國產光刻機迎來曙光,打破ASML的壟斷!用4年時間,成為全球第二

2020-12-05 莉姐聊數碼

前段時間，美國開始針對華為晶片業務進行打壓，導致臺積電無法為華為生產高精度的晶片。事實上，國產半導體企業也並非沒有可能製造出高精度的晶片，只是缺少高精度的光刻機而已。要知道，光刻機在晶片生產過程中起到非常重要的作用，但是高端光刻機一直被ASML壟斷。

而在光刻機製造領域，全球只有ASML一家廠商可以量產高端光刻機，不過由於每年量產較少，三星和臺積電等晶片代工巨頭都在搶著下單，其他廠商很難買到。根據筆者了解，光刻機是由工件臺、投影物鏡以及光源三大核心子系統件組成，想要研發出這三大核心子系統的難度可謂是相當大。

而近日，國產光刻機迎來曙光，打破了ASML部分技術的壟斷。北京華卓精科科技股份有限公司已經正式遞交科創板上市申請，根據筆者了解，華卓精科是上海微電子的合作夥伴，其主要業務是之一是研發製造光刻機雙工件臺，同時也是中國高端光刻機龍頭企業上海微電子的雙工件臺產品以及技術開發的供應商，目前華卓精科已經成功掌握光刻機雙工件臺的核心技術。

華卓精科研究出光刻機雙工件臺技術對於上海微電子來說有很大的幫助，為中微自主研發65nm至28nm雙工件臺式浸沒式光刻機提供了技術賦能。據悉，上海微電子將會在一年內交付首臺「28nm純國產沉浸式光刻機」，重點是，這臺光刻機可以改用套刻精度更優的華卓精科工作檯，在多重曝光下，能夠真正實現7nm製程工藝的晶片生產。

如此一來，實現國產晶片的夢想很快就能實現，不用被海外企業卡住脖子。

華卓精科創建於2012年，是由清華IC裝備團隊在多方支持下成立了該公司，在2016年，華卓精科成功研發出光刻機雙工件臺系統樣機，僅僅五年，華卓精科就為全球第二家掌握了雙工件臺核心技術的公司。

值得注意的是，自2017年至2019年，華卓精科加大在研發上的投入，總投入研發資金超2.5億元，在2019年，華卓精科的研發投入佔比全年總營收比例為117.4%，其對技術研發的重視程度可見一斑。相信憑此投入，華卓精科為國產晶片做出了很大的貢獻。對此，你有何見解呢？

文/球子 審/JING

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