MEMS加速度計中的重要的核心是什麼

2020-11-29 電子發燒友

MEMS加速度計中的重要的核心是什麼

智騰恆星體 發表於 2020-06-08 15:19:39

MEMS加速度計中的核心簡介

隨著矽微機械加工技術(MEMS)的迅猛發展,各種基於MEMS技術的器件也應運而生,目前已經得到廣泛應用的就有壓力傳感器、加速度傳感器、光開關等等,它們有著體積小、質量輕、成本低、功耗低、可靠性高等特點，而且因為其加工工藝一定程度上與傳統的集成電路工藝兼容，易於實現數位化、智能化以及批量生產，因而從問世起就引起了廣泛關注,並且在汽車、醫藥、導航和控制、生化分析、工業檢測等方面得到了較為迅速的應用。其中加速度傳感器就是廣泛應用的例子之一。

加速度傳感器的原理隨其應用而不同，有壓阻式，電容式，壓電式，諧振式等。

不管怎麼樣加速度傳感器就是需要在線性運動情況下得到的加速度力並通過內部的核心的原理來得出不同的數值在通過解算得出想要的數據。

一般的加速度計是一個方向運動得出的單軸加速度計數據並通過電容式工作原理得出的差壓值換算得出相對應的加速度數據，雙軸、三軸、同樣如此（X\Y\Z）三個立體坐標方向根據載體不同方向的運動 得出X Y Z三個不同坐標系加速度值。並通過微電路解算出應得的數據信息得出結果。

所以mems加速度計的核心就是 微機械工藝和不通過結構模式的出的數值來確定是否在精度和穩定性符合客戶所要的指標。

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