雙折射(應力)測量系統 EXICOR-150AT

2021-01-19 北京昊然偉業光電科技有限公司


美國Hinds的雙折射測量技術已經被世界範圍內的行業領導者採用，以無與倫比的精度、解析度和重複性測量表徵材料中的應力雙折射。能夠在0.001nm解析度下測量光阻，最低噪聲為0.005nm, 這些系統是強大的、動態的和可擴展的，可以滿足您的的應用需求。我們提供跨光譜（DUV, VIS和NIR）的測量系統, 並能夠測量幾乎所有的光學材料。


Hinds 儀器的Exicor雙折射測量系統型號150AT是Exicor®雙折射測量系統系列產品的工作平臺。該系統具有足夠的多功能性，在生產車間和研發實驗室環境中均可勝任。該模型廣泛用於研究和工業中測量組件; 如光掩膜和光刻膠、DVD空白、塑料薄膜、透鏡毛坯、雷射晶體、手機顯示窗、注塑件等等。臺式設計和直觀的自動掃描軟體使該產品成為高價值精密光學元件和商品光學元件（高達150mm X 150mm）的日常評估的最佳選擇。



前沿靈敏度和重複性


使用Hinds儀器專利光彈性調製器(PEM)技術，該系統提供最高水平雙折射靈敏度。此外，PEM提供高速操作，以50千赫的速率進行調製。前沿靈敏度和重複性很容易提供亞納米級的雙折射測量，對許多應用至關重要。


專為簡單、直接的操作而設計


一個大至6「x 6」（可選大尺寸）的光學樣品可以通過手動或自動映射和圖形顯示進行表徵。一旦將樣本放置在翻譯階段，直觀的軟體就可以指導操作員完成步驟測量過程。用戶界面軟體計算延遲值和快軸角度，並以各種格式顯示它們。該軟體還提供文件管理和校準功能。


應用


質量控制計量
低水平雙折射測量的有

光刻組件的質量驗證，包括


主要特點


在低水平雙折射測量中具有
同時測量雙折射幅度和角度
精確度可重複性
高速測量
光學系統中無移動部件
 可變尺寸光學元件的自動映
 光彈調製器技術
 簡單、便於用戶使用的操作



Exicor 150AT測量通過正在研究的光學樣品的光路上的延遲。它旨在測量和顯示樣品光學延遲的幅度和快軸取向。


獨特的設計（專利申請中）消除了光學系統中的移動部件，並避免了在測量角度之間切換的必要性。氦氖雷射束被偏振然後由PEM調製。調製後的光束透過樣品並由分光鏡分開。每束光束通過分析儀、光學濾光片和光電探測器的組合。電子信號通過一個鎖定放大器處理，提供非常低的信號檢測。由Hinds 儀器公司開發的軟體算法將來自電子模塊的信號電平轉換為可以確定線性雙折射的參數。計算機從兩個輸入中選擇，允許從兩個信號通道進行連續測量。分析數據，然後顯示延遲大小和軸角度並存儲在文件中。當在自動映射模式下操作時，x-y平移階段將把樣本移動到下一個預定的測量位置。結果以用戶指定的格式即時顯示。




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