目前檢測工具機精度主流儀器是SJ6000雷射幹涉儀+WR50自動精密轉臺+MT21無線球桿儀。
SJ6000雷射幹涉儀
WR50自動精密轉臺
MT21無線球桿儀
SJ6000雷射幹涉儀搭配不同的鏡組可以實現工具機定位精度、重複定位精度、直線度、平行度、垂直度、偏擺角度等幾何精度測量。
SJ6000雷射幹涉儀測量工具機定位精度
SJ6000雷射幹涉儀測量工具機垂直度
SJ6000雷射幹涉儀測量工具機偏擺角度
SJ6000雷射幹涉儀測量工具機直線度
WR50自動精密轉臺搭配SJ6000雷射幹涉儀可以實現工具機迴轉軸自動測量。
WR50自動精密轉臺測量工具機迴轉走精度
MT21無線球桿儀是評價工具機動態輪廓精度的精密儀器。其工作原理是將球桿儀的兩端分別安裝在工具機的主軸與工作檯上,測量兩軸插補運動形成的圓形軌跡,並將這一軌跡與標準圓形軌跡進行比較,從而評價工具機產生誤差的種類和幅值。
MT21無線球桿儀評定工具機