M60系列直線壓電馬達性能強勁,行程高達100mm

2021-01-08 電子發燒友
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M60系列直線壓電馬達性能強勁，行程高達100mm

楊明遠 發表於 2021-01-04 11:16:41

M60 系列直線壓電馬達，內部採用 PZT 壓電式驅動，直線運動行程可選 25、50、100mm，可達亞納米級解析度。可選配閉環伺服傳感器（增量式編碼器），具有更高的定位精度。可選移動臺面。

特點

• 大出力

• 閉環誤碰後自動歸位

• 上電自動找零位

• 可選光柵數字閉環

• 採用耐磨材料，真空無磁兼容

應用領域

• 工業級精度定位

• 半導體技術/測試

• 晶圓檢測

• 平版印刷

• 納米壓印

• 納米計量學

• 在強磁場和真空中運動

大出力
M60系列直線壓電馬達的主動推拉力可達50N，被動保持力達60N。並且，M60水平放置時，可承載10kg負載下進行高精度運動。

增量式編碼器提高精度
M60可選配增量式編碼器作為閉環傳感器，可提高直線運動的精度。

斷電自鎖、自動找零、自動歸位
M60後在斷電後具有自鎖功能，且再次上電時，會自動找零位。在使用中，若有誤碰情況，M60會自動調節歸位。

耐磨材料

M60直線壓電馬達採用高耐磨材料，壽命達千米以上。

配套控制器

E71系列壓電控制器是專為驅動M60直線壓電馬達而設計，它是由上位機數字控制，運動速度可調，採用逼進式到達目標位置的設定方式。

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