雷射幹涉儀與白光幹涉儀區別!

2020-12-03 中圖儀器

經常有客戶來電，說要諮詢幹涉儀，看到中圖儀器有雷射幹涉儀和白光幹涉儀，不知道哪一款可以滿足自己的需求？雷射幹涉儀和白光幹涉儀雖然都同屬於幹涉儀這個大類，但是兩者的區別可大了！

雷射幹涉儀

雷射幹涉儀測量利用的是麥可遜幹涉原理：

(1) 從SJ6000雷射幹涉儀主機出射的雷射束（圓偏振光）通過分光鏡後，將分成兩束雷射（線偏振光）；

(2) 兩束雷射分別經由角錐反射鏡A和角錐反射鏡B反射後平行於出射光（紅色線條）返回，通過分光鏡後進行疊加，由於兩束雷射頻率相同、振動方向相同且相位差恆定，即滿足幹涉條件；

(3) 角錐反射鏡B每移動半個雷射波長的距離，將會產生一次完整的明暗幹涉現象。測量距離等於幹涉條紋數乘以雷射半波長。

根據雷射幹涉儀的原理，我們可以清楚知道，雷射幹涉儀是用來檢測設備的運動精度的，SJ6000雷射幹涉儀目前在工具機、直線電機、滑臺、模組、自動化設備、機器人等領域廣泛應用。

白光幹涉儀

白光幹涉儀以白光幹涉技術為原理，光源發出的光經過擴束準直後經分光稜鏡後分成兩束，一束經被測表面反射回來，另外一束光經參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚並發生幹涉，顯微鏡將被測表面的形貌特徵轉化為幹涉條紋信號，通過測量幹涉條紋的變化來測量表面三維形貌。

白光幹涉儀是用來測量三維微觀形貌的。SuperView W1白光幹涉儀可廣泛應用於半導體製造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及製造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、國防軍工、科研院所等領域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300餘種2D、3D參數作為評價標準。

相關焦點

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    雷射幹涉儀作為現代精密測量儀器的代表，在精密製造、計量等各個行業領域中得到了廣泛的應用，在精密位移、直線度、垂直度等測量領域發揮著重要的作用。什麼是決定雷射幹涉儀測量精度的關鍵因素？您正在使用或購買的雷射幹涉儀精度能夠達到指標要求麼？
  • 為什麼要用白光幹涉儀?
    中圖儀器SuperView W1白光幹涉儀白光幹涉儀測量原理>白光幹涉儀是利用光學幹涉原理研製開發的超精密表面輪廓測量儀器。白光幹涉儀的測量應用以測量單刻線臺階為倒，在檢查儀器的各線路接頭都準確插到對應插孔後，開啟儀器電源開關，啟動計算機，將單刻線臺階工件放置在載物臺中間位置，先手動調整載物臺大概位置，對準白光幹涉儀目鏡的下方。
  • 雷射幹涉儀檢測指導
    雷射幹涉儀有單頻和雙頻之分，單頻雷射幹涉儀受環境因素影響較大，一般用於特定環境的實驗室。雙頻雷射幹涉儀應用頻率變化來測量位移，對由光強變化引起的直流電平變化不敏感，抗幹擾能力強，廣泛應用於各種工況下。雷射幹涉儀的工作原理　　雷射幹涉儀發射單一頻率光束，光束射入線性幹涉鏡後分成兩道光束射向反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，最後重新匯聚返回雷射幹涉儀。若光程差沒有變化時，雷射幹涉儀會在相長性和相消性幹涉的兩極之間找到穩定的信號。若光程差有變化時，這些變化會被計算並用來測量兩個光程之間的差異變化。
  • 麥可遜雷射幹涉儀和菲索型雷射幹涉儀,別弄混了
    有很多客戶通過網絡搜索到我們的聯繫方式，說需要一臺雷射幹涉儀，詳細溝通一下，他們需要雷射幹涉儀測量面型精度、PV值等，其實他們需要的不是雷射幹涉儀，準確的說應該是菲索型雷射幹涉儀。
  • 詳解雷射幹涉儀工作原理
    幹涉儀是以雷射波長為已知長度、利用邁克耳遜幹涉系統測量位移的通用長度測量工具。雷射幹涉儀有單頻的和雙頻的兩種。雙頻雷射幹涉儀是1970年出現的，它適宜在車間中使用。雷射幹涉儀在極接近標準狀態(溫度為20℃、大氣壓力為101325帕、相對溼度59%、CO2 含量0.03%)下的測量精確度很高，可達1×10。
  • 雷射幹涉儀工作原理詳解
    幹涉儀是以雷射波長為已知長度、利用邁克耳遜幹涉系統測量位移的通用長度測量工具。雷射幹涉儀有單頻的和雙頻的兩種。單頻的是在20世紀60年代中期出現的，最初用於檢定基準線紋尺，後又用於在計量室中精密測長。雙頻雷射幹涉儀是1970年出現的，它適宜在車間中使用。雷射幹涉儀在極接近標準狀態(溫度為20℃、大氣壓力為101325帕、相對溼度59%、CO2 含量0.03%)下的測量精確度很高，可達1×10。
  • 白光幹涉儀儀器原理簡介
    白光幹涉儀是一款用於各種精密器件及材料表面進行納米級測量的檢測儀器，採用白光幹涉技術，相移幹涉技術為主體結合精密Z向掃描模塊、三維建模算法等對器件表面進行數據處理與分析,並獲取反映器件表面質量的2維、3維參數來獲得微觀形貌。
  • 雷射幹涉儀原理
    導讀：雷射幹涉儀是用於測量位移的長度測量工具，常用在工具機測量，它是如何進行測量長度的呢?它的工作原理又是什麼，本文將講述雷射幹涉儀的原理。感興趣的童鞋快來看看吧。
  • 幹涉儀原理
    導讀：幹涉這一物理現象想必大家都很熟悉了，本文主要介紹的幹涉儀的原理，幹涉儀其實就是利用的幹涉的原理而製成的儀器，感興趣的盆友們快來學習一下吧~~~很漲姿勢的哦~~~
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    幹涉儀是以雷射波長為已知長度、利用邁克耳遜幹涉系統測量位移的通用長度測量工具。雷射幹涉儀有單頻的和雙頻的兩種。雙頻雷射幹涉儀是1970年出現的，它適宜在車間中使用。雷射幹涉儀在極接近標準狀態(溫度為20℃、大氣壓力為101325帕、相對溼度59%、CO2 含量0.03%)下的測量精確度很高，可達1×10。
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    ZYGO大口徑幹涉儀系統中高精度標準鏡，大口徑擴束系統等等光學器件，全部自己設計和製造，確保了質量與交期，提高了性價比。ZYGO長期深度參與以上提到的強雷射NIF，空間光學NASA，光刻物鏡等等國際核心項目，深刻理解這些關鍵應用的技術需求。ZYGO大陸區域技術支持團隊，有超過20年安裝，調試，維護大口徑雷射幹涉儀的經驗。
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    雷射幹涉儀作為數控工具機精度常用的檢測工具，能對數控工具機進行線性測量、直線度測量、平面度測量、角度測量、迴轉軸分度精度等進行測量。其中線性測量功能通過工具機運行一段直線插補程序，能檢測線性坐標軸的定位精度、重複定位精度，反向間隙等。
  • XL-80雷射幹涉儀
    雷尼紹XL-80雷射幹涉儀為坐標測量機 (CMM) 和工具機等運動系統提供高性能測量和校準。
  • API雷射幹涉儀在測量直線模組中的應用
    上圖既為利用API雷射幹涉儀測量直線模組的實例，API的雷射幹涉儀具有超高的精度，無需三腳架可快速安裝固定，幹涉鏡組與主機集成一體，兩點對光，比同類的雷射幹涉儀測量速度快。
  • 雷射幹涉儀如何成為幾何量測量當擔?
    隨著20世紀60年代初雷射的出現，幾何量測量技術的發展步入了嶄新的時期，雷射幹涉儀在此時脫穎而出，並且在幾何量測量領域發揮著越來越重要的作用。雷射幹涉儀為何如此廣受歡迎呢？今天我們就來認識幾何量測量擔當——雷射幹涉儀。
  • 雷射幹涉儀·工業檢測·優勢·應用 雷射聚會LFC 2019(蘇州站)|記者探會系列連載
    本期我們一起來感受下可以用於探測引力波的雷射幹涉測量技術，在工業檢測當中的應用領域。早在1887年，美國物理學家麥可遜和莫雷合作，就為研究「以太」漂移，使用分振幅法產生雙光束再實現光學幹涉的特性，設計製造出了著名的麥可遜幹涉儀。在近代物理、計量技術和工業應用中，科學家們還研製出各種不同特點的幹涉儀，比如泰曼-格林幹涉儀、菲索幹涉儀、馬赫幹涉儀、米諾幹涉儀等。他們的共同特點是以波長為尺子來量測被測物體的物理量和化學量的變化。
  • 皮米精度雷射幹涉儀如何在眾多前沿領域中大顯神通?
    IDS3010雷射幹涉儀在半導體晶圓加工無軸承轉臺形變測量上的應用　　半導體光刻系統中的晶圓級輕量化移動結構的變形阻礙了高通吐量的半導體製造過程。為了補償這些變形，需要精確的測量由光壓產生的形變。attocube公司的皮米精度幹涉儀FPS3010（升級後的型號為IDS3010），被用於測量及優化由多層波帶片（MZP）和基於MZP的壓電樣品掃描儀組成的實驗裝置的穩定性。實驗是在德國DESY Photon Science中心佩特拉III期同步加速器的P10光束線站上進行的。attocube公司的雷射幹涉儀PFS3010用來檢測樣品校準電機引起的振動和衝擊產生的串擾。