1986年推出第一款FPD曝光設備,如今業務線覆蓋範圍廣泛。
第十二名 日本 Kokusai Electric 2019年銷售額(速報值)11.37億美元
2019年7月,據彭博社報導,美國應用材料同意以約2500億日元(合22億美元)的價格從KKR&Co手中收購Kokusai Electric。Kokusai Electric將作為Applied公司半導體產品部門的業務部門運作,並將繼續將總部設在東京。Kokusai專注於批處理或並行處理許多晶圓,特別是對於存儲晶圓。據介紹,其主要客戶包括三星電子公司,臺灣半導體製造公司和英特爾公司。
第十三名 日本 Daifuku 2019年銷售額(速報值)11.07億美元
Daifuku的潔淨室存儲、搬運系統被廣泛應用於半導體、液晶等平板顯示器製造行業,在許多世界著名企業均有銷售。
第十四名 新加坡 ASM Pacific Technology 2019年銷售額(速報值)8.94億美元
ASMPT是用於晶片組裝和封裝以及表面安裝技術的半導體工藝設備的領先供應商,為電子製造過程中所有主要步驟提供高質量設備,這些設備從用於晶片互連的載體到晶片組裝和封裝再到SMT。
第十五名 日本 Canon(佳能) 2019年銷售額(速報值)6.92億美元
在FPD曝光設備領域,尼康和佳能兩家日本廠商佔據主要地位,兩家也在不斷搶食FPD設備市場。據了解,佳能在生產電視機顯示屏方向的大型面板的曝光設備方面實力雄厚,而尼康的曝光設備則在用於智慧型手機顯示屏的中小型面板方面更具有優勢。