伴隨紫外雷射和超快雷射普遍用於半導體、面板和生物醫學行業等行業,雷射精細微加工和顯微分析測試已成為常用工具。由於加工區域需要控制在幾μm級別精度,只是測量雷射功率或能量的強度和穩定性已經不能滿足常規的加工質量管控要求,雷射加工,尤其是紫外/超快微加工中,由於雷射器輸出特性、光路的微小變化,導致焦斑的尺寸、位置變化,影響加工效果和一致性,因此在雷射加工方面,我們需要對雷射「看到」更多的細節,比如光斑大小、峰值中心位置、幾何中心位置、橢圓度、2D/3D 光斑形貌等參數。
此前,測量雷射的精細參數,需要光學工程師在現場搭建焦斑測量的光路,造成大量的停機時間,影響生產效率;先鋒科技密切關心客戶的需求,基於長時間服務於雷射光束品質的經驗,開發出整體式焦斑測量儀。該儀器體積小、光路靈活、解析度高、測量結果準確,只需要簡單的擺放對準調節即可秒出結果,既可以圖形化直觀顯示焦斑是否正常,也可以獲取全方位的強度分布數據,一經推出即引起強烈的市場反響。
該精密雷射焦點分析儀測量精度可達1um以下, 簡化、加速了對雷射微加工系統焦點光斑進行測量分析的過程,增強測試結果的可靠性,提升產線生產效率並確保生產製程的穩定性,是紫外/超快雷射微加工應用中的得力工具,可廣泛用於雷射精細切割和焊接,超快雷射聚焦分析、面板和半導體加工、生物醫學顯微測試方向。
主要特點:
A.一維\二維\三維形象顯示雷射的光強分布輪廓,明確生動看出雷射光束質量的好壞;
B.可測焦點光斑直徑、峰值中心、中心點能量密度強弱和位置、光斑橢圓度、高斯匹配度等;
C.實時觀測光斑峰值中心位置的變化,測量雷射點穩定性,了解光斑的變化情況;
D.噪聲逐點扣除專利功能,保證了測量雷射的各參數的準確性;
E. 可配合不同類型大功率近場成像鏡頭,最小可以測量光斑大小:1um;
F. 一體化緊湊設計,方便集成於系統,支持二次開發;
G. 確定雷射加工焦點位置,提升雷射加工性能;
先鋒科技是專業從事光電相關領域內與科研、生產等環節密切相關的儀器系統集成業務的綜合性服務商,業務範圍涵蓋各著名高等院校和大型生產型企業。目前全球技術深度融合,我們將發揮自身技術優勢,基於已有的光譜技術,精密位移技術,光檢測技術,與高等院校研究單位密切合作,逐步完善已有的光譜類,雷射檢測類產品,開創研發創新新篇章!