過氧化氫這種物質是法國化學家泰納爾在1818年的時候發現的。過氧化氫本身是一種淡藍色的粘性液體，呈弱酸性且伴隨有強烈的刺激性氣味，並具有強烈的氧化性，在光照和加熱的情況下會分解為氧氣和水，另外很多化合物也會催化過氧化氫的分解，比如鹼和金屬（鐵、銅、鋅、鉻等）。過氧化氫要貯存在一個相對穩定的環境中，使用過氧化氫滅菌主要是利用其具有強氧化性，在使用時我們也要注意，防止其灼傷我們的皮膚和眼睛。
在早期我們主要將其用於隔離器的消毒，使用過氧乙酸和過氧化氫的混合物，它們的使用有許多負面的影響。上個世紀80年代一位叫拉卡拉的人，在它的公司研發出了第一代過氧化氫滅菌器，並將「VHP」註冊為商標，其實這個簡寫就的氣態過氧化氫的簡稱。目前國內主要有VHP和HPV兩大技術方向，即霧化和氣化兩種方式。霧化技術有它獨特的技術優勢，首先就是成本低，因為它對過氧化氫溶液的濃度要求低，當然缺點也很明顯，就是想要達到滅菌效果需要很大的過氧化氫使用量，使用過程中容易出現結露，會對環境和材料產生腐蝕，所以我們滅菌時一般使用氣化過氧化氫的方法。氣化的過氧化氫對環境和設備的腐蝕很小，基本上可以忽略。真正的腐蝕都是因為結露引起的，所以在過氧化氫滅菌應用中，一個關鍵點就是防止結露。在滅菌過程中要監測溶液濃度、相對飽和度、溫度等。真正比較先進的滅菌設備廠家在滅菌全程是要監測氣化發生器的狀態的，在滅菌過程中要先除溼，然後再去注入過氧化氫氣體。
關於為什麼要在滅菌過程中監測環境的過氧化氫濃度、環境溫度、滅菌氣體的相對飽和度這些參數，因為這些參數是會對滅菌效果產生影響的。在環境相同的條件下用濃度越高的過氧化氫（氣態）來滅菌效果越好。溫度的高低會對滅菌產生不同的影響，如果我們要得到一個相對有效的滅菌效果，那麼也一定要對滅菌環境進行監測，在不同的環境溫溼度下進行的滅菌效果肯定是不一樣的。這就是為什麼過氧化氫滅菌設備的價格會差很多。好的設備，通過監測環境地和設備參數，適當的進行參數調節，儘量減少誤差，降低受環境地的影響。
氣化過氧化氫作為滅菌介質具有自身的特點，首先它對材料的兼容性非常好，我們在保證完全氣化的情況下，比如說我們對電路板進行滅菌是沒有任何問題的，不會產生任何腐蝕。第二就是氣化過氧化氫滅菌後最終分解為水和氧氣，理論上來說是沒有殘留的，過氧化氫的滅菌效果可以達到6個對數的殺滅。其它氣體滅菌方式像甲醛也可以做到，但我們知道甲醛是強致癌物，長時間使用對人體有害。二氧化氯的消毒方式在於，二氧化氯危險性比較大，貯存不當會引起燃燒或爆炸。過氧化氫相比這兩個物質的危險是最小的，國內也有很多使用臭氧的，但臭氧達不到下降6個對數的滅菌效果。
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這裡還有一個問題是關於霧化的，霧化的滅菌效果不如氣化，它不能穿透物品，也有過氧化氫滅菌的廠家可能會說使用本廠的過氧化氫溶液滅菌效果是最好的，那麼這個廠家就有可能在過氧化氫溶液中加入了過氧乙酸，這其實性質就變了。
材料的耐受性和吸附性問題。在滅菌的過程中是會產生吸附的，在潔淨區使用後也會在高概率上有殘留，一旦出現冷凝現像吸附現象會更嚴重，就會有過氧化氫持續釋放發生，影響工作人員人健康，（好比家裡裝修的甲醛釋放一樣），具體殘留多少這就要進行評估和檢測了。
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